具有在低波长下具有透明度的窗口的化学机械抛光垫和用于这种窗口的材料的制作方法

1.本发明总体上涉及用于衬底如磁性衬底、光学衬底和半导体衬底的化学机械抛光的抛光垫领域，包括存储器和逻辑集成电路的前段(feol)或后段(beol)处理，其中抛光垫具有便于终点检测的窗口。本发明还涉及用于此类窗口的材料。


背景技术：

2.在集成电路以及其他电子装置的制造中，将多层导电材料、半导电材料以及介电材料沉积在半导体晶片的表面上或从半导体晶片的表面上部分地或选择性地移除。可以使用许多沉积技术来沉积导电材料、半导电材料以及介电材料的薄层。在现代晶片加工中常见的沉积技术包括除其他之外，物理气相沉积(pvd)(也称为溅射)、化学气相沉积(cvd)、等离子体增强的化学气相沉积(pecvd)、以及电化学沉积(ecd)。常见的移除技术除其他之外包括湿蚀刻和干蚀刻；各向同性蚀刻和各向异性蚀刻。
3.随着材料层被依次地沉积和移除，晶片的形貌(即最上表面)变成非均匀或非平面的。因为后续的半导体加工(例如光刻、金属化等)要求晶片具有平坦的表面，所以需要对晶片进行平坦化。平坦化用于移除不期望的表面形貌和表面缺陷，比如粗糙表面、附聚的材料、晶格损伤、划痕、以及被污染的层或材料。另外，在镶嵌(damascene)工艺中，对材料进行沉积以填充由沟槽和过孔等图案化蚀刻产生的凹陷区域，但是填充步骤可能不精确并且凹陷的过度填充比填充不足是优选的。因此，需要去除凹陷之外的材料。
4.化学机械平坦化或化学机械抛光(cmp)是用于平坦化或抛光工件(例如半导体晶片)并除去镶嵌工艺、线前端(feol)工艺或线后端(beol)工艺中多余材料的常用技术。在常规cmp中，将晶片托架或抛光头安装在托架组件上。抛光头保持晶片并使晶片定位成与抛光垫的抛光表面接触，所述抛光垫安装在cmp设备内的工作台或压板上。托架组件在晶片和抛光垫之间提供可控制的压力。同时，将浆料或其他抛光介质分配到抛光垫上并吸入晶片和抛光层之间的间隙中。为了进行抛光，抛光垫和晶片典型地相对于彼此旋转。当抛光垫在晶片下方旋转时，晶片越过典型地环形抛光轨迹或抛光区域，其中晶片的表面直接面对抛光层。通过抛光表面和表面上的抛光介质(例如，浆料)的化学和机械作用来抛光晶片表面并使之平坦。
5.可能期望对抛光中衬底的各个方面(例如层的厚度)进行精确控制。因此，已经提出了各种方法来检测抛光何时完成至期望水平。由于抛光垫通常由不透明材料制成，于是在抛光垫中插入透明窗口。这就可以实现以下光学检测系统，其中光源通过透明窗口将电磁辐射(例如期望波长的光)导向衬底，并且传感器检测从衬底反射并通过窗口回传的电磁辐射(例如光)。已提出的窗口设计多种多样。参见，例如，美国专利7,258,602；8,475,228；7,429,207；9,475,168；7,621,798；和5,605,760以及jp 2006021290。
6.一些终点检测方案已经使用单一波长进行检测(例如约600nm的波长)。然而，在多个波长范围运行的扫描激光干涉仪或具有广谱光源的系统也已被使用。这些可以是有利
的，因为它们可以得到额外的数据(例如关于衬底上的层的厚度)。那么可以使用的波长可以是200至800nm。由于半导体缩放，膜厚度随着时间的推移而减小，因此需要提高较薄的膜的测量精度。测量精度的提高需要在干涉法中使用较低的波长。这导致需要在紫外区域(具体地在250-380nm的区域)具有提高的透射率的窗口材料。许多当前的窗口在这些波长的整个范围内都没有良好的透射率。尽管us 10,293,456公开了在低于325nm处具有uv截止的组合物，但这些组合物在某些应用中可能具有不期望的机械特性并且在250nm处不具有可接受的透射率。


技术实现要素：

7.本文公开了一种用于化学机械抛光的抛光垫，其包括具有顶部抛光表面和抛光材料的抛光部分、贯穿所述抛光垫的开口、以及在所述抛光垫中的开口内的透明窗口，所述透明窗口固定在抛光垫上；其中所述窗口包含聚氨酯组合物，所述聚氨酯组合物是使聚合多元醇、聚异氰酸酯、和包含三个或更多个形成硬链段的羟基的固化剂在用于减小硬链段域尺寸的硬链段抑制剂的存在下反应形成的，并且其中所述聚氨酯组合物是软链段基质中的硬链段的无定形混合物，并且所述聚氨酯组合物不含碳碳双键。
8.如本文所使用的，“不含”意指基于组分的总摩尔数，存在小于1、小于0.5、小于0.1、小于0.05、小于0.01摩尔％的所列举的元素。例如，聚氨酯可以具有基于聚氨酯的摩尔数小于1、小于0.5、小于0.1、小于0.05、或小于0.01摩尔百分比的碳碳不饱和度(例如碳碳双键和碳碳三键)。
附图说明
9.图1是包括窗口的化学机械抛光垫的平面图。
10.图2是如实例3中所述测试的某些样品的透射率图。
11.图3是如实例4中所述制造和测试的某些样品的透射率图。
具体实施方式
12.诸位发明人已经发现，当形成聚氨酯窗口时，添加硬链段抑制剂以减小硬链段域的尺寸。已经发现，限制无定形聚氨酯组合物中的硬链段域的尺寸提高了透光率。这些无定形聚氨酯组合物由软链段基质中的硬链段的混合物组成。在没有抑制剂的情况下，硬链段可能形成干扰光透射的团簇。具体地，本文公开的窗口可以具有以下特征中的一种或多种：在250nm处良好的透光率，在280nm处、优选在250nm处良好的透射率，结合低模量。具体地，本文公开的垫使得能够在化学机械抛光期间在终点检测中使用广谱光源检测器。此外，本文公开的垫可以避免如果窗口的机械特性与垫抛光材料的机械特性显著不同时可能出现的问题(例如，缺陷和划痕)。
13.因此，聚氨酯窗口材料可以从低至多240、或250、或250、或270、或280nm至多800、或至多700、或至多650或至多600nm的波长具有良好的透明度。例如，包含聚氨酯组合物的窗口可以具有在250nm的波长处至少1％、至少2％、至少3％、或至少5％的“双程透射率”。作为另一个实例，包含聚氨酯组合物的窗口可以具有在240nm的波长处至少0.75％、至少1％、至少2％、至少3％、或至少5％的“双程透射率”。作为另一个实例，包含聚氨酯组合物的窗口
可以具有在280nm(或在260nm或在250nm)波长处至少1％、至少2％、至少3％、或至少5％的双程透射率，并且具有(i)不超过75、或不超过70、或不超过65、或不超过60的肖氏d硬度(例如根据astm d2240-15(2015))和(ii)根据astm d412-06a(2013)的3000或5000或10,0000、或20,000、或25,000至多70,000、或至多60,000、或至多50,000或至多45,000磅/平方英寸(psi)(或约20.7、或约34.4、或约68.9、或约138、或约172至多约483、或至多约414、或至多约345或至多310兆帕(mpa))的拉伸模量中的一者或两者。
14.为了减少缺陷，聚氨酯窗口的拉伸模量可以与抛光材料的拉伸模量类似。例如，窗口材料的拉伸模量可以是抛光材料的拉伸模量值的50％或75％至多150％或至多130％。有利地，所述模量是抛光材料的拉伸强度的75％至130％。
15.如本文所使用的，双程透射率是从光源穿过窗口、在硅衬底反射、通过窗口返回并且然后被检测到的光的归一化值。所述标准化值可以使用以下公式进行计算：dpt＝(iw
si-iwd)
÷
(ia
si-iad)，其中iw
si
是从原点穿过窗口并从靠着窗口的第二面放置的硅覆盖晶片表面穿过窗口反射回检测器的光强度的测量值；其中iwd是从原点穿过窗口并从黑体表面反射并穿过窗口返回到检测器的光强度的测量值；其中ia
si
是从原点穿过与终点检测窗口的厚度tw相等的空气厚度，从硅覆盖晶片的表面反射并穿过空气厚度反射回检测器的光强度的测量值；并且其中，iad是穿过空气从黑体反射的光强度的测量值。
16.窗口材料包含不含碳碳双键(例如特别是共轭碳碳双键、芳香族基团)的聚氨酯。有利地，聚氨酯也不含碳碳三键。聚氨酯是在不含碳碳双键(例如芳香族基团)、碳碳三键、或两者都不含的硬链段抑制剂的存在下形成的。例如，窗口材料可以是不含碳碳双键、碳碳三键或两者都不含的聚合多元醇与不含碳碳双键、碳碳三键或两者都不含的聚异氰酸酯的反应产物。聚氨酯可以通过使用具有至少3个(例如3至5个；3或4或5个)羟基并且不含碳碳双键、碳碳三键或者两者都不含的固化剂进行固化。当聚合多元醇是二醇时，特别需要使用固化剂。聚合多元醇和聚异氰酸酯可以先反应形成具有异氰酸酯端基的预聚物，然后所述预聚物可以与固化剂反应。当聚亚烷基二醇是聚合二醇时，此方法是优选的。可替代地，聚合多元醇、聚异氰酸酯和固化剂可以全部在单个步骤中组合和反应。硬链段抑制剂可以在形成预聚物时存在。然而，当固化聚氨酯组合物时，硬链段抑制剂必须存在。
17.聚合多元醇可以是具有两个或更多个羟基和不含或基本上不含碳碳双键、碳碳三键或两者都不含的聚合骨架的聚合物。例如，聚合多元醇可以是聚亚烷基二醇(例如ho-[r-o]
n-h)，其中r是具有2、3、4、或5个碳原子的脂肪族基团，在每次出现时r可以是独立的或在每次出现时r可以相同，并且n是2、或3、或4至多100、或至多80、或至多60、或至多40、或至多30、或至多25或至多20的整数。此类聚亚烷基二醇的具体实例包括聚乙二醇、聚丙二醇、聚四亚甲基醚二醇、或其两种或更多种的共聚物。作为另一个实例，聚合多元醇可以是聚碳酸酯多元醇。这种聚碳酸酯二醇可以是聚酯二醇与碳酸亚烷基酯，例如聚己内酯多元醇与碳酸亚烷基酯的反应产物；通过使碳酸亚乙酯与二醇或乙二醇反应，并且使所得的反应混合物与有机二羧酸反应得到的聚酯聚碳酸酯多元醇；以及通过二醇或聚醚二醇化合物与碳酸亚烷基酯的酯交换反应获得的聚碳酸酯多元醇。聚合多元醇可以是二醇。聚合多元醇可以是具有不同组成或分子量的聚合多元醇的共混物。聚合多元醇的共混物的数均分子量可以为至少300、或至少400至多4000、或至多3500、或至多3000、或至多2500、或至多2000、或至多1500。共混物中使用的单个聚合多元醇可以具有低至多200至多6000的分子量。数均分子
量可以通过凝胶渗透色谱法使用聚苯乙烯标准物确定。数均分子量可以通过所有多元醇组分的摩尔分数和分子量的乘积之和计算。较低的平均分子量或大量的低分子量多元醇可能导致较硬的聚氨酯。较高的平均分子量或少量的低分子量多元醇可能导致不太硬或具有较低模量的聚氨酯。
[0018]
聚异氰酸酯是具有2个或更多个异氰酸酯基团并且不含或基本上不含碳碳双键、碳碳三键或两者都不含的异氰酸酯官能化合物。例如，聚异氰酸酯可以具有2、3、或4个异氰酸酯官能团。可以使用二异氰酸酯。此类二异氰酸酯的实例包括脂肪族二异氰酸酯或脂环族二异氰酸酯。脂环族二异氰酸酯的实例包括1，4-环己烷二异氰酸酯、4，4
′‑
二环己基甲烷二异氰酸酯、异佛尔酮二异氰酸酯、亚甲基双-环己基异氰酸酯、(4，4
′‑
二环己基-甲烷二异氰酸酯)[注意后者也可称为4，4
’‑
亚甲基双(环己基异氰酸酯)，并且在本文中缩写为(h12mdi)]。可以使用多于一种脂肪族或脂环族聚异氰酸酯的组合。
[0019]
固化剂不含或基本上不含碳碳双键、碳碳三键或两者都不含，并且具有与异氰酸酯基团反应的官能度。例如，其可以是具有3个或更多个羟基(例如3或4个羟基)的多元醇。固化剂的分子量可以为100或120至多4000、或至多3500、或至多3000、或至多2000、或至多1000、或至多600、或至多400或至多350。实例包括三羟甲基丙烷(tmp)、具有1至4个丙氧基的丙氧基化的三羟甲基丙烷、具有2至6个丙氧基的丙氧基化的甘油、脂肪胺官能聚醚多元醇(如来自陶氏化学公司(dow chemical company)的voranol
tm 800)。
[0020]
如上所述，聚氨酯可以单步合成或多步合成制备。
[0021]
在多步合成中，聚合多元醇(例如聚合二醇)与化学计量略微过量的聚异氰酸酯反应，需要所述聚异氰酸酯来形成异氰酸酯封端的预聚物。例如用聚合二醇与二异氰酸酯，二醇∶二异氰酸酯的摩尔比为1∶1至1∶1.2或1∶1.1。基于预聚物的总重量，预聚物上未反应的异氰酸酯基团的重量％可以是5至多15或至多10重量％。在形成预聚物之后，可以添加固化剂并反应。固化剂的量可以是使得来自预聚物组合物的未反应的异氰酸酯基团与固化剂上的反应性官能团(例如羟基)的化学计量比(即来自固化剂的反应性官能团∶预聚物中未反应的异氰酸酯基团的摩尔比)为0.85∶1至110∶1。聚合二醇与固化剂的重量比可以为1.5∶1至多10∶1或至多8∶1。
[0022]
当二醇是聚亚烷基二醇时，发现两步法在最终固化的聚氨酯中提供更好的透射率。
[0023]
可替代地，可以通过将聚合多元醇与聚异氰酸酯组合来使用一步反应。在使用聚合二醇和二异氰酸酯的情况下，还添加具有至少3个反应性官能团(例如羟基)的固化剂。当使用聚碳酸酯多元醇(特别是聚碳酸酯二醇)时，已经发现这种方法提供具有良好透射率的聚氨酯。例如，基于反应性组分(即异氰酸酯和羟基官能组分-例如，聚异氰酸酯、聚合多元醇和固化剂)的总重量，30或40至多60重量百分比的聚异氰酸酯(例如二异氰酸酯)可以与多元醇(尤其包括至少一种具有3个或更多个羟基的多元醇)组合。因此，基于反应性组分的总重量，多元醇的累积量为30、或35、或40至多70、或至多60、或至多55重量百分比。聚合多元醇与固化剂的重量比可以为1.5∶1或1.6∶1至多10∶1或至多8∶1或至多6∶1。二异氰酸酯与聚合二醇的摩尔比可以为1.5∶1或1.7∶1或2∶1至多3.5∶1或至多2∶1。较低的比率可能导致不太硬并且具有较低模量的聚氨酯，如果抛光材料也具有较低的模量或硬度，这可能会有所帮助。
[0024]
上述多元醇、聚异氰酸酯和固化剂可以在催化剂的存在下反应。催化剂可以不含碳碳双键(例如不含芳香族基团)、碳碳三键或两者都不含。合适的催化剂的实例包括含锡催化剂(例如以0.00001至0.1wt.％的量)、脂肪胺催化剂(例如以0.01至1wt.％的量)、或含铋催化剂(例如以0.00001至0.1wt.％的量)，所有重量百分比均基于反应混合物的总固体重量。
[0025]
硬链段抑制剂以基于窗口材料的总重量至少0.5、或至少1、或至少1.5、或至少2重量百分比的量存在。硬链段抑制剂可以以基于窗口材料的总重量至多10、或至多7、或至多5重量百分比的量存在。在两步反应法中，可以在制备预聚物的过程中，或在固化剂与预聚物反应的过程中添加硬链段抑制剂。在一步反应法中，可以在反应前或反应期间添加硬链段抑制剂。硬链段抑制剂可以是可溶于液态聚氨酯的阴离子或非离子添加剂。例如，硬链段抑制剂可以是烷基醚或聚氧化烯烃(例如聚氧化乙烯)的硫酸酯、磺酸酯、磷酸酯或羧酸酯，或者可以是聚氧化烯烃的单烷基醚、乙氧基化物、脂肪醇乙氧基化物、脂肪酸乙氧基化物。硬链段抑制剂不含碳碳双键、碳碳三键或两者都不含。具体的实例是磷酸酯如merpol
tm a硬链段抑制剂。
[0026]
聚氨酯组合物还可以用于除透明窗口之外的目的。例如，聚氨酯组合物可以用于化学机械抛光垫的抛光材料中。在那种情况下，组合物还可以包含在此类抛光材料中常见的此类添加剂。例如，可以使用基于抛光材料的总重量约1％-5％或1％-4％重量的量的空心微球、磨料颗粒或者其他添加剂，因为在此类用途中透明度不是关键特性。
[0027]
抛光部分可以包括抛光垫中常用的任何组合物。抛光部分可以包括热塑性或热固性聚合物。抛光部分可以是复合物，如包含填充有碳或无机填料的聚合物的复合物，以及浸渍有聚合物的例如玻璃纤维或碳纤维的纤维垫。抛光部分可以具有空隙。在可以用于基部垫或抛光部分的聚合物材料中，可以用于抛光部分的聚合物的实例包括聚碳酸酯、聚砜、尼龙、环氧树脂、聚醚、聚酯、聚苯乙烯、丙烯酸类聚合物、聚甲基丙烯酸甲酯、聚氯乙烯、聚氟乙烯、聚乙烯、聚丙烯、聚丁二烯、聚乙烯亚胺、聚氨酯、聚醚砜、聚酰胺、聚醚酰亚胺、聚酮、环氧物、硅酮、其共聚物(例如聚醚-聚酯共聚物)、及其组合或共混物。该聚合物可以是聚氨酯。
[0028]
根据astm d412-16，抛光部分的杨氏模量可以为至少2mpa、至少2.5mpa、至少5mpa、至少10mpa、或至少50mpa至多900mpa、至多700mpa、至多600mpa、至多500mpa、至多400mpa、至多300mpa、或至多200mpa。抛光部分对用于终点检测的信号可以是不透明的。
[0029]
基部垫(也称为子层或基部层)可以用在抛光部分下方。基部垫可以是单一层或可以包括多于一层。基部垫的顶部表面可以在xy笛卡尔坐标系中定义平面。例如，抛光部分可以通过机械紧固件或通过粘合剂附接到子垫上。基部层可以具有至少0.5mm或至少1mm的厚度。基部层可以具有不超过5mm、不超过3mm或不超过2mm的厚度。
[0030]
基部垫或基部层可以包括已知用作抛光垫的基部层的任何材料。例如，该材料可以包括聚合物、聚合物材料与其他材料的复合物、陶瓷、玻璃、金属、石材、或木材。聚合物和聚合物复合材料可以用作基部垫，特别是在不超过一个层时用于顶层，这是因为其与可以形成抛光部分的材料具有相容性。此类复合材料的实例包括填充有碳或无机填料的聚合物和浸渍有聚合物的例如玻璃或碳纤维的纤维垫。垫的基部可以由具有以下特性中的一种或多种的材料制成：如例如通过astmd412-16确定的至少2mpa、至少2.5mpa、至少5mpa、至少
10mpa、或至少50mpa至多900mpa、至多700mpa、至多600mpa、至多500mpa、至多400mpa、至多300mpa、或至多200mpa的杨氏模量；例如通过astm e132015确定为至少0.05、至少0.08、或至少0.1、至多0.6或至多0.5的泊松比；至少0.4克/立方厘米或至少0.5克/立方厘米至多1.7克/立方厘米、至多1.5克/立方厘米或至多1.3克/立方厘米(g/cm3)的密度。
[0031]
可以用于基部垫或抛光部分中的此类聚合物材料的实例包括聚碳酸酯、聚砜、尼龙、环氧树脂、聚醚、聚酯、聚苯乙烯、丙烯酸类聚合物、聚甲基丙烯酸甲酯、聚氯乙烯、聚氟乙烯、聚乙烯、聚丙烯、聚丁二烯、聚乙烯亚胺、聚氨酯、聚醚砜、聚酰胺、聚醚酰亚胺、聚酮、环氧物、硅酮、其共聚物(如聚醚-聚酯共聚物)、及其组合或共混物。
[0032]
该聚合物可以是聚氨酯。聚氨酯可以单独使用或者可以是碳或无机填料和例如玻璃或碳纤维的纤维垫的基质。
[0033]
为了本说明书的目的，“聚氨酯”是衍生自双官能或多官能异氰酸酯的产物，例如聚醚脲、聚异氰脲酸酯、聚氨酯、聚脲、聚氨酯脲、其共聚物及其混合物。根据的cmp抛光垫可以通过以下方法制造：提供异氰酸酯封端的氨基甲酸酯预聚物；单独提供可固化组分；以及将异氰酸酯封端的氨基甲酸酯预聚物和固化剂组分混合形成组合，然后使所述组合反应形成产物。可以通过将浇注的聚氨酯饼切成期望的厚度来形成基部垫或基部层。任选地，可以使用热塑性或热固性聚合物。所述聚合物可以是交联的热固性聚合物。
[0034]
当基部垫或抛光层中使用聚氨酯时，它可以是多官能异氰酸酯与多元醇的反应产物。例如，可以使用聚异氰酸酯封端的氨基甲酸酯预聚物。用于形成本发明化学机械抛光垫的抛光层的多官能异氰酸酯可以选自由以下组成的组：脂族多官能异氰酸酯、芳族多官能异氰酸酯及其混合物。例如，用于形成本发明的化学机械抛光垫的抛光层的多官能异氰酸酯可以是选自由以下组成的组中的二异氰酸酯：2，4-甲苯二异氰酸酯；2，6-甲苯二异氰酸酯；4，4
’‑
二苯基甲烷二异氰酸酯；萘-1，5-二异氰酸酯；甲苯胺二异氰酸酯；对亚苯基二异氰酸酯；苯二甲基二异氰酸酯；异佛尔酮二异氰酸酯；六亚甲基二异氰酸酯；4，4
′‑
二环己基甲烷二异氰酸酯；环己烷二异氰酸酯；及其混合物。多官能异氰酸酯可以是通过二异氰酸酯与预聚物多元醇反应形成的异氰酸酯封端的氨基甲酸酯预聚物。异氰酸酯封端的氨基甲酸酯预聚物可以具有2至12wt％、2至10wt％、4-8wt％或5至7wt％的未反应的异氰酸酯(nco)基团。用于形成多官能异氰酸酯封端的氨基甲酸酯预聚物的预聚物多元醇可以选自由以下组成的组：二醇、多元醇、多元醇二醇、它们的共聚物及其混合物。例如，所述预聚物多元醇可以选自由以下组成的组：聚醚多元醇(例如聚(氧四亚甲基)二醇、聚(氧亚丙基)二醇、及其混合物)；聚碳酸酯多元醇；聚酯多元醇；聚己内酯多元醇；其混合物；以及其与选自下组的一种或多种低分子量多元醇的混合物，该组由以下各项组成：乙二醇；1，2-丙二醇；1，3-丙二醇；1，2-丁二醇；1，3-丁二醇；2-甲基-1，3-丙二醇；1，4-丁二醇；新戊二醇；1，5-戊二醇；3-甲基-1，5-戊二醇；1，6-己二醇；二甘醇；二丙二醇；以及三丙二醇。例如，所述预聚物多元醇可以选自由以下组成的组：聚四亚甲基醚二醇(ptmeg)；基于酯的多元醇(如己二酸乙二醇酯、己二酸丁二醇酯)；聚丙烯醚二醇(ppg)；聚己内酯多元醇；其共聚物；及其混合物。例如，预聚物多元醇可以选自由以下组成的组：ptmeg和ppg。当预聚物多元醇为ptmeg时，异氰酸酯封端的氨基甲酸酯预聚物的未反应异氰酸酯(nco)浓度可以为2至10wt％(更优选为4至8wt％；最优选为6至7wt％)。可商购的基于ptmeg的异氰酸酯封端的尿烷预聚物的实例包括预聚物(可从美国科意公司(coim usa，inc.)获得，如pet-80a、
pet-85a、pet-90a、pet-93a、pet-95a、pet-60d、pet-70d、pet-75d)；预聚物(可从科聚亚公司(chemtura)获得，如lf 800a、lf 900a、lf 910a、lf 930a、lf 931a、lf 939a、lf 950a、lf 952a、lf 600d、lf 601d、lf 650d、lf 667、lf 700d、lf750d、lf751d、lf752d、lf753d和l325)；预聚物(可从安德森开发公司(anderson development company)获得，如70aplf、80aplf、85aplf、90aplf、95aplf、60dplf、70aplf、75aplf)。当预聚物多元醇为ppg时，异氰酸酯封端的氨基甲酸酯预聚物的未反应异氰酸酯(nco)浓度可以为3至9wt％(更优选为4至8wt％；最优选为5至6wt％)。可商购的基于ppg的异氰酸酯封端的尿烷预聚物的实例包括预聚物(可从美国科意公司获得，如ppt-80a、ppt-90a、ppt-95a、ppt-65d、ppt-75d)；顶聚物(可从科聚亚公司获得，如lfg 963a、lfg 964a、lfg 740d)；以及预聚物(可从安德森开发公司获得，如8000aplf、9500aplf、6500dplf、7501dplf)。异氰酸酯封端的氨基甲酸酯预聚物可以是游离甲苯二异氰酸酯(tdi)单体含量少于0.1wt％的、低游离的、异氰酸酯封端的氨基甲酸酯预聚物。也可以使用基于非tdi的异氰酸酯封端的氨基甲酸酯预聚物。例如，异氰酸酯封端的氨基甲酸酯预聚物包括通过4，4
’‑
二苯基甲烷二异氰酸酯(mdi)与多元醇如聚四亚甲基二醇(ptmeg)与可选的二醇如1，4-丁二醇(bdo)反应形成的那些。当使用这样的异氰酸酯封端的氨基甲酸酯预聚物时，未反应的异氰酸酯(nco)的浓度优选为4至10wt％(更优选为4至10wt％，最优选5至10wt％)。此类别中可商购的异氰酸酯封端的尿烷预聚物的实例包括预聚物(可从美国科意公司获得，如27-85a、27-90a、27-95a)；预聚物(可从安德森开发公司获得，如ie75ap、ie80ap、ie 85ap、ie90ap、ie95ap、ie98ap)；以及预聚物(可从科聚亚公司获得，如b625、b635、b821)。
[0035]
包含本文所公开的窗口的最终垫的生产可以通过数种技术来制备，这些技术包括但不限于：制备上部窗口表面具有凹陷的期望图案的分立窗口，然后将分立窗口插入上部垫层的开口中，该开口与子垫层的孔口(所谓的插入窗口)对准。可以使用密封剂或粘合剂将窗口固定在抛光垫中。此类材料的实例包括压敏粘合剂、丙烯酸、聚氨酯和氰基丙烯酸酯。可替代地，也可以将窗口材料的块体机加工成最终窗口的截面尺寸。将块体放置在模具中，在块体周围浇注顶部垫层材料。然后可以将获得的复合物圆柱体切片成期望厚度的薄片，随后产生上部窗口表面的纹理。作为又另一替代方案，带窗口的垫可以通过比如注射成型或压缩成型等技术在成品窗口的周围浇注抛光部分来形成，以产生单个净成形的顶部垫层，其中复合物窗口是浇注到位的。
[0036]
图1示出了带有窗口04的垫01。抛光部分05的平坦表面03中可以存在任选的凹槽02。抛光部分可以是子垫或基部垫(未示出)上的独立层。示出的是同心凹槽，但也可以使用其他凹槽图案，例如径向凹槽或交叉影线凹槽、或凹槽图案的组合。可替代地，垫的抛光部分可以有其他纹理。垫的抛光部分可以是多孔的，或者由材料格架形成，或者在抛光部分上具有其他图案。
[0037]
垫的尺寸(例如直径或长度/宽度)可以为至少10、至少20、至少30、至少40、或至少50厘米(cm)至多100、至多90、或至多80cm。垫的厚度可以为1mm、至多4mm、或至多3mm。如果垫包括在子垫上的顶部抛光部分，则窗口的厚度可以大于顶部抛光部分的厚度。抛光部分的厚度可以为至少1mm、或至少1.1mm，至多3mm、或至多2.5mm。窗口的厚度可以为至少0.5mm、至少0.75mm、或至少1mm至多3mm、至多2.9mm、至多2.5mm。窗口的尺寸(长度和宽度
(如果是圆形窗口则为直径)可以为至少0.5cm或至少1cm至多3cm、或至多2.5cm、至多2cm、或至多1cm。
[0038]
方法
[0039]
如在此公开的抛光垫可以用于抛光衬底。例如，抛光方法可以包括提供有待抛光的衬底，并且然后使用本文公开的具有突起的垫与有待抛光的衬底接触来进行抛光。衬底可以是需要进行抛光或平坦化的任何衬底。此类衬底的实例包括磁性衬底、光学衬底、和半导体衬底。所述方法可以是集成电路加工制程的前端或后端的一部分。例如，可以使用该过程来移除不期望的表面形貌和表面缺陷，如粗糙表面、附聚的材料、晶格损伤、划痕、以及被污染的层或材料。此外，在镶嵌过程中，沉积一种材料以填充通过光刻、图案化蚀刻和金属化中的一个或多个步骤产生的凹陷区域。某些步骤可能不精确，例如可能过度填充凹陷。可以使用本文公开的方法来移除凹陷外的材料。这个过程可以是化学机械平坦化或化学机械抛光，这两者均可以被称为cmp。托架可以保持待抛光衬底——例如半导体晶片(具有或没有通过光刻和金属化形成的层)——与抛光垫的抛光元件相接触。可以将浆料或其他抛光介质分配到衬底与抛光垫之间的间隙中。将抛光垫和衬底相对于彼此移动，例如旋转。抛光垫典型地位于待抛光衬底下方。抛光垫可以旋转。也可以使待抛光衬底移动，例如在如环形的抛光轨迹上移动。这种相对移动致使抛光垫接近并接触衬底的表面。
[0040]
例如，所述方法可以包括：提供具有压板或托架组件的化学机械抛光设备；提供至少一个待抛光衬底；提供本文公开的化学机械抛光垫；将化学机械抛光垫安装到压板上；可选地，在化学机械抛光垫的抛光部分与衬底之间的界面处提供抛光介质(例如，含有反应性液体组合物的浆料或非磨料)；在抛光垫的抛光部分与衬底之间形成动态接触，其中，从衬底移除至少一些材料。载体组件可以提供正在抛光的衬底(例如，晶片)与抛光垫之间的可控制压力。可以将抛光介质分配到抛光垫上，其被吸入晶片和抛光层之间的间隙中。抛光介质可以包含水、ph调节剂、以及任选地(但不限于)以下中的一种或多种：磨料颗粒、氧化剂、抑制剂、抗微生物剂、可溶性聚合物、以及盐。磨料颗粒可以是氧化物、金属、陶瓷、或其他适当地硬的材料。典型的磨料颗粒是胶体二氧化硅、气相二氧化硅、二氧化铈、以及氧化铝。抛光垫和衬底可以相对于彼此旋转。当抛光垫在衬底下方旋转时，衬底可以扫过典型地环形的抛光轨迹或抛光区域，其中晶片的表面直接面对抛光垫的抛光部分。通过抛光层和表面上的抛光介质的化学和机械作用来抛光晶片表面并使之平坦。任选地，在开始抛光之前，可以用磨料调节剂来调理抛光垫的抛光表面。本发明的方法，所提供的化学机械抛光设备进一步包括信号源(例如光源)和信号检测器(例如光传感器(优选多传感器光谱仪))。因此，方法可以包括：通过使信号(例如来自光源的光)透射过窗口、并分析从衬底的表面反射回来穿过终点检测窗口而入射到传感器(例如光传感器)中的信号(例如光)，来确定抛光终点。衬底可以具有金属或金属化的表面，例如包含铜或钨的表面。衬底可以是磁性衬底、光学衬底和半导体衬底。
[0041]
实例
[0042]
材料
[0043]
聚合多元醇：
[0044]
来自西格玛奥德里奇公司(sigma aldrich)的ptmeg 250(聚四亚甲基二醇，分子量为250)
[0045]
ptmeg xx(聚四亚甲基二醇，其他分子量)是来自英威达公司(invista)的terathane
tm
。
[0046]
来自科思创公司(covestro ag)的desmophen
tm xp2716(脂肪族聚碳酸酯二醇，mw约为650)。
[0047]
聚异氰酸酯：来自科思创公司的desmodur
tm w(h12mdi)液态脂环族二异氰酸酯。
[0048]
硬链段抑制剂：来自史达潘公司(stepan company)的merpol
tm a磷酸酯醇。
[0049]
催化剂：来自赢创公司(evonik)的dabco lv33。
[0050]
固化剂：
[0051]
来自陶氏化学公司的羟基官能度为4且羟基重量为800的voranol
tm
800脂肪胺引发的多元醇
[0052]
来自西格玛奥德里奇公司的tmp(三羟甲基丙烷)。
[0053]
实例1.两步法形成聚氨酯组合物
[0054]
在使用前将ptmeg加热至65℃。将加热的ptmeg和催化剂添加到混合杯中并在1000rpm下涡旋混合30秒。然后将h12mdi添加到混合杯中并且再次涡旋混合30秒。然后将混合杯置于80℃的烘箱中持续4小时以完成异氰酸酯与二醇的反应。在使用预聚物之前，通过真空室对其进行脱气。将脱气的预聚物voranol
tm 800多元醇预热至65℃。添加一定量的voranol
tm 800多元醇，使来自预聚物组合物的未反应的nco：voranol
tm
800多元醇的羟基的摩尔比为1.05：1，并涡旋混合。反应混合物在添加到模具之前再次脱气。然后将模具中的样品在烘箱中加热至80℃持续8小时，接着在110℃下加热另外的4小时。
[0055]
对于本发明的组合物，在固化之前添加表1所示的量的merpol t
m a硬链段抑制剂。聚氨酯配方在表1中示出。
[0056]
表1
[0057][0058]
实例2.窗口材料表征
[0059]
各种聚氨酯的特征在于以下各种特性：
[0060]
硬度
[0061]
从每个基板上切下六个1.5
”×
1.5”样品。四个样品用于密度测试，而所有六个样品都用于硬度测试。使用fisher vemier卡尺测量样品的长度和宽度用于尺寸密度。使用
fowler千分尺测量样品厚度。在带有d探头的rex/hybrid硬度测试仪上测量硬度。每次硬度测量时，将六个样品堆叠并搅乱，使得每个样品都被探测一次。
[0062]
拉伸测试
[0063]
根据astm d412-06a“硫化橡胶和热塑性弹性体的标准测试方法-拉伸”进行分析。样品被冲切成狗骨型c尺寸。使用运行testworks 4软件的alliance rt/5材料测试系统(mts)。在500hz下收集数据，其中样品伸长率为20英寸/分钟(50.8厘米/分钟)。气动夹具间隔设置为2.5英寸(6.4cm)，标称隔距长度为1.5英寸(3.8cm)。
[0064]
dma
[0065]
将样品切割成6.5mm宽和36mm长。根据astm d5279-13“塑料的标准测试方法：动态机械性能：扭曲”，使用ares g2拉伸流变仪或rheometric scientific rda3(两者都来自ta仪器公司)。间隙间隔为20mm。将仪器分析参数设置为100g的预载荷0.2％应变、振荡速度为10弧度/秒，以及以3℃/min的升温速率从-100℃至150℃。这使得能够评估tg。
[0066]
透射率测试
[0067]
将用于透射率测试的样品从基板上切割成2英寸乘2英寸(6.4cm乘6.4cm)的正方形。从切割的正方形中冲压出一个0.5”的圆。使用冲压圆测试透射率，正方形中留下的空孔用作气隙参考。使用ocean optics dh-2000光源(其包括发射器、检测器和解码器)测试透射率。如上所述，所述方法用于双程透射。
[0068]
表1中样品的硬度和拉伸测试结果在表2中示出。
[0069][0070]
dma测试表明，随着低分子量ptmeg的量的增加，tg转移到更高的值。
[0071]
样品的目视观察表明样品uv2和添加了硬链段抑制剂的样品显示出更好的透明度，而其他样品是浑浊的。此外，透射率测试数据表明，包含硬链段抑制剂的样品的透射率提高。如图2和表3所示，添加了merpol tm a硬链段抑制剂的uv1在小于290nm的波长下显示出显著提高的透射率。注意，样品uv1-m1.5和uv1-m2显示出与样品uv1-m1相似的透射率。
[0072]
表3
[0073][0074]
实例3.一步聚合
[0075]
将催化剂、xp2716和tmp添加到混合杯中并加热至80℃直至tmp融化。然后将混合物涡旋混合并脱气。向反应混合物中添加h12mdi并且然后涡旋混合。反应混合物在添加到模具之前再次脱气。然后将模具中的样品在烘箱中加热至80℃持续8小时，接着在110℃下加热另外的4小时。样品的组成在表4中示出。如上所述对样品进行表征，结果在表5中示出。
[0076]
表4
[0077][0078]
表5
[0079][0080]
图3和表6中所示的透射率表明，添加merpol
tm a硬链段抑制剂提高了250nm的波长并且甚至更低的波长处的透射率。
[0081]
表6
[0082][0083]
本公开进一步涵盖以下方面。
[0084]
方面1：一种用于化学机械抛光的抛光垫，其包括具有顶部抛光表面并且包含抛光材料的抛光部分、贯穿所述抛光垫的开口、以及在所述抛光垫中的开口内的透明窗口，所述透明窗口固定在所述抛光垫上，其中所述窗口包含聚氨酯组合物，所述聚氨酯组合物是使聚合多元醇、聚异氰酸酯和包含三个或更多个羟基的固化剂在硬链段抑制剂的存在下反应形成的，其中所述聚氨酯组合物不含碳碳双键、碳碳三键或者两者都不含。
[0085]
方面2：如方面1所述的抛光垫，其中，所述聚合多元醇是不含碳碳双键、碳碳三键或两者都不含，并且具有300至4000的数均分子量的聚合二醇。
[0086]
方面3：如方面1所述的抛光垫，其中，所述聚合多元醇是具有式ho-[r-o]
n-h的聚亚烷基二醇，其中r是具有2、3、4、或5个碳原子的脂肪族基团，在每次出现时r是独立的或在每次出现时r是相同的，并且n是2、优选地3、更优选地4至多100、优选地至多80、更优选地至多60、还更优选地至多40、仍更优选地至多30、甚至更优选地至多25、或者最优选地至多20
的整数。
[0087]
方面4：如前述方面中任一项所述的抛光垫，其中，所述硬链段抑制剂是可溶于不含碳碳双键、碳碳三键或两者都不含的液态聚氨酯的阴离子或非离子添加剂。
[0088]
方面5：如前述方面中任一项所述的抛光垫，其中，所述硬链段抑制剂是聚氧化烯烃的硫酸酯、磺酸酯或磷酸酯。
[0089]
方面6：如方面5所述的抛光垫，其中，所述硬链段抑制剂是聚氧化烯烃的磷酸酯。
[0090]
方面7：如前述方面中任一项所述的抛光垫，其中，所述固化剂包含3或4个羟基，具有100至4000的分子量并且不含碳碳双键、碳碳三键或两者都不含。
[0091]
方面8：如前述方面中任一项所述的抛光垫，其中，所述聚异氰酸酯是不含碳碳双键、碳碳三键或两者都不含的二异氰酸酯。
[0092]
方面9：如前述方面中任一项所述的抛光垫，其中，所述聚异氰酸酯是1，4-环己烷二异氰酸酯；4，4
′‑
二环己基甲烷二异氰酸酯；异佛尔酮二异氰酸酯；亚甲基双-环己基异氰酸酯；或(4，4
′‑
二环己基-甲烷二异氰酸酯)。
[0093]
方面10：如前述方面中任一项所述的抛光垫，其中，所述聚氨酯是通过首先使所述聚合多元醇与所述聚异氰酸酯反应形成预聚物，并且然后使所述预聚物与所述固化剂反应形成的。
[0094]
方面11：如方面8所述的抛光垫，其中，所述硬链段抑制剂在所述聚合多元醇与所述聚异氰酸酯反应时存在。
[0095]
方面12：如方面8所述的抛光垫，其中，所述硬链段抑制剂是在所述聚合多元醇与所述聚异氰酸酯反应之后添加的，并且在与所述固化剂反应时存在。
[0096]
方面13：如方面10-12中任一项所述的抛光垫，其中，所述聚合多元醇是聚合二醇，并且所述聚异氰酸酯是二异氰酸酯，并且二醇∶二异氰酸酯的摩尔比为1∶1至1∶1.2、优选地1∶1.1。
[0097]
方面14：如方面10-12中任一项所述的抛光垫，其中，基于所述预聚物的总重量，所述预聚物上的异氰酸酯基团的重量百分比为5％至多15％、优选地至多10％。
[0098]
方面15：如方面1-9中任一项所述的抛光垫，其中，使所述聚合多元醇、所述聚异氰酸酯和所述固化剂在所述硬链段抑制剂的存在下一步反应。
[0099]
方面16：如方面15所述的抛光垫，其中，所述聚合多元醇是聚碳酸酯二醇。
[0100]
方面17：如方面15或16所述的抛光垫，其中，基于聚合多元醇、聚异氰酸酯和固化剂的总重量，聚合多元醇连同固化剂的量为30、优选地35、更优选地40至多70、优选地至多60、更优选地至多55重量百分比。
[0101]
方面18：如方面15-17中任一项所述的抛光垫，其中，所述聚合多元醇是二醇，并且所述聚异氰酸酯是二异氰酸酯，并且二异氰酸酯与聚合物二醇的摩尔比为1.5∶1、优选地1.7∶1、更优选地2∶1至多3.5∶1、优选地至多2.5∶1。
[0102]
方面19：如方面中任一项所述的抛光垫，其中，在形成所述聚氨酯时使用催化剂。
[0103]
方面20：如方面19所述的抛光垫，其中，所述催化剂不含碳碳双键、碳碳三键或两者都不含。
[0104]
方面21：如方面19所述的抛光垫，其中，所述催化剂是量为0.00001至0.1wt.％的含锡催化剂、量为0.01至1wt.％的脂肪胺催化剂、或量为0.00001至0.1wt.％的含铋催化
剂，所有重量百分比均基于反应混合物的总固体重量。
[0105]
方面22：如前述方面中任一项所述的抛光垫，其中，所述硬链段抑制剂以基于所述窗口材料的总重量至少0.5、优选地至少1至多10、优选地至多7、更优选地至多6重量百分比的量存在。
[0106]
方面23：如前述方面中任一项所述的抛光垫，其中，所述窗口具有在250nm处至少1％的双程透射率。
[0107]
方面24：如方面1-22中任一项所述的抛光垫，其中，所述窗口具有在280nm处、优选地在250nm处、并且更优选地在240nm处至少1％的双程透射率，并且具有(i)3000至60,000psi(20.7至414mpa)的拉伸模量和(ii)小于60的肖氏d硬度中的至少一者。
[0108]
方面25：一种聚氨酯组合物，其是由聚合多元醇、聚异氰酸酯和包含三个或更多个羟基的固化剂在硬链段抑制剂的存在下形成的，其中所述聚合多元醇、所述聚异氰酸酯、所述固化剂和所述硬链段抑制剂中的每一个都不含碳碳双键、碳碳三键或两者都不含。
[0109]
方面26：如方面25所述的聚氨酯组合物，其中，所述聚合多元醇是不含碳碳双键、碳碳三键或两者都不含，并且具有300至4000的数均分子量的聚合二醇。
[0110]
方面27：如方面25所述的聚氨酯组合物，其中，所述聚合多元醇是具有式ho-[r-o]
n-h的聚亚烷基二醇，其中r是具有2、3、4、或5个碳原子的脂肪族基团，在每次出现时r是独立的或在每次出现时r是相同的，并且n是2、优选地3、更优选地4至多100、优选地至多80、更优选地至多60、还更优选地至多40、仍更优选地至多30、甚至更优选地至多25、或者最优选地至多20的整数。
[0111]
方面28：如方面25-27中任一项所述的聚氨酯组合物，其中，所述硬链段抑制剂是可溶于不含碳碳双键、碳碳三键或两者都不含的液态聚氨酯的阴离子或非离子添加剂。
[0112]
方面29：如方面25-28中任一项所述的聚氨酯组合物，其中，所述硬链段抑制剂是聚氧化烯烃的硫酸酯、磺酸酯或磷酸酯。
[0113]
方面30：如方面25-28中任一项所述的聚氨酯组合物，其中，所述硬链段抑制剂是聚氧化烯烃的磷酸酯。
[0114]
方面31：如方面25-30中任一项所述的聚氨酯组合物，其中，所述固化剂包含3或4个羟基，具有100至4000的分子量并且不含碳碳双键、碳碳三键或两者都不含。
[0115]
方面32：如方面25-31中任一项所述的聚氨酯组合物，其中，所述聚异氰酸酯是不含碳碳双键、碳碳三键或两者都不含的二异氰酸酯。
[0116]
方面33：如方面25-32中任一项所述的聚氨酯组合物，其中，所述聚异氰酸酯是4，4-环己烷二异氰酸酯；4，4
′‑
二环己基甲烷二异氰酸酯；异佛尔酮二异氰酸酯；亚甲基双-环己基异氰酸酯；或(4，4
′‑
二环己基-甲烷二异氰酸酯)。
[0117]
方面34：如方面25-33中任一项所述的聚氨酯组合物，其中，所述聚氨酯是通过首先使所述聚合多元醇与所述聚异氰酸酯反应形成预聚物，并且然后使所述预聚物与所述固化剂反应形成的。
[0118]
方面35：如方面34所述的聚氨酯组合物，其中，所述硬链段抑制剂在所述聚合多元醇与所述聚异氰酸酯反应时存在。
[0119]
方面36：如方面34所述的聚氨酯组合物，其中，所述硬链段抑制剂是在所述聚合多元醇与所述聚异氰酸酯反应之后添加的，并且在与所述固化剂反应时存在。
[0120]
方面37：如方面34-36中任一项所述的聚氨酯组合物，其中，所述聚合多元醇是聚合二醇，并且所述聚异氰酸酯是二异氰酸酯，并且二醇∶二异氰酸酯的摩尔比为1∶1至1∶1.2、优选地1∶1.1。
[0121]
方面38：如方面34-36中任一项所述的聚氨酯组合物，其中，基于所述预聚物的总重量，所述预聚物上的异氰酸酯基团的重量百分比为5％至多15％、优选地至多10％。
[0122]
方面39：如方面25-33中任一项所述的聚氨酯组合物，其中，使所述聚合多元醇、所述聚异氰酸酯和所述固化剂在所述硬链段抑制剂的存在下一步反应。
[0123]
方面40：如方面39所述的聚氨酯组合物，其中，所述聚合多元醇是聚碳酸酯二醇。
[0124]
方面41：如方面39或40所述的聚氨酯组合物，其中，基于聚合多元醇、聚异氰酸酯和固化剂的总重量，聚合多元醇连同固化剂的量为30、优选地35、更优选地40至多70、优选地至多60、更优选地至多55重量百分比。
[0125]
方面42：如方面39-41中任一项所述的聚氨酯组合物，其中，所述聚合多元醇是二醇，并且所述聚异氰酸酯是二异氰酸酯，并且二异氰酸酯与聚合物二醇的摩尔比为1.5∶1、优选地1.7∶1、更优选地2∶1至多3.5∶1、优选地至多2.5∶1。
[0126]
方面43：如方面25-42中任一项所述的聚氨酯组合物，其中在形成所述聚氨酯时使用催化剂。
[0127]
方面44：如方面43所述的聚氨酯组合物，其中，所述催化剂不含碳碳双键、碳碳三键或两者都不含。
[0128]
方面45：如方面43所述的聚氨酯组合物，其中，所述催化剂是量为0.00001至0.1wt.％的含锡催化剂、量为0.01至1wt.％的脂肪胺催化剂、或量为0.00001至0.1wt.％的含铋催化剂，所有重量百分比均基于反应混合物的总固体重量。
[0129]
方面45：如方面25-44中任一项所述的聚氨酯组合物，其中，所述硬链段抑制剂以基于所述窗口材料的总重量至少0.5、优选地至少1至多10、优选地至多7、更优选地至多6重量百分比的量存在。
[0130]
方面46：一种用于化学机械抛光的抛光垫，其包括具有顶部抛光表面并且包含抛光材料的抛光部分、贯穿所述抛光垫的开口、以及在所述抛光垫中的开口内的透明窗口，所述透明窗口固定在所述抛光垫上；其中所述抛光部分包含聚氨酯并且所述窗口包含聚氨酯，并且其中所述窗口的特征在于在250nm处至少1％、优选地至少4％、还更优选地至少10％的双程透射率，以及优选地在240nm处至少0.75％的双程透射率。
[0131]
方面47：如方面46所述的抛光垫，其中，所述窗口的特征在于不大于75的肖氏d硬度以及小于100,000psi(689mpa)、优选地小于70,000psi(483mpa)的模量。
[0132]
方面48：一种用于化学机械抛光的抛光垫，其包括具有顶部抛光表面并且包含抛光材料的抛光部分、贯穿所述抛光垫的开口、以及在所述抛光垫中的开口内的透明窗口，所述透明窗口固定在所述抛光垫上；其中所述抛光部分包含聚氨酯，并且其中所述窗口具有在280nm处至少1％的双程透射率，以及(i)根据astm d412-06a(2013)的3000至60,000psi(20.7至414mpa)的拉伸模量和(ii)小于60的肖氏d硬度中的至少一者。
[0133]
组合物、方法和制品可以替代性地包含本文公开的任何适合的材料、步骤或组成，由其组成或基本上由其组成。组合物、方法和制品可以另外或可替代地被配制成缺乏或基本上不含在其他情况下对于实现组合物、方法和制品的功能或目的不必需的任何材料(或
物种)、步骤或组分。
[0134]
本文公开的所有范围均包括终点，并且终点可彼此独立地组合(例如，“至多25wt.％、或更具体地5wt.％至20wt.％”的范围包含端点和“5wt.％至25wt.％”范围内的所有中间值等)。此外，所述上限和下限可以组合形成范围(例如，“至少1或至少2重量百分比”，并且“至多10或5重量百分比”可以组合成范围“1至10重量百分比”、或“1至5重量百分比”、或“2至10重量百分比”、或“2至5重量百分比”)。“组合”包括共混物、混合物、合金、反应产物等。术语“第一”、“第二”和类似术语不表示任何顺序、数量、或重要性，而是用于将一个元件与另一个进行区分。术语“一个”和“一种”和“所述”不表示数量的限制，并且除非在本文中以其他方式指出或与上下文明显矛盾，否则被解释为包括单数和复数二者。整个说明书中提及“一些实施例”、“一个实施例”等是指：结合该实施例描述的特定元件包含在本文描述的至少一个实施例中，并且可以存在于或不存在于其他实施例中。此外，应理解，所描述的元件可以在各个实施例中以任何合适的方式组合。“其组合”是开放性的，并且包括具有所列出的组分或特性中的至少一种以及可选地未列出的相似或等同组分或特性一起的任何组合。
[0135]
除非在本文中相反地说明，否则所有的测试标准是实际上截止本技术的申请日期的或者如果要求优先权则是截止测试标准出现的最早优先权申请的申请日期的最新标准。