波导结构及波导结构的制造方法与流程

1.本发明涉及一种波导结构及波导结构的制造方法。


背景技术：

2.在移动电话、笔记本电脑、数码相机等电子设备中，以电子零件的高密度安装、时钟高速化等为原因而高频区域的电磁波的不必要的辐射、所谓的电磁波噪声成为问题。
3.以往，已知有一种噪声抑制片，其使用磁损耗材料或介电损耗材料吸收在线路上传播的电磁波来抑制不必要的辐射。然而，为了效率良好地吸收电磁波，噪声抑制片需要波长量级的长度，例如几cm的长度，难以将噪声抑制片安装于高密度地配置有零件的印制电路板上。
4.作为抑制电磁波的不必要的辐射的其他方法，已知有利用响应电磁波的超材料。例如，在日本特开2015-43617号公报中公开有一种波导结构，其在平面波导的边界导电面埋入有互补的超材料谐振元件(例如，裂环谐振器)。


技术实现要素：

5.发明要解决的技术课题
6.在日本特开2015-43617号公报中所公开的互补的超材料谐振元件中，电磁波噪声的反射率高，而电磁波噪声的吸收率低，无法充分吸收电磁波噪声。因此，要求能够适当地吸收在传输线路(transmission line)中引导的电磁波噪声的波导结构。
7.本发明的一实施方式要解决的课题是鉴于上述情况而提出的，其目的在于提供一种能够适当地吸收在传输线路中引导的电磁波噪声的波导结构及其制造方法。
8.用于解决技术课题的手段
9.用于解决上述课题的方案包括以下实施方式。
10.＜1＞一种波导结构，其具备：至少一个传输线路；及至少一个导电性图案层，从上述导电性图案层的表面侧观察时，上述传输线路的至少一部分与上述导电性图案层的至少一部分重叠，上述导电性图案层的表面电阻值在0.005ω/
□
～30ω/
□
的范围内。
11.＜2＞根据＜1＞所述的波导结构，其中，上述导电性图案层的至少一部分与上述传输线路的至少一部分接触。
12.＜3＞根据＜1＞所述的波导结构，其中，上述导电性图案层与上述传输线路不接触，且上述导电性图案层与上述传输线路之间的最短距离为1000μm以下，在上述导电性图案层与上述传输线路之间还具备介电层。
13.＜4＞根据＜1＞至＜3＞中任一项所述的波导结构，其中，上述导电性图案层具有细线结构、曲折结构或螺旋结构。
14.＜5＞根据＜1＞至＜4＞中任一项所述的波导结构，其中，上述导电性图案层中所包含的导电性材料为选自包括金属材料、碳材料、氧化物材料及有机导电材料的组中的至少一种。
15.＜6＞根据＜1＞至＜5＞中任一项所述的波导结构，其中，从上述导电性图案层的表面侧观察时，上述传输线路的至少一部分与上述导电性图案层的至少一部分在两个部位以上重叠。
16.＜7＞根据＜1＞至＜6＞中任一项所述的波导结构，其中，上述导电性图案层选择性地吸收电流在上述传输线路内流过时产生的特定频率的电磁波。
17.＜8＞根据＜1＞至＜7＞中任一项所述的波导结构，其中，上述导电性图案层具有对电流在上述传输线路内流过时产生的特定频率的电磁波的吸收率的峰值，相对于峰值吸收率的频率f(ghz)，峰值吸收率的半宽度(ghz)为2.0/f以下。
18.＜9＞根据＜1＞至＜8＞中任一项所述的波导结构，其中，上述导电性图案层由导电性油墨形成。
19.＜10＞根据＜9＞所述的波导结构，其中，上述导电性油墨为不含有粒子的导电性油墨。
20.＜11＞一种波导结构的制造方法，其制造＜1＞至＜10＞中任一项所述的波导结构，所述波导结构的制造方法具有：以从上述导电性图案层的表面侧观察时与上述传输线路的至少一部分重叠的方式形成上述导电性图案层的工序，上述导电性图案层通过印刷法形成。
21.＜12＞根据＜11＞所述的波导结构的制造方法，其中，上述印刷法为喷墨印刷法。
22.发明效果
23.根据本发明的一实施方式，可提供一种能够吸收在传输线路中引导的电磁波噪声的波导结构及其制造方法。
附图说明
24.图1是表示本发明的波导结构的构成的剖视图。
25.图2是表示细线结构、曲折结构、螺旋结构及裂环结构的导电性图案层的概略构成图。
26.图3是表示导电性图案层的形状为细线结构时的导电性图案层与传输线路的位置关系的例子的概略构成图。
27.图4是表示本发明的波导结构的概略构成的剖视图，(a)是表示在导电性图案层与传输线路之间设置有介电层的构成的剖视图，(b)是表示具备介电层且导电性图案层与传输线路接触的构成的剖视图，(c)是表示不具备介电层且导电性图案层与传输线路接触的构成的剖视图。
28.图5是表示在实施例1～3中导电性图案层与传输线路的位置关系的图。
29.图6是表示在实施例1中电磁波的频率与电磁波吸收率的关系的图表。
30.图7是表示在实施例2中变更pet的厚度时的电磁波的频率与电磁波吸收率的关系的图表。
31.图8是表示在实施例3中电磁波的频率与电磁波吸收率的关系的图表。
32.图9是表示在实施例4的模拟试验中改变细线结构的导电性图案层的长度时的电磁波的频率与电磁波吸收率的关系的图表。
33.图10是表示在实施例5的模拟试验中改变螺旋结构的导电性图案层的表面电阻值
时的电磁波的频率与电磁波吸收率的关系的图表。
具体实施方式
34.以下，对波导结构及其制造方法的实施方式进行说明。但是，本发明并不受以下实施方式的任何限定，在本发明的目的的范围内能够适当地施加变更来实施。
35.在本发明中，使用“～”表示的数值范围是指将记载于“～”的前后的数值分别作为最小值及最大值而包含的范围。
36.在本发明中阶段性地记载的数值范围中，以某一数值范围记载的上限值或下限值可以被替换为其他阶段性的记载的数值范围的上限值或下限值。并且，在本发明中所记载的数值范围中，以某一数值范围记载的上限值或下限值也可以被替换为实施例所示的值。
37.在本发明中示出的各附图中的各要件不一定是准确的比例尺，重点放在明确地示出本发明的原理，并且也存在被强调的部位。
38.在本发明中，“从导电性图案层的表面侧观察”是指从导电性图案层的主表面的法线方向的视点。连结传输线路中的与导电性图案层的至少一部分重叠的部分与前述视点的直线与导电性图案层的主表面所成的角度并不限定于90
°
，例如也可以为80
°
～100
°
。
39.[波导结构]
[0040]
本发明的波导结构具备：至少一个传输线路；及至少一个导电性图案层，从上述导电性图案层的表面侧观察时，上述传输线路的至少一部分与上述导电性图案层的至少一部分重叠，上述导电性图案层的表面电阻值在0.005ω/
□
～30ω/
□
的范围内。
[0041]
通常，在印制电路板等的波导结构中，将厚度为18μm以上的铜箔用于降低电磁波噪声，在该情况下，铜箔的表面电阻值成为0.001ω/
□
以下，与适用于本发明的波导结构的导电性图案层的表面电阻值相比，存在很大的差异。当将这种铜箔适用于波导结构时，无法利用铜箔效率良好地吸收电磁波噪声，电磁波噪声的降低不充分。并且，在用于降低电磁波噪声的部件的表面电阻值为100ω/
□
左右的比较大的情况下，也存在无法效率良好地吸收电磁波噪声的问题。
[0042]
另一方面，在本发明的波导结构中，通过从导电性图案层的表面侧观察时传输线路的至少一部分与导电性图案层的至少一部分重叠，在传输线路中传递的电磁波噪声移动到导电性图案层。此外，通过导电性图案层的表面电阻值在0.005ω/
□
～30ω/
□
的范围内，能够利用导电性图案层效率良好地吸收移动的电磁波噪声。
[0043]
(传输线路)
[0044]
本发明的波导结构具备至少一个传输线路。传输线路只要具备用于将作为信号的电磁波从某一地点发送到另一地点的配线，则不受特别限定。作为传输线路，例如可以举出微带线、带状线、槽线、共面波导等。
[0045]
(导电性图案层)
[0046]
本发明的波导结构具备至少一个导电性图案层。从导电性图案层的表面侧观察时，传输线路的至少一部分与导电性图案层的至少一部分重叠，导电性图案层的表面电阻值在0.005ω/
□
～30ω/
□
的范围内。
[0047]
导电性图案层的至少一部分优选从导电性图案层的表面侧观察时与传输线路中的配线的至少一部分重叠。并且，导电性图案层的至少一部分与传输线路的至少一部分可
以接触，如后述，导电性图案层与传输线路也可以不接触且在导电性图案层与传输线路之间设置有介电层。
[0048]
从能够效率良好地吸收电磁波噪声的观点考虑，导电性图案层的表面电阻值优选0.007ω/
□
～15ω/
□
，更优选0.01ω/
□
～5ω/
□
，进一步优选0.01ω/
□
～2ω/
□
。导电性图案层的表面电阻值例如能够通过适当调节导电性图案层的厚度、导电性图案层中所包含的导电性材料、其导电率等而设在前述数值范围内。
[0049]
导电性图案层优选具备与具有特定的频段中所包含的至少一个频率的电磁波谐振的谐振结构。由此，能够使移动到导电性图案层且被导电性图案层吸收的特定频段的电磁波噪声增加。
[0050]
导电性图案层优选选择性地吸收电流在传输线路内流过时产生的特定频率的电磁波。由此，能够效率良好地吸收特定频率的电磁波噪声。在此，“选择性地吸收特定频率的电磁波”是指在特定频率下导电性图案层具有电磁波的峰值吸收率。
[0051]
并且，导电性图案层优选通过具有与特定频率的电磁波谐振的谐振结构而选择性地吸收电流在传输线路内流过时产生的特定频率的电磁波噪声。
[0052]
导电性图案层优选具有对电流在传输线路内流过时产生的特定频率的电磁波的吸收率的峰值，相对于峰值吸收率的频率f(ghz)，峰值吸收率的半宽度(ghz)为2.0/f以下。由此，能够效率良好地吸收特定频段的电磁波噪声。在本发明中，峰值吸收率的半宽度为峰值高度的1/2的高度处的频率宽度，是指半峰全宽(full width at half maximum，fwhm)。
[0053]
峰值吸收率的半宽度可以为2.0/f以下，也可以为1.0/f以下。峰值吸收率的半宽度的下限并不受特别限定，例如可以为0.6/f以上。
[0054]
峰值吸收率的半宽度可以为0.2ghz～1.0ghz，也可以为0.25ghz～0.8ghz。
[0055]
导电性图案层具有对电流在传输线路内流过时产生的特定频率的电磁波的吸收率的峰值，峰值吸收率优选为13％以上，更优选为20％以上，进一步优选为40％以上，尤其优选为50％以上。前述峰值吸收率的上限只要为100％以下，则不受特别限定，例如可以为95％以下。
[0056]
电磁波吸收率及峰值吸收率的半宽度能够使用市售的网络分析仪来测定。
[0057]
具有与特定频率的电磁波谐振的谐振结构的导电性图案层、前述的选择性地吸收特定频率的电磁波的导电性图案层、前述的具有对特定频率的电磁波的吸收率的峰值且峰值吸收率的半宽度为2.0/f以下的导电性图案层能够通过适当调节导电性图案层的形状、长度、宽度、材质等而得到。
[0058]
作为导电性图案层的长度，从容易形成具有与特定频段的电磁波谐振的谐振结构的导电性图案层的观点考虑，优选为5mm～100mm，更优选为10mm～50mm。
[0059]
当导电性图案层为后述的细线结构时，作为导电性图案层的长度，从能够效率良好地吸收电磁波噪声的观点考虑，优选为10mm以上，更优选为15mm以上，进一步优选为22mm以上。当导电性图案层为后述的细线结构时，作为导电性图案层的长度，也可以为100mm以下。并且，如图3的(b)所示，当形成有向配线的宽度方向两侧延伸设置的细线结构的导电性图案层时，优选至少宽度方向的单侧的导电性图案层的长度(从配线的宽度中央向宽度方向的单侧延伸设置的导电性图案层的长度)满足前述数值范围，更优选宽度方向的单侧的一个及单侧的另一个这两个导电性图案层的长度分别独立地满足前述数值范围。
[0060]
作为导电性图案层的宽度，从容易形成具有与特定频段的电磁波谐振的谐振结构的导电性图案层的观点考虑，优选为0.1mm～5mm，更优选为0.2mm～3mm。
[0061]
作为特定的频段，并不受特别限定，例如可以为108hz～10
11
hz(0.1ghz～100ghz)，也可以为108hz～10
10
hz(0.1ghz～10ghz)。
[0062]
从导电性图案层能够成为与特定频段的电磁波谐振的谐振结构的观点考虑，导电性图案层的形状可以举出细线结构、曲折结构、螺旋结构、裂环结构等。从能够效率良好地吸收电磁波噪声的观点考虑，导电性图案层的形状优选曲折结构及螺旋结构。并且，导电性图案层的形状并不限定于这些，例如也可以为能够成为前述谐振结构的其他形状。
[0063]
本发明的波导结构只要具有至少一个导电性图案层即可，导电性图案层的数量并不受特别限定。从能够效率良好地吸收电磁波噪声的观点考虑，导电性图案层的数量优选为2个以上，更优选为2个～4个。当本发明的波导结构具备2个以上导电性图案层时，2个以上的导电性图案层的形状可以相同，也可以不同。本发明的波导结构例如可以具备2个以上的细线结构、2个以上的曲折结构、2个以上的螺旋结构、2个以上的裂环结构，这些结构可以彼此相同，也可以不同。
[0064]
从导电性图案层的表面侧观察本发明的波导结构时，传输线路的至少一部分与导电性图案层的至少一部分重叠即可，它们重叠的部位的数量并不受特别限定。从能够效率良好地吸收电磁波噪声的观点考虑，传输线路的至少一部分与导电性图案层的至少一部分重叠的部位的数量优选为2个以上，更优选为2个～4个。
[0065]
导电性图案层包含导电性材料。导电性图案层中所包含的导电性材料优选为选自包括金属材料、碳材料、氧化物材料及有机导电材料的组中的至少一种，更优选为选自包括金属材料、碳材料及氧化物材料的组中的至少一种，从能够效率良好地吸收电磁波噪声的观点考虑，进一步优选为选自包括金属材料及碳材料的组中的至少一种。
[0066]
关于导电性材料的导电率，只要为在制成导电性图案层时能够将表面电阻值调节为0.005ω/
□
～30ω/
□
的材料，则不受特别限定。例如，从减小导电性图案层的厚度且使得容易制作导电性图案层的观点考虑，导电性材料的导电率优选为3000s/m以上。
[0067]
导电性材料只要为在制成导电性图案层时能够将表面电阻值调节为0.005ω/
□
～30ω/
□
的材料，则不受特别限定。作为导电性材料，例如可以举出铂、金、银、铜等金属材料、石墨、碳纳米管等碳材料、氧化铜、氧化铟锡(ito)等氧化物材料等。导电性材料可以单独使用一种，也可以组合使用两种以上。
[0068]
导电性图案层也可以由导电性油墨形成。导电性油墨是指通过煅烧油墨层能够形成具有导电性的层的前体液。作为用于形成导电性图案层的导电性油墨，只要为能够形成煅烧后的表面电阻值为0.005ω/
□
～30ω/
□
的导电性图案层的油墨，则不受特别限制，作为具体例，可以举出铂纳米粒子油墨、金纳米粒子油墨、银纳米粒子油墨、铜纳米粒子油墨、氧化铜纳米粒子油墨等含有纳米粒子的导电性油墨、离子性非粒子金油墨、离子性非粒子银油墨、离子性非粒子铜油墨等不含有粒子的导电性油墨、银纳米线油墨、ito油墨、石墨油墨、碳纳米管油墨、它们混合物、它们组合等。其中，从印刷适性、薄膜中的表面电阻值、获得性的观点考虑，优选含有纳米粒子的导电性油墨及不含有粒子的导电性油墨，更优选铂纳米粒子油墨、金纳米粒子油墨、银纳米粒子油墨、铜纳米粒子油墨、离子性非粒子金油墨、离子性非粒子银油墨及离子性非粒子铜油墨。从低温下的烧结性的观点考虑，优选不含有粒
子的导电性油墨，更优选离子性非粒子金油墨、离子性非粒子银油墨及离子性非粒子铜油墨。
[0069]
作为不含有粒子的导电性油墨，只要包含通过金属离子等被还原而成为显示出导电性的材料的成分且实质上不包含导电性粒子的油墨即可，例如能够使用electroninks incorporated的ei-702、inktec co.,ltd.的tec-ij-010、liquid x公司的non-particle ink等。
[0070]
(介电层)
[0071]
在本发明的波导结构中，导电性图案层与传输线路可以不接触，而在导电性图案层与传输线路之间还具备介电层。当存在介电层时，从减小波导结构的厚度且能够效率良好地吸收电磁波噪声的观点考虑，导电性图案层与传输线路之间的最短距离优选为1000μm以下，即，位于导电性图案层与传输线路之间的介电层的厚度的最小值优选为1000μm以下。
[0072]
当存在介电层时，导电性图案层与传输线路之间的最短距离可以为10μm～800μm，也可以为30μm～600μm。
[0073]
作为介电层，可以举出包含具有介电性的无机化合物、有机化合物等的层。
[0074]
作为上述无机化合物，例如可以举出二氧化硅、石英、玻璃、氮化硅、二氧化钛、氧化铝、氮化铝、氧化锌、氧化锗、氧化锆、氧化铌、氧化钼、氧化铟、氧化锡、氧化钽、氧化钨、氧化铅、金刚石、氮化硼、氮化碳、氮氧化铝、氮氧化硅等。
[0075]
作为上述有机化合物，例如可以举出聚碳酸酯、聚对苯二甲酸乙二酯、聚对苯二甲酸丁二酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚苯乙烯、甲基苯乙烯树脂、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯(abs)树脂、丙烯腈-苯乙烯(as)树脂、聚乙烯、聚丙烯、聚甲基戊烯、聚氧杂环丁烷、尼龙6、尼龙66、聚氯乙烯、聚醚砜、聚砜、三乙酸纤维素、聚乙烯醇、聚丙烯腈、环状聚烯烃、丙烯酸树脂、环氧树脂、环己二烯类聚合物、非晶性聚酯树脂、聚酰亚胺、聚氨酯、氟树脂、热塑性弹性体、聚乳酸等。
[0076]
在本发明的波导结构中，将导电性图案层与传输线路的位置关系的例子1示于图1。图1所示的波导结构100依次具有微带线结构的传输线路1、第2介电层6及导电性图案层2，构成传输线路1的配线3与导电性图案层2未接触。传输线路1从导电性图案层2侧观察时依次具有配线3、第1介电层4及金属平面层(metal plane layer)5。从导电性图案层2的表面侧观察时，传输线路1的至少一部分与导电性图案层2的至少一部分重叠。
[0077]
配线3及金属平面层5只要为电流(尤其是高频电流)流过的导体，则不受特别限定。配线3及金属平面层5例如可以为包含铜等的导体。
[0078]
第1介电层4与设置于导电性图案层与传输线路之间的介电层的优选方式相同。第2介电层6对应于设置于导电性图案层与传输线路之间的介电层。
[0079]
将导电性图案层的形状的一例示于图2。在图2中，(a)表示细线结构的一例，(b)表示曲折结构的一例，(c)表示螺旋结构的一例，(d)表示裂环结构的一例。
[0080]
将在本发明的波导结构中导电性图案层的形状为细线结构时的导电性图案层与传输线路的位置关系的例子示于图3。在图3中，示出从导电性图案层的表面侧观察时的导电性图案层与具有微带线结构的传输线路的位置关系，但在本发明中使用的传输线路并不限定于微带线结构。
[0081]
在图3的(a)中，配置于第1介电层4上的配线3与具有细线结构的导电性图案层12
的一部分重叠，且形成有仅向配线3的宽度方向单侧延伸设置的导电性图案层12。
[0082]
在图3的(b)中，配置于第1介电层4上的配线3与具有细线结构的导电性图案层22的一部分重叠，且形成有向配线3的宽度方向两侧延伸设置的导电性图案层22。
[0083]
在图3的(c)中，设置有2个至少一部分与配置于第1介电层4上的配线3重叠的导电性图案层12。
[0084]
在图3的(d)中，设置有至少一部分与配置于第1介电层4上的配线3重叠的导电性图案层12及至少一部分与配置于第1介电层4上的配线3重叠且长度小于导电性图案层12的长度的导电性图案层32。导电性图案层32仅向配线3的宽度方向单侧延伸设置。
[0085]
在图3的(e)中，设置有4个至少一部分与配置于第1介电层4上的配线3重叠的导电性图案层12。
[0086]
在本发明的波导结构中，将导电性图案层与传输线路的位置关系的例子1～3示于图4。图4的(a)与图1相同，图4的(b)表示构成传输线路1的配线3与导电性图案层2接触且在构成传输线路1的第1介电层4与导电性图案层2之间具备配线3的波导结构200，图4的(c)表示在传输线路1与导电性图案层2之间未设置有第2介电层且以覆盖构成传输线路1的配线3的方式配置有导电性图案层42的波导结构300。
[0087]
[波导结构的制造方法]
[0088]
本发明的波导结构的制造方法为制造本发明的波导结构的波导结构的制造方法，其具有：以从上述导电性图案层的表面侧观察时与上述传输线路的至少一部分重叠的方式形成上述导电性图案层的工序。
[0089]
在本发明的制造方法中，准备传输线路，并以与传输线路的至少一部分重叠的方式形成导电性图案层。作为形成导电性图案层的方法，除了在传输线路上直接形成导电性图案层的方法以外，还可以举出如下方法：在介电层上形成导电性图案层，并以传输线路的至少一部分与导电性图案层重叠的方式将形成有导电性图案层的介电层从介电层侧贴附于传输线路。
[0090]
作为导电性图案层的形成方法，可以举出喷墨印刷法、网版印刷法等印刷法、喷涂法、气溶胶喷射法、滴注法、光刻法、掩模蒸镀法、电镀法等已知的方法。作为导电性图案层的形成方法，优选印刷法，从在高密度的印制电路板上能够容易安装导电性图案层的观点考虑，更优选喷墨印刷法。作为基于喷墨印刷法的导电性图案层的形成方法，例如可以使用日本特开2010-087146号公报中所记载的方法。并且，当通过印刷法形成导电性图案层时，可以使用前述导电性油墨。
[0091]
实施例
[0092]
以下，举出实施例对本发明进行进一步具体的说明。以下实施例所示的材料、使用量、比例、处理内容、处理步骤等只要不脱离本发明的宗旨，则能够适当地进行变更。因此，本发明的范围并不限定于以下所示的具体例。
[0093]
[实施例1]
[0094]
(导电性图案层的制作)
[0095]
使用利用激光切割机制作出的pet(聚对苯二甲酸乙二酯)薄膜制的开口掩模，在厚度为50μm的pet薄膜上通过电子束(eb)蒸镀法蒸镀金而制作出图5的(a)中的细线结构的导电性图案层。
[0096]
关于细线结构的导电性图案层，长度为18mm，宽度为2mm，表面电阻值为0.2ω/
□
。
[0097]
(波导结构的制作)
[0098]
使用了厚度为0.5mm的氟制树脂多层基板(npc-h220a，nippon pillar packing co.,ltd.，具备导体的厚度为18μm及导体的线宽为1.6mm的微带线作为传输线路)。通过将形成有所制作出的实施例1的导电性图案层的薄膜如图5的(a)那样贴附于传输线路的配线而制作出波导结构。
[0099]
实施例1的波导结构具有配置于导电性图案层与传输线路之间的作为介电层的pet薄膜，导电性图案层与传输线路的最短距离为50μm。
[0100]
[实施例2]
[0101]
(导电性图案层的制作及波导结构的制作)
[0102]
使用利用激光切割机制作出的pet薄膜制的开口掩模，在图7所示的厚度为50μm～550μm的pet薄膜上通过eb蒸镀法分别蒸镀金而制作出图5的(b)中的曲折结构的导电性图案层。
[0103]
关于1个曲折结构的导电性图案层，长度为32mm，宽度为2mm，表面电阻值为0.7ω/
□
。
[0104]
通过将形成有实施例2中所制作出的导电性图案层的薄膜如图5的(b)那样贴附于实施例1中所使用的氟制树脂多层基板的传输线路的配线而制作出波导结构。
[0105]
实施例2的波导结构具有配置于导电性图案层与传输线路之间的作为介电层的pet薄膜，导电性图案层与传输线路的最短距离为50μm～550μm。
[0106]
此外，在实施例2中，使用利用激光切割机制作出的pet薄膜制的开口掩模，在实施例1中所使用的氟制树脂多层基板的传输线路的配线上通过eb蒸镀法分别蒸镀金而制作出图5的(b)中的曲折结构的导电性图案层，由此制作出波导结构。该波导结构在导电性图案层与传输线路之间不具有介电层(图7中的无pet)。
[0107]
[实施例3]
[0108]
(导电性图案层的制作及波导结构的制作)
[0109]
在厚度为50μm的kapton薄膜(du pont-toray co.,ltd.制造的聚酰亚胺薄膜)上，使用fujifilm dimatix公司制造的材料打印机(dmp-2831)及bando chemical industries,ltd.制造的水类银纳米粒子油墨(sw-1020)，在滴量10pl/滴及分辨率605dpi(dot per inch：每英寸打印点数)的条件下对如图5的(c)所示的螺旋结构的油墨层进行了描绘。描绘后，在300℃、30分钟的条件下将油墨层烧结而制作出图5的(c)所示的螺旋结构的导电性图案层。
[0110]
关于1个螺旋结构的导电性图案层，长度为32mm，宽度为0.4mm，表面电阻值为0.1ω/
□
。
[0111]
通过将形成有实施例3中所制作出的导电性图案层的薄膜如图5的(c)那样贴附于实施例1中所使用的氟制树脂多层基板的传输线路的配线而制作出波导结构。
[0112]
(电磁波吸收率的测定)
[0113]
使用agilent technologies japan,ltd.制造的网络分析仪(型号：n5230a)分别测定实施例1～实施例3中所制作出的波导结构的s参数(s
11
、s
21
)，并按照下述式测定了电磁波吸收率。
[0114]
将实施例1～3中的电磁波吸收率的测定结果示于图6～图8。另外，图6～8中的e是指指数部，例如ae b是指a
×
10b。
[0115]
[数式1]
[0116]
1-|s
11
|
2-|s
21
|2[0117]
如图6～图8所示，在具有细线结构、曲折结构及螺旋结构中的任一种的导电性图案层的波导结构中，确认到产生了电磁波吸收，并且，还确认到能够选择性地吸收特定频率的电磁波。
[0118]
[实施例4]
[0119]
使用keisoku engineering system co.,ltd.制造的有限元法模拟软件comsol，对具有与实施例1相同的构成的波导结构进行了特性的模拟试验。此外，仅改变细线结构的导电性图案层的长度(l)而同样进行了特性的评价。
[0120]
将模拟试验结果示于图9。如图9所示，确认到通过改变细线的长度，选择性地被吸收的电磁波的频率发生变化，从而能够调节产生电磁波吸收的频率。
[0121]
[实施例5]
[0122]
使用keisoku engineering system co.,ltd.制造的有限元法模拟软件comsol，对具有与实施例3相同的构成的波导结构进行了特性的模拟试验。此外，仅改变螺旋结构的导电性图案层的表面电阻值而同样进行了特性的评价。
[0123]
将模拟试验结果示于图10。如图10所示，确认到当表面电阻值为0.01ω/
□
、0.1ω/
□
、1ω/
□
及10ω/
□
时电磁波的吸收率高。另一方面，确认到当表面电阻值为0.001ω/
□
或100ω/
□
时，与表面电阻值为0.01ω/
□
、0.1ω/
□
、1ω/
□
及10ω/
□
的情况相比，电磁波的吸收率小，因此无法适当地吸收在传输线路中引导的电磁波噪声。
[0124]
[实施例6～9]
[0125]
对于实施例3的螺旋结构的导电性图案层，如以下表1所示那样变更了所使用的油墨、烧结条件及导电性图案层的表面电阻值，除此以外，以与实施例3相同的方式制作出实施例6～9的螺旋结构的导电性图案层及波导结构。另外，反复涂布了油墨，以使导电性图案层的表面电阻值成为表1所示的值。
[0126]
[表1]
[0127][0128]
以与实施例3相同的方式测定实施例6～9的波导结构的电磁波吸收率，并求出了其值成为最大的峰值吸收率。此外，使用agilent technologies japan,ltd.制造的网络分析仪(型号：n5230a)求出了峰值吸收率的半宽度。将结果示于表2。
[0129]
[表2]
[0130] 峰值吸收率峰值频率(f)2.0/f半宽度实施例380％2.2ghz0.91ghz0.4ghz实施例670％2.2ghz0.91ghz0.5ghz实施例790％2.2ghz0.91ghz0.3ghz实施例870％2.2ghz0.91ghz0.7ghz实施例950％2.2ghz0.91ghz0.9ghz
[0131]
如表2所示，在实施例3、6～9中，确认到峰值吸收率高。尤其，在使用不含有粒子的导电性油墨制作了导电性图案层的实施例7中，确认到峰值吸收率更高。
[0132]
在2019年12月23日申请的美国专利申请62/952481的所有公开内容通过参考被并入本说明书中。
[0133]
本说明书中所记载的所有文献、专利申请及技术标准与具体地且分别地记载通过参考而被并入的各个文献、专利申请及技术标准的情况相同程度地，通过参考而被并入本说明书中。
[0134]
符号说明
[0135]
1-传输线路，2、12、22、32、42、52、62、72-导电性图案层，3、13-配线，4-第1介电层，5-金属平面层，6、16-第2介电层(介电层)，100-波导结构。