一种光刻机用废料清理设备的制作方法

1.本实用新型是一种光刻机用废料清理设备，属于光刻机领域。


背景技术：

2.光刻机被广泛用于芯片制造领域，一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序，光刻的意思是用光来制作一个图形工艺，在硅片表面匀胶，然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时“复制”到硅片上的过程，光刻机在使用后经常会有胶水附着在曝光平台上，若不对附着在曝光平台上的胶水及时清理，在后续芯片生产的的过程中，容易发生失焦，导致图形变形，故而需要对光刻机中残余的废料进行清理。
3.传统的废料清理设备在对光刻机清理时，大多只能对曝光平台上的灰尘颗粒进行吹扫，然而当曝光平台上存在水渍时，传统的废料清理设备无法将水渍吹扫，导致水渍滞留在曝光台上，影响后续的光刻操作，因此急需一种新的结构来解决该问题。


技术实现要素：

4.针对现有技术存在的不足，本实用新型目的是提供一种光刻机用废料清理设备，以解决上述背景技术中提出的无法将附着在曝光平台上端面的水渍清理的问题。
5.为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现：一种光刻机用废料清理设备，包括防尘风机，所述防尘风机的输出端与连管的一端连通固定，所述连管上滑动设置有连板，所述连板的背离连管的一端设置有伺服电机，所述伺服电机的输出端穿过连板并与三角板固定连接，所述三角板上设置有三个安装孔，所述三角板通过安装孔分别与热风管、第一清洁管以及第二清洁管相连接，所述热风管、第一清洁管以及第二清洁管穿过三角板的一端与连管的一端相配合，所述防尘风机的一侧端面设置有安装板，所述安装板上设置有液压杆，所述液压杆的输出端与连板的一侧端面固定连接。
6.进一步地，所述连管上对称设置两个弓形条，所述弓形条与连板滑动连接。
7.进一步地，所述热风管、第一清洁管以及第二清洁管上均设置有安装管，所述安装管与连管相连通。
8.进一步地，所述连管的一侧端面设置有密封环槽，所述密封环槽内部设置有密封垫环，所述密封环槽与安装管相插装，且安装管的一侧端面与密封垫环的一侧端面相抵接。
9.进一步地，所述防尘风机的一侧端面设置有连接架，所述连接架上设置有连接转轴，所述连接架通过连接转轴与安装架固定连接，所述连接转轴的一端设置有从动齿轮，所述从动齿轮与主动齿轮相啮合，且主动齿轮与调节电机的输出端固定连接。
10.进一步地，所述安装架上设置有用于确定安装架安装位置的定位板。
11.本实用新型的有益效果：通过在防尘风机输出端设置的连管上设置有连板，利用连板上设置的伺服电机的输出端与三角板固定连接，通过三角板上设置的热风管、第一清洁管以及第二清洁管，方便将曝光平台上端面的水渍气化后排出，避免了因水渍附着在曝
光平台上，无法清理，导致后续的光刻失焦，影响对芯片的光刻作业。
12.通过设置调节电机，利用调节电机上设置的主动齿轮与设置在连接转轴上的从动齿轮相啮合，由于安装架通过连接转轴与连接架转动连接，在调节电机、主动齿轮以及从动齿轮的作用下，实现了的风机、热风管、第一清洁管以及第二清洁管的角度调节，进而，增加了清洁范围，实用性好。
附图说明
13.通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
14.图1为本实用新型一种光刻机用废料清理设备的结构示意图；
15.图2为本实用新型一种光刻机用废料清理设备中连接架的安装示意图；
16.图3为本实用新型一种光刻机用废料清理设备中连板的安装示意图。
17.图中：1-安装架、2-连接架、3-防尘风机、4-安装板、5-连管、6-连板、7-弓形条、8-液压杆、9-伺服电机、10-密封环槽、11-三角板、12-热风管、13-第一清洁管、14-第二清洁管、15-调节电机、16-主动齿轮、17-从动齿轮、18-定位板、19-连接转轴、20-安装管。
具体实施方式
18.为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。
19.请参阅图1-图3，本实用新型提供一种技术方案：一种光刻机用废料清理设备，包括防尘风机3，防尘风机3的输出端与连管5的一端连通固定，连管5上滑动设置有连板6，连板6的背离连管5的一端设置有伺服电机9，伺服电机9的输出端穿过连板6并与三角板11固定连接，三角板11上设置有三个安装孔，三角板11通过安装孔分别与热风管12、第一清洁管13以及第二清洁管14相连接，热风管12、第一清洁管13以及第二清洁管14穿过三角板11的一端与连管5的一端相配合，热风管12、第一清洁管13以及第二清洁管14上均设置有安装管20，安装管20与连管5相连通，通过设置安装管20，并使安装管20与连管5相连通，方便热风管12、第一清洁管13以及第二清洁管14与连管5的连接，防尘风机3的一侧端面设置有安装板4，安装板4上设置有液压杆8，液压杆8的输出端与连板6的一侧端面固定连接。
20.连管5上对称设置两个弓形条7，弓形条7与连板6滑动连接，通过在连管5上设置有用于限制连板6滑动的弓形条7，实现了对连板6移动轨迹的限定，连管5的一侧端面设置有密封环槽10，密封环槽10内部设置有密封垫环，密封环槽10与安装管20相插装，且安装管20的一侧端面与密封垫环的一侧端面相抵接，通过增加密封环槽10与密封垫环，增加了安装管20与连管5之间的连接密封性。
21.防尘风机3的一侧端面设置有连接架2，连接架2上设置有连接转轴19，连接架2通过连接转轴19与安装架1固定连接，连接转轴19的一端设置有从动齿轮17，从动齿轮17与主动齿轮16相啮合，且主动齿轮16与调节电机15的输出端固定连接，通过增加调节电机15、主动齿轮16以及从动齿轮17，利用连接固定在调节电机15上的主动齿轮16与设置在连接转轴19上的从动齿轮17相啮合，方便对防尘风机3角度的调节，安装架1上设置有用于确定安装架1安装位置的定位板18，通过增加定位板18，在定位板18的作用下，有利于安装架1的安
装。
22.具体实施方式：在需要对光刻机的曝光平台清理时，启动液压杆8，利用液压杆8推动连板6在连管5上滑动，直到连管5与相对应的安装管20分离，然后启动伺服电机9，在伺服电机9输出轴转动的过程中，带动与伺服电机9输出端固定连接的三角板11旋转，直到连接固定在三角板11上的第二清洁管14上设置的安装管20的中轴线与连管5的中轴线重合，然后启动液压杆8，利用液压杆8将安装管20卡接在连管5上设置的密封环槽10内，启动防尘风机3，在防尘风机3的作用下，使风依次经过防尘风机3、连管5、安装管20以及第二清洁管14并从第二清洁管14排出，在风的作用下，将曝光台上的灰尘清理。
23.当水渍附着在曝光平台上，难以清理时，启动液压杆8，利用液压杆8推动连板6移动，使安装管20与连管5分离，然后启动伺服电机9，在伺服电机9输出端的作用下，带动三角板11旋转，直到三角板11上设置的热风管12一端连通固定的安装管20与连管5相连，然后启动防尘风机3，利用防尘风机3将风从热风管12排出，风经热风管12加热后与附着在曝光平台上的水渍接触，在热风的作用下，将水渍气化后排出，进而实现了对水渍的清理，避免了因水渍附着在曝光台上，导致后续对芯片的光刻受到影响。
24.此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。