一种用于隔离的阀板和驱动所述阀板的驱动装置以及阀的制作方法

1.本发明涉及真空领域，特别是一种用于隔离的阀板，驱动所述阀板的驱动装置，还涉及包含所述阀板的驱动装置的阀。


背景技术：

2.真空作为半导体行业的基础，是绝大多数半导体工艺的基础条件。有真空就涉及到真空密封的问题，真空插板阀就是真空密封常用的部件。真空插板阀常用在抽气管道与真空泵隔离、腔室之间隔离等场景。
3.如图1所示，现有的插板阀常用的结构基本为两块阀板1，2中间设置钢珠3，通过改变钢珠3在阀板1，2之间的位置从而改变两块阀板1，2之间的距离使阀板1，2压紧阀体4从而实现密封，此种结构都是机械硬碰撞，从而振动大，噪音大。
4.在真空行业，真空密封是个永久的话题，真空闸阀也是真空密封的常用构件，目前的插板阀技术普遍存在外形尺寸大，阀板动作不平滑导致的噪音大、振动大等问题，对于一些精密半导体类设备，这些缺陷会导致设备整体外形尺寸增大、空间浪费、成本增高，最重要的是较大的震动会影响设备的工艺精度，拉低设备的整体工艺精度及水平。
5.现有技术插板阀阀门开闭行程大，从而阀的外形尺寸较大，而且现有的阀门机构导致阀门关闭和开启的时候振动大、噪音大。基于上述问题本发明提出了一种机构紧凑，外形尺寸小的闸阀，并且阀门运动平滑，无冲击、噪音小。


技术实现要素：

6.针对上述现存的问题，本技术方案提出了一种用于真空密封的闸阀，该闸阀运动平顺，密封良好，很好地解决了阀板开关动作时噪音大、振动大的问题，并且尺寸较小，在一些精度要求高，空间紧张的精密设备上尤其具有优势。
7.因此本技术人提出如下解决方案：
8.一种用于隔离的阀板,包括用于密封待密封通道的工作面和沿远离所述工作面的方向延伸的承载所述工作面的阀板本体，所述阀板本体包括具有从所述工作面向所述远离方向逐渐变窄的截面的第一被驱动部分和安装回复力为远离待密封通道的第一回复装置的第二被驱动部分，还包括向上倾斜的第三被驱动部分。
9.还涉及一种用于驱动所述阀板的驱动装置，包括与所述第二被驱动部分配合的允许所述阀门摆动的导向装置。
10.最好，所述导向装置包括设置于驱动支架上的长孔和与两端设置在所述长孔中的横杆。
11.优选地，所述驱动支架包括设置了所述长孔的第一臂和第二臂，和连接所述第一臂和第二臂的连接部，该连接部设有与所述第一被驱动部分配合第一斜面。
12.最好，还包括压紧所述阀板并的压紧滑块，所述压紧滑块设有与所述第一被驱动部分配合的第二斜面。
13.优选地，还包括具有使得所述压紧滑块远离所述驱动支架的回复力的第二回复装置。
14.最好，还包括设置于阀体上的用于与所述第三被驱动部分配合的球形凸起。
15.优选地，还包括与所述驱动支架并联的电机。
16.最好，还包括设置在所述阀体上用于在密封待密封通道时限位所述压紧滑块的限位凸台。
17.还包括一种用于真空密封的阀，包括上述的阀板和上述的驱动装置，设有开启位置和关闭位置，在所述开启位置时，所述阀板的工作面远离待密封通道，在所述关闭位置时，所述阀板的工作面密封所述待密封通道。
附图说明
18.图1为现有技术的插阀工作方向的剖视图；
19.图2为本发明的阀的简示的爆炸立体图；
20.图3为本发明的阀的半剖主视图，其中所述阀处于开启位置；
21.图4为本发明的阀的半剖主视图，其中所述阀处于关闭位置；
22.图5为图2的阀体的180度翻转的立体图；和
23.图6为本发明的阀板和驱动该阀板的组装立体视图。
24.其中，101-阀体，102-密封圈，103-导向轴承支架，104-导向杆，105-压紧滑块，106-滑块复位弹簧，107-阀门盖板，108-导向轴承，109-阀板支架，110-阀板导向条，111-阀板复位弹簧，112-阀板，113-电机，114-电机支架，115-推杆，116-连接板，201-待密封的通道，300-上游通道，1012-阀体底面，1013-球形凸起，1014-限位台，1011-中间孔，1015-阀体凹槽，1091-长圆孔，1101-轴承，1，2-现有技术的阀板，3-现有技术的插阀的钢珠，4-现有技术的插阀的阀体，5-现有技术的插阀的导向槽，1121-阀板上的向下倾斜的斜面，1122-阀板向上倾斜的上斜面。
具体实施方式
25.结合图2-6，阀体101为本方案闸阀的主体支撑结构，阀体内部为镂空结构，阀体镂空结构为阀板结构运动及密封的重要场所。阀板112上安装有密封圈102，阀板112通过阀板导向条110与阀板支架109连接，穿过阀板导向条110的阀板轴上设置有阀板复位弹簧111，阀板支架109两侧有长圆孔1091的导向槽，阀板导向条110可以通过其上的轴承在槽内自由滑动。压紧滑块105通过导向杆104连接在阀板支架109上，且可以在导向杆上自由滑动，在压紧滑块105与阀板支架109之间有滑块复位弹簧106套在导向杆上。阀板112、压紧滑块105和阀板支架109三者通过斜面接触，当压紧滑块105向阀板112靠近时，斜面可以挤压阀板向上平移。在阀板支架109两侧设置了导向轴承108，导向轴承108可以使阀板112结构整体在阀体101的凹槽1015内平移而不会在运动的垂直方向偏移。阀板支架109通过推杆115与直线电机113连接，直线电机113通过电机支架114固定在阀体101上。
26.阀板112应当结合图2，图4和图6理解，阀板112包括第一被驱动部分1121，即从图4的方向看朝向逐渐变窄的斜面，和与该驱动部分相连向下延伸的第二被驱动部分，也即轴杆1123，和图6中详细示出的上斜面，本发明中也称为第三被驱动部分1122。
27.本发明中涉及的驱动装置，包括图2示出的阀板支架109，也称为驱动支架，从图2中还可以看到，所述驱动装置所包括的第一回复装置111和第二回复装置106，具体可以采用的装置包括弹簧。这样的弹簧根据实际需要可以调整回复力的方向和大小。
28.因此由本专利具体实施方式可以概括得出如下技术方案：
29.一种用于隔离的阀板,包括用于密封待密封通道的工作面和沿远离所述工作面的方向延伸的承载所述工作面的阀板本体，所述阀板本体包括具有从所述工作面向所述远离方向逐渐变窄的截面的第一被驱动部分和安装回复力为远离待密封通道的第一回复装置的第二被驱动部分，还包括向上倾斜的第三被驱动部分。
30.一种驱动所述用于隔离的阀板的驱动装置，包括与所述第二被驱动部分配合的允许所述阀门摆动的导向装置。
31.本发明的优选实施方式的一个变形是，所述导向装置包括设置于驱动支架上的长孔和与两端设置在所述长孔中的横杆。
32.本发明的优选实施方式的一个变形是，所述驱动支架包括设置了所述长孔的第一臂和第二臂，和连接所述第一臂和第二臂的连接部，该连接部设有与所述第一被驱动部分配合第一斜面。
33.本发明的优选实施方式的一个变形是，还包括压紧所述阀板的压紧滑块，所述压紧滑块设有与所述第一被驱动部分配合的第二斜面。
34.本发明的优选实施方式的一个变形是，还包括具有使得所述压紧滑块远离所述驱动支架的回复力的第二回复装置。
35.本发明的优选实施方式的一个变形是，还包括设置于阀体上的用于与所述第三被驱动部分配合的球形凸起。
36.本发明的优选实施方式的一个变形是，还包括与所述驱动支架并联的电机。
37.本发明的优选实施方式的一个变形是，还包括设置在所述阀体上用于在密封待密封通道时限位所述压紧滑块的限位凸台。
38.本专利的一种真空闸阀，通过压紧滑块和阀板支架的斜面挤压阀板实现密封；阀板密封面设置有斜坡，与阀体的球形凸起配合，可有效防止阀门卡死；阀板设置复位弹簧，依靠弹簧弹力阀板可自行打开；压紧滑块设置复位弹簧，依靠弹簧弹力滑块自行滑动；阀板在阀板支架上可以在一定范围内摆动，从而能更好的使密封面相互贴合。
39.最后本发明的实施例是一种用于真空密封的阀，包括所述的阀板和所述的驱动装置，设有开启位置和关闭位置，在所述开启位置时，所述阀板的工作面远离待密封通道，在所述关闭位置时，所述阀板的工作面密封所述待密封通道。
40.当闸阀100开启时，参照图3，113直线电机向外推动推杆115,推杆带动阀板支架109平移，此时压紧滑块105在滑块复位弹簧106的推力作用下与阀板支架的间距增大，阀板112在阀板复位弹簧的推力下向远离阀体底面的方向运动，另外阀体上的球形凸起接触阀板上斜面，更助其向下运动，且能防止阀板卡死、胶圈与阀体黏连在一起等阀门打不开的情况，随着电机逐渐运动，阀门完全打开。
41.当阀门100关闭时，参照图4，直线电机113向内拉动推杆115，推杆带动阀板支架109及其上的机构一起平移，当移动到压紧滑块接触阀体上的限位台后，继续平移会挤压压紧滑块向阀板支架靠近，两者之间的距离变小挤压阀板112向上移动，直到阀板与阀体接
触，阀板上的密封圈挤压在阀体上实现阀门的密封。
42.上述各实施例仅是本发明的优选实施方式，在本技术领域内，凡是基于本发明技术方案上的变化和改进，不应排除在本发明的保护范围之外。例如，阀的通孔可以不设置图中的管，用直接开孔的形式；本方案的电机可以更换为气缸；阀板、阀板支架、压紧滑块的接触斜面角度可以更改；压紧滑块的导向杆滑动结构可以改为轴承滚动结构。