一种DBR反射光检查装置的制作方法

一种dbr反射光检查装置
技术领域
1.本实用新型涉及半导体电子技术领域，特别涉及一种dbr反射光检查装置。


背景技术：

2.dbr(distributed bragg reflection)又叫分布式布拉格反射镜，是由两种不同折射率的材料以abab的方式交替排列组成的周期结构，每层材料的光学厚度为中心反射波长的1/4。因此是一种四分之一波长多层系统，相当于简单的一组光子晶体。由于频率落在能隙范围内的电磁波无法穿透，布拉格反射镜的反射率可达99％以上。在led领域常用一炉127片或90片对dbr片源装盘进行镀膜作业，作业后需要测量反射率及查看反射光的外观。
3.现有常规方式是在测量片源的反射率后再检查drb层的反射光，而在检查反射光时会将片源放在手上将调整角度，检查反射外观，此作业因取片角度不同及灯光不固定，调整耗费时长较长且无法保证同一条件，会出现外观检查误判造成产品异常流失。
4.目前市面上还未有一种反射光检查上片装置，无法将片源快速放置在检查台上，需要人工手持片源调整角度，并需要调到到灯光处。这样既造成了人工操作效率，又容易因人员操作不当，比如污染或片源掉落等，从而降低产品质量或片源报废。


技术实现要素：

5.本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种dbr反射光检查装置，提高dbr片源反射光检测的操作效率及准确性。
6.为了解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案为：
7.一种dbr反射光检查装置，包括壳体和设置在壳体内的灯具和卡环；
8.所述灯具固定于所述壳体内的底部上；
9.所述壳体的一侧开设有一圆孔，所述卡环安装于所述圆孔处，且所述卡环的内侧形状与dbr片源的形状相适配；
10.所述灯具的顶部高度低于或等于所述卡环的最低点的高度。
11.进一步地，所述卡环的厚度大于所述壳体的厚度；
12.所述卡环的第一侧面的内边缘设置有向着所述卡环圆心的方向延伸的定位耳，所述卡环的第一侧面在所述卡环安装于所述圆孔处时位于所述壳体内。
13.进一步地，所述定位耳的数量和形状与所述dbr片源的边缘处的定位点的数量和形状相适应；
14.且所述定位耳在所述卡环上的设置位置与所述dbr片源放置于所述卡环内时的所述定位点的位置相对应。
15.进一步地，所述圆孔开设有一取片孔；
16.所述卡环上除所述定位耳之外的位置设置有与所述取片孔对应的缺口。
17.进一步地，所述卡环的第二侧面的外边缘设置有远离所述卡环圆心的方向延伸的一圈台阶；
18.所述台阶在所述卡环安装于所述圆孔处时位于所述壳体外并与所述壳体的外侧抵接。
19.进一步地，所述灯具整体以朝向所述卡环的方向倾斜设置在所述壳体内的底部上方，且所述灯具朝向所述卡环倾斜的一侧顶部抵靠在所述卡环的最低点处。
20.进一步地，所述灯具的倾斜角度为6
°
～10
°
。
21.进一步地，所述卡环可拆卸设置在所述圆孔处。
22.本实用新型的有益效果在于：本实用新型提供一种dbr反射光检查装置，通过在壳体一侧开设圆孔用于放置卡环，将dbr片源放置在卡环处实现片源的快速上片，再由壳体内固定的灯具实现照射光源角度的统一，使反射光的检查判断更准确，避免异常片源的误流，有效减少了人工上片操作需要调整角度等操作时间，同时卡环的设置也降低了手持片源容易划伤以及片源掉落的风险。
附图说明
23.图1为本实用新型实施例的一种dbr反射光检查装置的右视图；
24.图2为本实用新型实施例的一种dbr反射光检查装置的主视图；
25.图3为本实用新型实施例的一种dbr反射光检查装置中卡环的主视图；
26.图4为本实用新型实施例的一种dbr反射光检查装置中卡环的右视图；
27.图5为本实用新型实施例的一种dbr反射光检查装置中dbr片源的主视图；
28.图6为本实用新型实施例的一种dbr反射光检查装置中dbr片源的右视图。
29.标号说明：
30.1、壳体；2、灯具；3、卡环；301、第一侧面；302、第二侧面；31、定位耳；32、缺口；33、台阶；4、dbr片源；41、定位点；5、圆孔；51、取片孔。
具体实施方式
31.为详细说明本实用新型的技术内容、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图予以说明。
32.请参照图1至图6，一种dbr反射光检查装置，包括壳体和设置在壳体内的灯具和卡环；
33.所述灯具固定于所述壳体内的底部上；
34.所述壳体的一侧开设有一圆孔，所述卡环安装于所述圆孔处，且所述卡环的内侧形状与dbr片源的形状相适配；
35.所述灯具的顶部高度低于或等于所述卡环的最低点的高度。
36.由上述描述可知，本实用新型的有益效果在于：通过在壳体一侧开设圆孔用于放置卡环，将dbr片源放置在卡环处实现片源的快速上片，再由壳体内固定的灯具实现照射光源角度的统一，使反射光的检查判断更准确，避免异常片源的误流，有效减少了人工上片操作需要调整角度等操作时间，同时卡环的设置也降低了手持片源容易划伤以及片源掉落的风险。
37.进一步地，所述卡环的厚度大于所述壳体的厚度；
38.所述卡环的第一侧面的内边缘设置有向着所述卡环圆心的方向延伸的定位耳，所
述卡环的第一侧面在所述卡环安装于所述圆孔处时位于所述壳体内。
39.由上述描述可知，卡环的厚度大于壳体的厚度，保证卡环能够稳定卡接在壳体上的圆孔处，同时在位于壳体内的卡环一侧设置定位耳，当dbr片源放置在卡环内时能够通过定位耳以及卡环的内侧环壁进行限位，避免片源的晃动和掉落。
40.进一步地，所述定位耳的数量和形状与所述dbr片源的边缘处的定位点的数量和形状相适应；
41.且所述定位耳在所述卡环上的设置位置与所述dbr片源放置于所述卡环内时的所述定位点的位置相对应。
42.由上述描述可知，由于dbr片源的正面晶圆上的镀层区域为除定位点之外的位置，因此设计卡环上的定位耳的数量、形状和位置均与dbr片源上的定位耳的数量、形状和位置一一对应，以确保dbr片源上片时根据定位耳对应放置在卡环处，保证定位耳对片源进行限位的同时也避免了定位耳遮挡片源的镀层区域及定位耳划伤已镀片源。
43.进一步地，所述圆孔开设有一取片孔；
44.所述卡环上除所述定位耳之外的位置设置有与所述取片孔对应的缺口。
45.由上述描述可知，设置取片孔以及卡环上对应的缺口，方便镊子通过取片孔进行dbr片源的放置和夹取，即进一步实现片源的快速上片检查。
46.进一步地，所述卡环的第二侧面的外边缘设置有远离所述卡环圆心的方向延伸的一圈台阶；
47.所述台阶在所述卡环安装于所述圆孔处时位于所述壳体外并与所述壳体的外侧抵接。
48.由上述描述可知，卡环通过台阶抵接于壳体外侧的方式安装在圆孔处，即对卡环进行限位避免卡环掉落进壳体内。
49.进一步地，所述灯具整体以朝向所述卡环的方向倾斜设置在所述壳体内的底部上方，且所述灯具朝向所述卡环倾斜的一侧顶部抵靠在所述卡环的最低点处。
50.由上述描述可知，灯具呈一定倾斜角度朝向卡环，为dbr片源提供充分及稳定的光源，进一步确保反射光的检查判断更准确。
51.进一步地，所述灯具的倾斜角度为6
°
～10
°
。
52.由上述描述可知，6
°
～10
°
的倾斜角度能保证灯具的光源充分照射在dbr片源上，不会被遮挡以及过亮或过暗，进一步确保反射光的检查判断更准确。
53.进一步地，所述卡环可拆卸设置在所述圆孔处。
54.由上述描述可知，不同的dbr片源，其边缘处的定位点的位置和数量均有可能不同，因此卡环设计为独立可拆卸设置在圆孔处，可便于适应不同的dbr片源进行对应更换。
55.本实用新型的一种dbr反射光检查装置可以应用于对dbr片源的反射率及外观进行检测的场景，以下结合具体的实施例进行说明：
56.请参照图1至图3、图5及图6，本实用新型的实施例一为：
57.一种dbr反射光检查装置，包括壳体1和设置在壳体1内的灯具2和卡环3，其中灯具2固定于壳体1内的底部上。
58.如图2所示，壳体1的一侧开设有一圆孔5，卡环3安装于圆孔5处，在本实施例中，卡环3用于放置dbr片源4，能实现片源的快速上片。同时，卡环3的内侧形状要与dbr片源4的形
状相适配，以保证dbr片源4能够稳定放置在卡环3的环壁形成的区域内，进行后续的反射光检测，降低了手持片源进行检测容易划伤以及片源掉落的风险；同时，灯具2的顶部高度要低于或等于卡环3的最低点的高度，以便dbr片源4放置在卡环3处时，灯具2的光能够全面照射到dbr片源4，光线不会被遮挡，保证照射光源角度的统一，使反射光的检查判断更准确，避免异常片源的误流，有效减少了人工上片操作需要调整角度等操作时间。
59.在本实施例中，如图1所示，卡环3的厚度大于壳体1的厚度，如图3所示，卡环3的第一侧面301的内边缘设置有向着卡环3圆心的方向延伸的8个定位耳31，当dbr片源4放置在卡环3内时可通过定位耳31以及卡环3的内侧环壁进行限位，避免片源的晃动和掉落。
60.如图6所示，dbr片源4为正面晶圆和背面dbr的结构，当dbr片源4放置在卡环3处时，正面晶圆的一侧会与卡环3上的定位耳31接触，其中，在本实施例中，如图5所示，dbr片源4在正面晶圆的一面的边缘处的定位点41数量也为8个，即卡环3上的8个定位耳31正好与dbr片源4上的8个定位点41对应，且每个定位耳31的形状也要与dbr片源4的定位点41的形状相适应，当dbr片源4放置于卡环3内时，定位耳31在卡环3上的设置位置也要与dbr片源4的定位点41的位置相对应。
61.即在本实施例中，如图5所示，dbr片源4的正面晶圆一侧的镀层区域为除定位点41之外的位置，因此设计卡环3上的定位耳31的数量、形状和位置均与dbr片源4上的定位耳31的数量、形状和位置一一对应，以确保dbr片源4上片时根据定位耳31对应放置在卡环3处，保证定位耳31对片源进行限位的同时也避免了定位耳31遮挡片源的镀层区域及定位耳31划伤已镀片源。
62.同时，由于不同的dbr片源4，其边缘处的定位点41的位置和数量均有可能不同，因此卡环3为独立可拆卸设置在壳体1的圆孔5处，以便在其他等同实施例中，可以根据不同的dbr片源4进行对应的卡环3更换。
63.请参照图1至图6，本实用新型的实施例二为：
64.一种dbr反射光检查装置，在上述实施例一的基础上，在本实施例中，如图2所示，圆孔5开设有一取片孔51，如图3所示，卡环3上除定位耳31之外的位置设置有与取片孔51对应的缺口32。
65.即在本实施例中，设置取片孔51以及卡环3上对应的缺口32，能够方便镊子通过取片孔51进行dbr片源4的放置和夹取，进一步实现片源的快速上片检查。
66.同时，如图4所示，卡环3的第二侧面302的外边缘设置有远离卡环3圆心的方向延伸的一圈台阶33；如图1所示，台阶33在卡环3安装于圆孔5处时位于壳体1外并与壳体1的外侧抵接。
67.即在本实施例中，卡环3通过台阶33抵接于壳体1外侧的方式安装在圆孔5处，即对卡环3进行限位避免卡环3掉落进壳体1内。
68.另外，如图1所示，在本实施例中，灯具2整体以朝向卡环3的方向倾斜设置在壳体1内的底部上方，且灯具2朝向卡环3倾斜的一侧顶部抵靠在卡环3的最低点处，其中灯具2的倾斜角度为8
°
。
69.即在本实施例中，灯具2呈一定倾斜角度朝向卡环3，为dbr片源4提供充分及稳定的光源，进一步确保反射光的检查判断更准确。在其他等同实施例中，灯具2的倾斜角度为6
°
～10
°
即可，以保证灯具2的光源充分照射在dbr片源4上，不会被遮挡以及过亮或过暗。
70.综上所述，本实用新型提供的一种dbr反射光检查装置，具有以下有益效果：
71.1、通过在壳体一侧设置圆孔放置卡环，并在卡环上放置dbr片源进行反射光的检测，降低手持片源容易划伤以及片源掉落的风险；
72.2、通过卡环上的定位耳与dbr片源的定位点对应进行片源的放置，保证定位耳对片源进行限位的同时也避免了定位耳遮挡片源的镀层区域及定位耳划伤已镀片源；
73.3、通过设置取片孔进一步实现dbr片源的快速上片检查；
74.4、通过固定灯具倾斜角度，确保光源照射角度的统一，使反射光的检查判断更准确，避免异常片源的误流，有效减少了人工上片操作需要调整角度等操作时间。
75.以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等同变换，或直接或间接运用在相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。