腐蚀性气体分析处理装置的制作方法

1.本实用新型涉及气体分析装置，具体涉及一种腐蚀气体分析处理装置。


背景技术：

2.日常分析腐蚀性气体时，在进分析仪器前都要进行吹扫，目前正常进样都是采用吹扫气吹扫之后再使用样品气进行吹扫，这样存在的问题就是吹扫不彻底，转换不干净，特别对于有粘性的气体，效果更加不理想。造成分析管线有残留，时间一长会造成腐蚀管线，损伤仪器。
3.采用吹扫气吹扫的时间过长，且没有一个判断的标准，到底什么时候可以拆除管线、或者是切换到另一个样品。空气置换不干净也会影响到分析结果的准确性。


技术实现要素：

4.为了解决上述技术问题，本实用新型提出了一种腐蚀气体分析处理装置。
5.为了达到上述目的，本实用新型的技术方案如下：
6.腐蚀性气体分析处理装置包括：
7.吹扫气供气装置，吹扫气供气装置通过设有控制阀的管路分别与气体分析设备的进口和出口连通，用于提供对与其连通的管路及气体分析设备的进口和出口吹扫的吹扫气；
8.样品气供气装置，样品气供气装置通过管路与气体分析设备的进口连通，用于为提供样品气；
9.抽真空装置，抽真空装置通过设有控制阀的管路分别与样品气供气装置以及气体分析设备的进口和出口连通，用于对与其连通的管路进行抽真空。
10.本实用新型腐蚀性气体分析处理装置通过吹扫气供气装置吹扫气吹扫、样品气供气装置样品气的置换和抽真空装置抽真空置换，可实现分析前完全吹扫置换，达到分析准确；且分析完后分析管线不残留、安全拆除样品气供气装置，便于下次的分析。
11.在上述技术方案的基础上，还可做如下改进：
12.作为优选的方案，吹扫气供气装置通过依次设有第一调压阀、第一控制阀的管路与气体分析设备的进口连通，且气体分析设备的进口和出口之间通过设有第二控制阀的管路连通。
13.采用上述优选的方案，采用吹扫气供气装置对气体分析设备的进口和出口吹扫。
14.作为优选的方案，样品气供气装置通过设有第二调压阀的管路与气体分析设备的进口连通。
15.采用上述优选的方案，采用样品气供气装置对气体分析设备提供样品气。
16.作为优选的方案，吹扫气供气装置通过依次设有第一调压阀、第一控制阀及第二调压阀的管路与样品气供气装置连通。
17.采用上述优选的方案，采用吹扫气供气装置对样品气供气装置的输出管路进行吹
气，保证样品气从输出管路输出时不会受污染。
18.作为优选的方案，抽真空装置的输出管路上安装有用于检测该管路实时压力的真空压力表。
19.采用上述优选的方案，真空压力表可实时了解管路内部压力。
20.作为优选的方案，抽真空装置通过设有第三控制阀的管路与气体分析设备的进口连通；
21.同时，抽真空装置通过依次设有第三控制阀和第二调压阀的管路与样品气供气装置连通。
22.采用上述优选的方案，抽真空装置可以将样品气从样品气供气装置至气体分析设备进口和出口的管路进行抽真空，进一步保证样品气从输出管路输出时不会受污染。
23.作为优选的方案，在第一调压阀与第一控制阀之间还设有第一管道过滤器，第一管道过滤器用于对管路内流经气体进行过滤。
24.采用上述优选的方案，对吹扫气供气装置输出的出扫气进行过滤，避免吹扫气带来的颗粒影响气体分析设备的性能。
25.作为优选的方案，在第二调压阀与第三控制阀之间还设有第二管道过滤器，第二管道过滤器用于对管路内流经气体进行过滤。
26.采用上述优选的方案，对样品气供气装置输出的样品气进行过滤，避免样品气带来的颗粒影响气体分析设备的性能。
27.作为优选的方案，第二管道过滤器与第三控制阀之间还设有管道纯化器，管道纯化器用于对管路内流经气体进行除水处理。
28.采用上述优选的方案，利用管道纯化器去除水分，避免样品气存在过多的水分对后端的管路、阀门和气体分析设备造成腐蚀。
29.作为优选的方案，还包括：尾气收集处理装置，尾气收集处理装置通过设有第四控制阀的管路与气体分析设备的出口连通，用于对尾气进行收集处理。
30.采用上述优选的方案，对气体分析设备出口的废气或用于对管路吹扫的吹扫气进行安全排出，防止大气污染。
附图说明
31.为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
32.图1为本实用新型实施例提供的腐蚀性气体分析处理装置的结构示意图。
33.图2为本实用新型实施例提供的腐蚀性气体分析处理装置(具有第五控制阀)的结构示意图。
34.其中：1-吹扫气供气装置，2-样品气供气装置，3-抽真空装置，4-气体分析设备，5-尾气收集处理装置，61-第一调压阀，62-第二调压阀，71-第一控制阀，72-第二控制阀，73-第三控制阀，74-第四控制阀，75-第五控制阀，8-真空压力表，91-第一管道过滤器，92-第二管道过滤器，10-管道纯化器。
具体实施方式
35.下面结合附图详细说明本实用新型的优选实施方式。
36.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
37.同时，“第一”、“第二”等表述仅用于区分多个构型的目的，而不是限制构型或其他特征之间的顺序。
38.另外，“包括”元件的表述是“开放式”表述，该“开放式”表述仅仅是指存在对应的部件，不应当解释为排除附加的部件。
39.为了达到本实用新型的目的，腐蚀性气体分析处理装置的其中一些实施例中，如图1所示，腐蚀性气体分析处理装置包括：
40.吹扫气供气装置1，吹扫气供气装置1通过设有控制阀的管路分别与气体分析设备4的进口和出口连通，用于提供对与其连通的管路及气体分析设备4的进口和出口吹扫的吹扫气；
41.样品气供气装置2，样品气供气装置2通过管路与气体分析设备4的进口连通，用于为提供样品气；
42.抽真空装置3，抽真空装置3通过设有控制阀的管路分别与样品气供气装置2以及气体分析设备4的进口和出口连通，用于对与其连通的管路进行抽真空。
43.抽真空装置3可以但不限于采用真空泵。
44.吹扫气可以但不限于氦气。
45.本实用新型腐蚀性气体分析处理装置采用设有对应控制阀的管路对吹扫气供气装置1、样品气供气装置2以及抽真空装置3之间的连通状态进行切换，通过吹扫气吹扫、样品气的置换和抽真空置换，可实现分析前完全吹扫置换，达到分析准确；且分析完后分析管线不残留、安全拆除样品气供气装置2，也便于下次分析。
46.为了进一步地优化本实用新型的实施效果，在另外一些实施方式中，其余特征技术相同，不同之处在于，吹扫气供气装置1通过依次设有第一调压阀61、第一控制阀71的管路与气体分析设备4的进口连通，且气体分析设备4的进口和出口之间通过设有第二控制阀72的管路连通。
47.采用上述实施方式，具有以下有益效果：采用吹扫气供气装置1对气体分析设备4的进口和出口吹扫。其中，第一调压阀61带有压力表。
48.进一步，在上述实施方式的基础上，样品气供气装置2通过设有第二调压阀62的管路与气体分析设备4的进口连通。
49.采用上述实施方式，具有以下有益效果：采用样品气供气装置2对气体分析设备4提供样品气。其中，第二调压阀62带有压力表。
50.进一步，在上述实施方式的基础上，吹扫气供气装置1通过依次设有第一调压阀61、第一控制阀71及第二调压阀62的管路与样品气供气装置2连通。
51.采用上述实施方式，具有以下有益效果：采用吹扫气供气装置1对样品气供气装置2的输出管路进行吹气，保证样品气从输出管路输出时不会受污染。
52.进一步，在上述实施方式的基础上，抽真空装置3的输出管路上安装有用于检测该管路实时压力的真空压力表8。
53.采用上述实施方式，具有以下有益效果：真空压力表8可实时了解管路内部压力。
54.进一步，在上述实施方式的基础上，抽真空装置3通过设有第三控制阀73的管路与气体分析设备4的进口连通；
55.同时，抽真空装置3通过依次设有第三控制阀73和第二调压阀62的管路与样品气供气装置2连通。
56.采用上述实施方式，具有以下有益效果：抽真空装置3可以将样品气从样品气供气装置2至气体分析设备4进口和出口的管路进行抽真空，进一步保证样品气从输出管路输出时不会受污染。
57.进一步，在上述实施方式的基础上，在第一调压阀61与第一控制阀71之间还设有第一管道过滤器91，第一管道过滤器91用于对管路内流经气体进行过滤。
58.采用上述实施方式，具有以下有益效果：对吹扫气供气装置1输出的出扫气进行过滤，避免吹扫气带来的颗粒影响气体分析设备4的性能。
59.进一步，在上述实施方式的基础上，在第二调压阀62与第三控制阀73之间还设有第二管道过滤器92，第二管道过滤器92用于对管路内流经气体进行过滤。
60.采用上述实施方式，具有以下有益效果：对样品气供气装置2输出的样品气进行过滤，避免样品气带来的颗粒影响气体分析设备4的性能。
61.进一步，在上述实施方式的基础上，第二管道过滤器92与第三控制阀73之间还设有管道纯化器10，管道纯化器10用于对管路内流经气体进行除水处理。
62.采用上述实施方式，具有以下有益效果：利用管道纯化器10去除水分(避免去除样品气中存在的其他杂质)，避免样品气存在过多的水分对后端的管路、阀门和气体分析设备4造成腐蚀。
63.进一步，在上述实施方式的基础上，还包括：尾气收集处理装置5，尾气收集处理装置5通过设有第四控制阀74的管路与气体分析设备4的出口连通，用于对尾气进行收集处理。
64.采用上述实施方式，具有以下有益效果：对气体分析设备4出口的废气或用于对管路吹扫的吹扫气进行安全排出，防止大气污染。
65.进一步，尾气收集处理装置5可以对腐蚀性气体进行收集处理，如酸性腐蚀性气体则采用碱液吸收，碱性腐蚀性气体则采用稀酸进行吸收。
66.为了更便于理解，下面介绍一具体实施例。
67.具体实施例一：
68.本装置腐蚀性气体分析处理装置包括吹扫气供气装置1、样品气供气装置2、抽真空装置3以及尾气收集处理装置5，其之间通过如图1所示管路连接，管路上设有带压力表的第一调压阀61、第二调压阀62、第一控制阀71、第二控制阀72、第三控制阀73、第四控制阀74、第一管道过滤器91、第二管道过滤器92、真空压力表8以及管道纯化器10。
69.第一调压阀61、第二调压阀62采用减压阀。
70.第一控制阀71、第二控制阀72、第三控制阀73、第四控制阀74采用隔膜阀。
71.由于是对腐蚀性气体进行分析，所有阀门的阀体材质选用洁净不锈钢，即sus316
材质；阀芯的材质选用哈氏合金；分析管线采用四分之一英寸ep级洁净管线；为确保密封，阀门与管线连接采用vcr方式连接；吹扫气选用高纯he(氦气)，避免其他类型的吹扫气带进污染。
72.为了保护气体分析设备4，第一管道过滤器91和第二管道过滤器92的滤径选用0.003um，避免样品气或吹扫气带来的颗粒影响到分析设备的性能。
73.真空压力表8采用电子显示表，与抽真空装置3配套可达到10pa真空度。
74.下面介绍具体实施例一所公开的腐蚀性气体分析处理装置的工作步骤，其中未提及的阀门处于关闭状态：
75.1)吹扫气吹扫步骤；
76.样品测试前，连接样品气供气装置2和吹扫气供气装置1，首先进行吹扫气吹扫，打开吹扫气供气装置1，调节第一调压阀61压力到0.2mpa，打开第一控制阀71、第二调压阀62、第二控制阀72以及第四控制阀74，其余阀门关闭；
77.吹扫气把经第一调压阀61、第一控制阀71、第二调压阀62、第二控制阀72以及第四控制阀74的管路进行吹扫；
78.关闭第四控制阀74，当调节第一调压阀61压力升至0.2mpa后，关闭第一控制阀71，打开第四控制阀74，排放吹扫气；
79.重复上述动作2-3次。
80.2)抽真空步骤；
81.启动抽真空装置3，关闭阀门第一控制阀71和第四控制阀74，打开第二调压阀62、第二控制阀72和第三控制阀73，直至真空压力表8显示真空度达到10pa以下时，关闭第三控制阀73，停止抽真空装置3。
82.3)样品气进样步骤；
83.打开样品气供气装置2，打开第四控制阀74，调节第二调压阀62压力至0.1mpa后进入气体分析设备4进行测试。
84.分析结束排空残气至尾气收集处理装置5，关闭样品气供气装置2阀门，打开第二控制阀72直至管路无压力。
85.4)收尾步骤；
86.关闭第四控制阀74，打开第一控制阀71，至第二调压阀62压力显示0.2mpa后，关闭第二调压阀62，打开第四控制阀74，排空至管路无压力后关闭第四控制阀74，启动抽真空装置3，打开第三控制阀73，抽真空至真空压力表8显示在10pa以下，关闭第三控制阀73，关闭抽真空装置3；
87.重复上述内容几次(如5次)后，打开第一控制阀71，关闭第二调压阀62，使系统内保持压力在0.2mpa后结束，此时可拆除样品气供气装置2，但要确保系统内保存有0.2mpa的吹扫气，避免此处理装置被外界空气污染。
88.5)更换下一支样品气供气装置2再次进行步骤1)-4)按顺序进行分析。
89.值得注意的是，上述具体实施例仅是本实用新型公开的某一实施例。
90.进一步，在上述具体实施例的基础上，增加第五控制阀75，如图2所示的。抽真空装置3与气体分析设备4的出口通过设有第五控制阀75的管路连通。第五控制阀75为隔膜阀。
91.当仅需要对气体分析设备4的出口处的管线进行抽真空时，其他阀门关闭，单独打
开第五控制阀75即可。
92.本实用新型具有以下有益效果：
93.样品气进仪器前的彻底置换，避免了空气污染；同样没有了空气的污染，使样品气更加纯净的在管路中通过，避免了空气中存在有水气时的腐蚀。分析结束后样品拆除吹扫完全，管路内没有残留样品气，避免了对管路造成的腐蚀。分析处理的系统化设计，避免了目前盲目的连接管线，临时性的吹扫等问题。
94.上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让本领域普通技术人员能够了解本实用新型的内容并加以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。