一种基于水封的检测多晶铸锭炉设备气密性的方法与流程

1.本发明涉及多晶铸锭炉技术领域，具体为一种基于水封的检测多晶铸锭炉设备气密性的方法。


背景技术：

2.多晶硅铸锭炉是一种用于物理学、冶金工程技术、能源科学技术领域的工艺试验仪器。
3.现有专利(公告号：cn103981571a)及一种检测多晶铸锭炉设备气密性的方法，此专利有利于及时了解本次生产周期内，设备的气密性，有利于及时排查影响气密性的因素，保障本次硅锭的生产质量。并且，在没有给多晶铸锭炉带来额外的生产用时的前提下，增加了设备器件气密性的检查，当上一生产周期中所述第二真空测试的测试结果为不满足真空测试标准时，对所述多晶铸锭炉设备先进行排查，消除影响气密性的因素后再进行本生产周期的第一真空测试；能在进行本生产周期的第一真空测试之前，发现设备存在的问题，及时进行维修；例如，如果在此检测过程中检测到设备的气密性不满足要求，那么在硅锭出炉后进行本次硅锭生产前，可以提前查找影响设备气密性的原因。这样，可以在下一周期进行第一真空测试前，了解炉腔的连接部件之间气密性情况，避免浪费本生产周期抽真空的时间，但是其难以确定裂缝方位，对于裂缝位于何处或者是否漏水没有判断，对多晶铸锭炉维修无法提供实质参考，导致维修人员需要重新热炉，再次对炉体抽成真空，导致维修时间耽误，延误生产进度。
4.因此，我们提供一种基于水封的检测多晶铸锭炉设备气密性的方法，有效地指明多晶铸锭炉的裂缝方位，大大提高了维修的效率，便于查出水路裂缝，避免水利漏检，避免工人反复寻找裂缝的时间。


技术实现要素：

5.本发明的目的在于提供一种基于水封的检测多晶铸锭炉设备气密性的方法，解决了背景技术中所提出的问题。
6.为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种基于水封的检测多晶铸锭炉设备气密性的方法，
7.s1：将多晶铸锭炉加热部件打开，将多晶铸锭炉内壁、外壁和水路中水分蒸发；
8.s2：再将多晶铸锭炉内原料和杂质清空，并将多晶铸锭炉内阀门关闭，预留单一通管；
9.s3：将外部气泵对应多晶铸锭炉的单一通管连通，将多晶铸锭炉完全封闭，启动气泵对应单一通管进行通气，并查看气泵压力表；
10.s4：通过采用水泵对应多晶铸锭炉的水路相连通，并保持水泵压力5-10min，时间结束后查看多晶铸锭炉内壁和外壁状况；
11.s5：将塑料套袋对应多晶铸锭炉外部嵌套，并将多晶铸锭炉内部抽成真空，同时塑
料套袋包裹多晶铸锭炉，且塑料套袋内空气抽出，并保持抽出压力，通过管道对应多晶铸锭炉内部冲入氦气，并观察塑料套袋外壁；
12.s6：通过密封胶带对应塑料套起伏处的多晶铸锭炉外壁进行贴合；
13.s7：将塑料套袋对应多晶铸锭炉外部嵌套，并将多晶铸锭炉内部抽成真空，同时塑料套袋包裹多晶铸锭炉，且塑料套袋内空气抽出，并保持抽出压力，通过管道对应多晶铸锭炉内部冲入氦气，并观察塑料套袋外壁，直到氦气泵压力恒定。
14.作为本发明的一种优选实施方式，多晶铸锭炉内加热部件加热时间为10-20min，且取消水路连通，打开冷却水路，使得多晶铸锭炉保持干燥，并放置冷却。
15.作为本发明的一种优选实施方式，对多晶铸锭炉内壁进行清理，将残留的原料和杂质清理干净，同时将筒内氧化物擦拭干净，通过吸尘器将隔热笼顶板的脏污清理干净。
16.作为本发明的一种优选实施方式，查看气泵压力表的指针动作，判断多晶铸锭炉内气密性。
17.作为本发明的一种优选实施方式，将塑料套袋采用塑料材质，对应多晶铸锭炉外壁包裹，且塑料套袋顶部具有封口，其外壁设置有单向抽气阀。
18.作为本发明的一种优选实施方式，密封胶带对应塑料套起伏处的多晶铸锭炉外壁进行贴合，对多晶铸锭炉的缝隙进行堵塞。
19.与现有技术相比，本发明的有益效果如下：
20.本发明通过检测方法，通过对水路检测，多晶铸锭炉气密检查，可对多晶铸锭炉的裂缝进行初步位置判断，通过塑料套袋对应多晶铸锭炉嵌套，当氦气通过多晶铸锭炉的裂缝进入塑料套袋内时，吸附于多晶铸锭炉外壁的塑料套袋出现起伏状态，判断裂缝位置，有效地指明多晶铸锭炉的裂缝方位，大大提高了维修的效率，便于查出水路裂缝，避免水利漏检，避免工人反复寻找裂缝的时间。
具体实施方式
21.为使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。
22.在本发明的描述中，对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
23.本发明提供一种技术方案：一种基于水封的检测多晶铸锭炉设备气密性的方法，
24.s1：将多晶铸锭炉加热部件打开，将多晶铸锭炉内壁、外壁和水路中水分蒸发；
25.s2：再将多晶铸锭炉内原料和杂质清空，并将多晶铸锭炉内阀门关闭，预留单一通管；
26.s3：将外部气泵对应多晶铸锭炉的单一通管连通，将多晶铸锭炉完全封闭，启动气泵对应单一通管进行通气，并查看气泵压力表；
27.s4：通过采用水泵对应多晶铸锭炉的水路相连通，并保持水泵压力5-10min，时间结束后查看多晶铸锭炉内壁和外壁状况；
28.s5：将塑料套袋对应多晶铸锭炉外部嵌套，并将多晶铸锭炉内部抽成真空，同时塑料套袋包裹多晶铸锭炉，且塑料套袋内空气抽出，并保持抽出压力，通过管道对应多晶铸锭炉内部冲入氦气，并观察塑料套袋外壁；
29.s6：通过密封胶带对应塑料套起伏处的多晶铸锭炉外壁进行贴合；
30.s7：将塑料套袋对应多晶铸锭炉外部嵌套，并将多晶铸锭炉内部抽成真空，同时塑料套袋包裹多晶铸锭炉，且塑料套袋内空气抽出，并保持抽出压力，通过管道对应多晶铸锭炉内部冲入氦气，并观察塑料套袋外壁，直到氦气泵压力恒定。
31.本实施例中，多晶铸锭炉内加热部件加热时间为10-20min，且取消水路连通，打开冷却水路，使得多晶铸锭炉保持干燥，并放置冷却。
32.本实施例中，对多晶铸锭炉内壁进行清理，将残留的原料和杂质清理干净，同时将筒内氧化物擦拭干净，通过吸尘器将隔热笼顶板的脏污清理干净。
33.本实施例中，查看气泵压力表的指针动作，判断多晶铸锭炉内气密性。
34.本实施例中，将塑料套袋采用塑料材质，对应多晶铸锭炉外壁包裹，且塑料套袋顶部具有封口，其外壁设置有单向抽气阀。
35.本实施例中，密封胶带对应塑料套起伏处的多晶铸锭炉外壁进行贴合，对多晶铸锭炉的缝隙进行堵塞。
36.具体实施例1
37.将多晶铸锭炉加热部件打开，多晶铸锭炉内加热部件加热时间为10-20min，且取消水路连通，打开冷却水路，使得多晶铸锭炉保持干燥，并放置冷却；
38.对多晶铸锭炉内壁进行清理，将残留的原料和杂质清理干净，同时将筒内氧化物擦拭干净，通过吸尘器将隔热笼顶板的脏污清理干净；
39.将外部气泵对应多晶铸锭炉的单一通管连通，将多晶铸锭炉完全封闭，启动气泵对应单一通管进行通气，查看气泵压力表的指针动作，判断多晶铸锭炉内气密性，压力表指针持续上升达到阈值，指针无晃动，关闭气泵，保证堵塞状态，观察10-15min，压力表指针无下降，多晶铸锭炉气密性完好。
40.具体实施例2
41.将多晶铸锭炉加热部件打开，多晶铸锭炉内加热部件加热时间为10-20min，且取消水路连通，打开冷却水路，使得多晶铸锭炉保持干燥，并放置冷却；
42.对多晶铸锭炉内壁进行清理，将残留的原料和杂质清理干净，同时将筒内氧化物擦拭干净，通过吸尘器将隔热笼顶板的脏污清理干净；
43.将外部气泵对应多晶铸锭炉的单一通管连通，将多晶铸锭炉完全封闭，启动气泵对应单一通管进行通气，查看气泵压力表的指针动作，判断多晶铸锭炉内气密性，压力表指针持续上升达到阈值，指针无晃动，关闭气泵，保证堵塞状态，观察10-15min，压力表指针存在下降，多晶铸锭炉存在裂缝；
44.通过采用水泵对应多晶铸锭炉的水路相连通，并保持水泵压力5-10min，时间结束后查看多晶铸锭炉内壁和外壁状况；
45.多晶铸锭炉内壁和外壁出现水渍，水路存在裂缝；并对水路进行检查修补，水路修补完成后；
46.将塑料套袋对应多晶铸锭炉外部嵌套，并将多晶铸锭炉内部抽成真空，同时塑料套袋包裹多晶铸锭炉，且塑料套袋内空气抽出，并保持抽出压力，通过管道对应多晶铸锭炉内部冲入氦气，并观察塑料套袋外壁，其中，将塑料套袋采用塑料材质，且塑料套袋顶部具有封口，其外壁设置有单向抽气阀；
47.当塑料套袋出现起伏，说明对应起伏处的多晶铸锭炉位置存在裂缝，需要进行修补。
48.具体实施例3
49.将多晶铸锭炉加热部件打开，多晶铸锭炉内加热部件加热时间为10-20min，且取消水路连通，打开冷却水路，使得多晶铸锭炉保持干燥，并放置冷却；
50.对多晶铸锭炉内壁进行清理，将残留的原料和杂质清理干净，同时将筒内氧化物擦拭干净，通过吸尘器将隔热笼顶板的脏污清理干净；
51.将外部气泵对应多晶铸锭炉的单一通管连通，将多晶铸锭炉完全封闭，启动气泵对应单一通管进行通气，查看气泵压力表的指针动作，判断多晶铸锭炉内气密性，压力表指针持续上升达到阈值，指针无晃动，关闭气泵，保证堵塞状态，观察10-15min，压力表指针存在下降，多晶铸锭炉存在裂缝；
52.通过采用水泵对应多晶铸锭炉的水路相连通，并保持水泵压力5-10min，时间结束后查看多晶铸锭炉内壁和外壁状况；
53.多晶铸锭炉内壁和外壁出现水渍，水路存在裂缝；并对水路进行检查修补，水路修补完成后；
54.将塑料套袋对应多晶铸锭炉外部嵌套，并将多晶铸锭炉内部抽成真空，同时塑料套袋包裹多晶铸锭炉，且塑料套袋内空气抽出，并保持抽出压力，通过管道对应多晶铸锭炉内部冲入氦气，并观察塑料套袋外壁，其中，将塑料套袋采用塑料材质，且塑料套袋顶部具有封口，其外壁设置有单向抽气阀；
55.当塑料套袋出现起伏，说明对应起伏处的多晶铸锭炉位置存在裂缝，需要进行修补；
56.通过密封胶带对应塑料套起伏处的多晶铸锭炉外壁进行贴合，暂时密封裂缝，寻找其他裂缝；
57.将塑料套袋对应多晶铸锭炉外部嵌套，并将多晶铸锭炉内部抽成真空，同时塑料套袋包裹多晶铸锭炉，且塑料套袋内空气抽出，并保持抽出压力，通过管道对应多晶铸锭炉内部冲入氦气，并观察塑料套袋外壁，直到氦气泵压力恒定。
58.在一种基于水封的检测多晶铸锭炉设备气密性的方法使用的时候，需要说明的是，本发明为一种基于水封的检测多晶铸锭炉设备气密性的方法，各个部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。
59.以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点，对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。
60.此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员
可以理解的其他实施方式。