技术特征:
1.一种纳米压印用树脂固化装置,其特征在于,包括:光照射部,其以使转印有图案的树脂固化的方式照射光;以及遮光部,其从所述光照射部凸出地配置,以遮蔽因照射至所述树脂的光扩散而重叠地向所述树脂照射光。2.一种纳米压印用树脂固化装置,其特征在于,包括:光照射部,其以使转印有图案的树脂固化的方式照射光;以及准直透镜,其相较于所述光照射部的输出光的发光部配置于前方,以遮蔽因照射至所述树脂的光扩散而重叠地向所述树脂照射光。3.根据权利要求1或2所述的纳米压印用树脂固化装置,其特征在于,所述光照射部的照射方向以下侧方向为基准朝向一侧地倾斜。4.根据权利要求3所述的纳米压印用树脂固化装置,其特征在于,所述光照射部包括照射方向引导部,该照射方向引导部引导照射方向在10度至80度内倾斜。5.根据权利要求1或2所述的纳米压印用树脂固化装置,其特征在于,所述光照射部以从所述树脂的一端照射至另一端的方式在一个方向上移动。6.根据权利要求1或2所述的纳米压印用树脂固化装置,其特征在于,所述树脂以从一端到另一端依次经过所述光照射部照射的光的方式移动。
技术总结
本发明涉及一种纳米压印用树脂固化装置,包括:光照射部,其以使转印有图案的树脂固化的方式照射光;以及遮光部,其从所述光照射部凸出地配置,以遮蔽因照射至所述树脂的光扩散而重叠地向所述树脂照射光。而重叠地向所述树脂照射光。而重叠地向所述树脂照射光。
技术研发人员:金泰完 郑明教 金准基 朴惠贞 郑熙锡
受保护的技术使用者:吉佳蓝科技股份有限公司
技术研发日:2021.08.06
技术公布日:2022/6/4
再多了解一些
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