一种柔性衬底结构的制作方法

1.本实用新型属于柔性oled面板技术领域，具体涉及一种柔性衬底结构。


背景技术：

2.柔性oled（organiclightemittingdiode）面板衬底结构多采用pi（polyimidefilm，既聚酰亚胺）作为衬底，pi作为oled器件显示模块的载体柔韧度高，具备可折叠性，可弯折的特点，制备柔性基板时，需要使用高精度机械平台配合准分子激光通过外光路形成线性光斑对oled模组进行扫描，在高能量激光作用下，pi膜层失去粘性，和玻璃基板分离；
3.llo（laserliftoff）镭射激光剥离技术是柔性oled生产的关键技术，剥离工艺对产品的良率、成本等都有非常大的影响，镭射激光剥离技术是利用激光能量将pi薄膜与玻璃基板接触面的pi碳化，将pi薄膜与玻璃基板脱离，形成柔性oled显示屏；
4.llo（laserliftoff）激光中的能量值决定了薄膜剥离的快慢和剥离的干净程度，直接影响剥离工艺的良率，其中激光能量（w）=单次脉冲能量*脉冲的频率，激光的能量与其功率有关，如果就单个光子而言，光子的能量与波长成反比关系。即波长越短，光子能量越高。
5.激光剥离工艺中的pi薄膜多采用ijp（喷墨打印）制备，pi薄膜是由ijp设备将pi胶水喷墨打印在玻璃基板上，经过uv固化才形成pi薄膜，其中pi胶水材料包含聚酰亚胺、聚氨酯、含有聚氨酯单元的嵌段共聚物等聚合物混合胶水，由于聚酰亚胺等聚合物发生热分解需要较大的激光功率，llo激光剥离常采用紫外光（波长=355um）进行剥离并且会产生较大的热量，紫外光激光能量高，该热量存在有可能造成损坏oled器件损坏，未被吸收的激光会被直接照射在oled器件上，影响oled器件的寿命和光学参数，为此，我们提出一种柔性衬底结构，以解决上述背景技术中提到的问题。


技术实现要素：

6.本实用新型的目的在于提供一种柔性衬底结构，以解决上述背景技术中提出的问题。
7.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种柔性衬底结构，包括玻璃基板，激光吸收树脂，剥离薄膜层，柔性衬底以及oled器件，所述柔性衬底设置在oled器件上端，所述剥离薄膜层设置在柔性衬底的上端，所述激光吸收树脂设置在剥离薄膜层的上端，所述玻璃基板设置在剥离薄膜层的上端；
8.所述柔性衬底结构的制作方法，具体包括以下步骤：
9.a、首先通过ijp（喷墨打印机台）在玻璃基板涂布一层激光吸收树脂，激光吸收树脂厚度范围为0.5um-1um；该激光吸收树脂的材料不限于苯稀酸类树脂，聚碳酸酯树脂，苯乙烯树脂，低密度聚乙烯，聚苯烯树脂，聚氨酯树脂，聚树脂等，其厚度范围为0.5um-1um，优选为0.6um，该激光吸收树脂可大量吸收波段为600nm-1800nm的激光能量；
10.b、然后在激光吸收树脂上通过ijp（喷墨打印机台）涂布一层剥离薄膜层，剥离薄
膜层的厚度范围为0.2um-0.4um；剥离薄膜层的材料不限于pi(聚酰亚胺)，pet膜（聚对苯二甲酸乙二醇酯），其厚度范围为0.2um-0.4um，优选为0.3um；
11.c、其次再在剥离薄膜层上通过ijp（喷墨打印机台）涂布一层柔性衬底，柔性衬底的厚度范围为1um-2um；柔性衬底的材料不限于pi(聚酰亚胺)，pet膜（聚对苯二甲酸乙二醇酯），聚对苯二甲酸丁二酯（pbt），其厚度范围为1um-2um，优选为1.3um；
12.d、将剥离薄膜层和柔性衬底分步涂布固化，有利有将薄膜间结构层次分离，在剥离时有利于膜层快速分离，最后在柔性衬底上制备oled器件。
13.本实用新型还提供了一种柔性衬底结构的激光剥离的方法，具体包括以下步骤：
14.s1、将玻璃基板和柔性衬底分离，其中激光聚焦在激光吸收树脂之上；
15.s2、然后激光吸收树脂高效地将光能转化为热能传递给剥离薄膜层，剥离薄膜层吸收大量热能后温度上升并且碳化，碳化后的剥离薄膜层无法与柔性衬底形成贴附；
16.s3、将玻璃基板以及激光吸收树脂与柔性衬底形成分离，得到附着在柔性衬底上的oled器件，实现可折叠，可弯折的柔性显示。
17.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型提供的一种柔性衬底结构，本实用新型不仅可以吸收大量的长波段的激光能量，并高效地将激光能量转化为热量并碳化有机物衬底，提高光能转换热能的效率，避免使用短波长的激光进入器件而伤害器件，保护了oled器件不受激光的影响，延长了器件的寿命。
附图说明
18.图1为本实用新型实施例1的柔性衬底结构的示意图；
19.图2为本实用新型实施例2的柔性衬底结构的示意图。
20.图中：1、玻璃基板；2、激光吸收树脂；3、剥离薄膜层；4、柔性衬底；5、oled器件；6、激光吸收颗粒。
具体实施方式
21.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
22.实施例1：本实用新型提供了如图1的一种柔性衬底结构，包括玻璃基板1，激光吸收树脂2，剥离薄膜层3，柔性衬底4以及oled器件5，所述柔性衬底4设置在oled器件5上端，所述剥离薄膜层3设置在柔性衬底4的上端，所述激光吸收树脂2设置在剥离薄膜层3的上端，所述玻璃基板1设置在剥离薄膜层3的上端；
23.所述柔性衬底结构的制作方法，具体包括以下步骤：
24.a、首先通过ijp（喷墨打印机台）在玻璃基板1涂布一层激光吸收树脂2，激光吸收树脂2厚度范围为0.5um-1um；该激光吸收树脂2的材料不限于苯稀酸类树脂，聚碳酸酯树脂，苯乙烯树脂，低密度聚乙烯，聚苯烯树脂，聚氨酯树脂，聚树脂等，其厚度范围为0.5um-1um，优选为0.6um，该激光吸收树脂2可大量吸收波段为600nm-1800nm的激光能量；
25.b、然后在激光吸收树脂2上通过ijp（喷墨打印机台）涂布一层剥离薄膜层3，剥离
薄膜层3的厚度范围为0.2um-0.4um；剥离薄膜层3的材料不限于pi(聚酰亚胺)，pet膜（聚对苯二甲酸乙二醇酯），其厚度范围为0.2um-0.4um，优选为0.3um；
26.c、其次再在剥离薄膜层3上通过ijp（喷墨打印机台）涂布一层柔性衬底4，柔性衬底4的厚度范围为1um-2um；柔性衬底4的材料不限于pi(聚酰亚胺)，pet膜（聚对苯二甲酸乙二醇酯），聚对苯二甲酸丁二酯（pbt），其厚度范围为1um-2um，优选为1.3um；
27.d、将剥离薄膜层3和柔性衬底4分步涂布固化，有利有将薄膜间结构层次分离，在剥离时有利于膜层快速分离，最后在柔性衬底4上制备oled器件5。
28.一种柔性衬底结构的激光剥离的方法，具体包括以下步骤：
29.s1、将玻璃基板1和柔性衬底4分离，其中激光聚焦在激光吸收树脂2之上；
30.s2、然后激光吸收树脂2高效地将光能转化为热能传递给剥离薄膜层3，剥离薄膜层3吸收大量热能后温度上升并且碳化，碳化后的剥离薄膜层3无法与柔性衬底4形成贴附；
31.s3、将玻璃基板1以及激光吸收树脂2与柔性衬底4形成分离，得到附着在柔性衬底4上的oled器件5，实现可折叠，可弯折的柔性显示。
32.实施例2：本实用新型提供了如图2的一种柔性衬底结构，包含玻璃基板1，剥离薄膜层3，柔性衬底4，oled器件5和激光吸收颗粒6，其中激光吸收颗粒6掺杂在剥离薄膜层3的内部，当激光剥离工艺结束之后，激光吸收颗粒6会随着剥离薄膜层3脱离器件；
33.所述柔性衬底结构的制作方法，具体包括以下步骤：
34.首先在玻璃基板1上通过ijp（喷墨打印机台）涂布一层待碳化的剥离薄膜层3，其中剥离薄膜层3的材料不限于pi(聚酰亚胺)，pet膜（聚对苯二甲酸乙二醇酯），优选为pet膜（聚对苯二甲酸乙二醇酯），剥离薄膜层3厚度范围为0.2um-0.4um，优选为0.3um；
35.在碳化的剥离薄膜层3为熔融状态时，将激光吸收颗粒6掺杂在熔融状态的待碳化剥离薄膜层3之中，然后再进行固化，其中激光吸收颗粒6的材料不限于wyoz，w为钨，o为氧，其中2.0≤z/y＜3.0，或者复合钨氧化物颗粒，比如mxwyoz，其中m为稀有金属，碱性金属，mn，ni，mo，ge，sn等，颗粒的大小范围为50mn-150m，优选为100mn，复合钨氧化物颗粒显现吸收激光的特性是由于其表面具有大量的自由电子，并且其等离子激发波长在近红光区，也就是可避免选择短波长、高能量的激光进行剥离，减少高能量激光伤害器件；
36.其次再通过ijp（喷墨打印机台）涂布一层在待碳化的剥离薄膜层3上涂布一层柔性衬底4，柔性衬底4材料不限于pi(聚酰亚胺)，pet膜（聚对苯二甲酸乙二醇酯），聚对苯二甲酸丁二酯（pbt），优选为pi(聚酰亚胺) ，柔性衬底4的材料薄膜和待碳化的剥离薄膜层3的材质要选择不同，不同薄膜材料之间有明显的薄膜分层线，有利于待碳化的剥离薄膜层3在碳化后更顺利地剥离，其厚度范围为1um-2um，优选为1.3um；
37.最后在柔性衬底4上制备oled器件5；当oled器件5制备完成之后进行激光剥离工艺；玻璃基板1，剥离薄膜层3，柔性衬底4，oled器件5和激光吸收颗粒6，
38.所述激光剥离工艺，具体包括以下步骤：
39.将玻璃基板1和柔性衬底4分离，其中激光聚焦在激光吸收颗粒6之上，然后激光吸收颗粒6高效地将光能转化为热能传递给剥离薄膜层3，剥离薄膜层3吸收大量热能后温度上升并且碳化，碳化后的剥离薄膜层3无法与柔性衬底4形成贴附，进而将玻璃基板1以及激光吸收树脂2与柔性衬底4形成分离，得到附着在柔性衬底4上的oled器件5，实现可折叠，可弯折的柔性显示。
40.综上所述，与现有技术相比，本实用新型不仅可以吸收大量的长波段的激光能量，并高效地将激光能量转化为热量并碳化有机物衬底，提高光能转换热能的效率，避免使用短波长的激光进入器件而伤害器件，保护了oled器件5不受激光的影响，延长了器件的寿命。
41.最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。