连续加料直拉单晶炉真空尾气自动除尘装置的制作方法

1.本发明涉及连续加料直拉单晶炉领域，尤其涉及连续加料直拉单晶炉真空尾气自动除尘装置。


背景技术：

2.连续加料直拉单晶炉是一种在真空和惰性气体环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备，应用连续加料直拉单晶炉，能够一边进行单晶拉制一边加料熔化，使产出的晶棒品质更佳，连续加料直拉单晶炉在长晶过程中，为了保证单晶生长炉内真空，通常需要接入真空泵，在真空泵抽真空过程中，炉内会产生粉尘和一氧化碳中的颗粒物会被直接吸入真空泵内，导致粉尘与真空泵内的润滑油混合，造成真空泵润滑失效，不及时更换润滑油会导致真空泵损坏。
3.现有的除尘方式为在气体抽进真空泵前经过一个除尘装置，通过除尘装置内部的滤芯过滤大量粉尘，由于粉尘和一氧化碳中的颗粒物较多，滤芯在长时间工作情况下容易被粉尘和一氧化碳中的颗粒物堵塞，导致气流堵塞，造成单晶炉内压力急剧升高，因此必须对除尘装置进行清理，但是需要在生长炉停止工作后，将滤芯拿出清理附着的粉尘，清理过程较为烦琐，耗时较长，对拉晶效率有一定的影响。
4.因此，有必要针对现有技术的缺点，设计一种能够将气体与粉尘和颗粒物充分分离、可对滤芯上附着的粉尘进行清理、可以在生长炉工作的状态下将粉尘清理的连续加料直拉单晶炉真空尾气自动除尘装置。


技术实现要素：

5.本发明的目的是提供连续加料直拉单晶炉真空尾气自动除尘装置，包括有细粉尘收集箱、环形支撑架、过滤筒、开槽连接架和开槽过滤箱，细粉尘收集箱顶面固定安装有环形支撑架，环形支撑架上固定安装有过滤筒，过滤筒顶部固接有开槽连接架，开槽连接架顶面固定安装有开槽过滤箱，还包括有： 粗粉尘过滤组件，开槽过滤箱上通过螺栓连接的方式连接有粗粉尘过滤组件，粗粉尘过滤组件用于将连续加料直拉单晶炉尾气中的粉尘和一氧化碳中的颗粒物去除； 粉尘刮除组件，粉尘刮除组件定位于开槽过滤箱内，粉尘刮除组件用于将粗粉尘过滤组件上的粉尘刮除，粉尘刮除组件包括有电磁条、往复刮板、毛刷和电磁块一，开槽过滤箱内两侧固定连接有两条电磁条，往复刮板呈均匀排列的方式滑动连接于开槽过滤箱内，往复刮板两侧均匀分布有毛刷，毛刷与相邻的过滤网框接触，往复刮板上对称固接有电磁块一，电磁块一与位于下方同侧的电磁条相互接触； 不停机清粉组件，开槽连接架上设置有不停机清粉组件，不停机清粉组件用于在生长炉工作的状态下对粉尘进行清理。
6.作为上述方案的改进，粗粉尘过滤组件包括有进气框、排气框和过滤网框，开槽过滤箱前侧通过螺栓连接的方式连接有进气框，排气框通过螺栓连接的方式连接于开槽过滤箱后侧，开槽过滤箱内呈均匀排列的方式固定连接有过滤网框。
7.作为上述方案的改进，不停机清粉组件包括有输送条、梯形漏料框、开孔球阀、三通块、调节齿轮、矩形开槽架、滑动齿条架、电磁块二、复位弹簧、粗粉尘收集箱和连接板，开槽连接架内底部呈均匀排列的方式连接有输送条，开槽连接架内顶部呈均匀排列的方式连接有梯形漏料框，梯形漏料框与开槽过滤箱相通，梯形漏料框底部转动式连接有开孔球阀，开孔球阀与相邻输送条转动式连接，开孔球阀上转动式连接有三通块，三通块位于输送条内，开孔球阀上固接有调节齿轮，开槽连接架内对称固接有矩形开槽架，两个矩形开槽架上共同滑动式连接有滑动齿条架，滑动齿条架与调节齿轮啮合，滑动齿条架上设置有两个电磁块二，矩形开槽架上同样固接有电磁块二，相邻两个电磁块二相互接触，滑动齿条架上固定连接有一对复位弹簧，复位弹簧一端与同侧矩形开槽架固接，开槽连接架上通过螺栓连接的方式连接有三对连接板，开槽过滤箱后侧同样通过螺栓连接的方式连接有一对连接板，四对连接板上共同通过螺栓连接的方式连接有两个粗粉尘收集箱，粗粉尘收集箱与输送条相通。
8.作为上述方案的改进，开孔球阀上开有三个出粉孔，开孔球阀用于对粉尘和一氧化碳中的颗粒物输送方向进行限位，保证在开孔球阀转动一定方向时不会将粉尘和一氧化碳中的颗粒物输送至输送条另一侧。
9.作为上述方案的改进，还包括有透镜板，粗粉尘收集箱一侧设置有三块透镜板。
10.作为上述方案的改进，还包括有导电架，开槽过滤箱顶部呈均匀排列的方式连接有导电架，导电架与过滤网框通过电路连接。
11.作为上述方案的改进，还包括有细粉尘过滤组件，过滤筒上设置有细粉尘过滤组件，细粉尘过滤组件包括有连接导管和过滤圆杆头，排气框上连通有连接导管，连接导管与过滤筒连通，过滤圆杆头转动式连接于过滤筒内底部，过滤圆杆头下方与细粉尘收集箱转动式连接。
12.作为上述方案的改进，还包括有旋转组件，过滤筒内底面设置有旋转组件，旋转组件包括有驱动电机、旋转小齿轮和旋转大齿轮，过滤筒内底面固定安装有驱动电机，驱动电机输出轴上固接有旋转小齿轮，过滤圆杆头下方固接有旋转大齿轮，旋转小齿轮与旋转大齿轮啮合。
13.作为上述方案的改进，还包括有刮粉组件，过滤筒内顶部固定安装有刮粉组件，刮粉组件包括有固定三接架和固定刷板，过滤筒内顶部固定安装有固定三接架，固定三接架上固定连接有三个固定刷板，三个固定刷板均与过滤圆杆头接触。
14.与现有技术相比，本发明具有以下优点：1、通过设置的过滤网框，连续加料直拉单晶炉产生的尾气会进入开槽过滤箱内后，过滤网框能够对气体进行过滤，气体中大量的粉尘和一氧化碳中的颗粒物被过滤网框阻挡向下掉落，使得气体与粉尘和一氧化碳中的颗粒物分离。
15.2、通过两对电磁条间歇性通电，往复刮板及毛刷会持续上下往复运动，毛刷上下往复运动会对过滤网框上的粉尘进行刷拭，避免粉尘过多将过滤网框网孔堵塞，从而避免单晶炉内压力急剧升高。
16.3、通过控制电磁块二通电，开孔球阀转动改变粉尘和一氧化碳中的颗粒物的输送方向，能够使气体将粉尘和一氧化碳中的颗粒物吹向其中一侧的粗粉尘收集箱内，便于工作人员在生长炉工作的状态下对另一侧的粗粉尘收集箱内的粉尘进行清理。
17.4、通过设置的过滤圆杆头，过滤圆杆头对气体进行进一步过滤，使得气体中较细小的粉尘会残留至过滤圆杆头上，实现将气体与粉尘充分分离的目的。
附图说明
18.图1为本发明的第一种立体结构示意图。
19.图2为本发明的第二种立体结构示意图。
20.图3为本发明的部分立体结构示意图。
21.图4为本发明粗粉尘过滤组件的剖视立体结构示意图。
22.图5为本发明粉尘刮除组件的部分剖视立体结构示意图。
23.图6为本发明粉尘刮除组件的部分立体结构示意图。
24.图7为本发明不停机清粉组件的部分剖视立体结构示意图。
25.图8为本发明不停机清粉组件的第一种部分拆分立体结构示意图。
26.图9为本发明不停机清粉组件的第二种部分拆分立体结构示意图。
27.图10为本发明不停机清粉组件的部分立体结构示意图。
28.图11为本发明旋转组件和刮粉组件的剖视立体结构示意图。
29.图中标号名称：1、细粉尘收集箱，21、环形支撑架，22、过滤筒，23、开槽连接架，24、开槽过滤箱，3、粗粉尘过滤组件，31、进气框，32、排气框，33、过滤网框，4、粉尘刮除组件，41、电磁条，42、往复刮板，43、毛刷，44、电磁块一，5、不停机清粉组件，51、输送条，52、梯形漏料框，53、开孔球阀，54、三通块，55、调节齿轮，56、矩形开槽架，57、滑动齿条架，58、电磁块二，59、复位弹簧，510、粗粉尘收集箱，511、连接板，6、透镜板，7、导电架，8、细粉尘过滤组件，81、连接导管，82、过滤圆杆头，9、旋转组件，91、驱动电机，92、旋转小齿轮，93、旋转大齿轮，10、刮粉组件，101、固定三接架，102、固定刷板。
具体实施方式
30.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
31.实施例1连续加料直拉单晶炉真空尾气自动除尘装置，请参考图1至图10，包括有细粉尘收集箱1、环形支撑架21、过滤筒22、开槽连接架23、开槽过滤箱24、粗粉尘过滤组件3、粉尘刮除组件4和不停机清粉组件5，细粉尘收集箱1顶面固定安装有环形支撑架21，环形支撑架21上固定安装有过滤筒22，过滤筒22顶部固接有开槽连接架23，开槽连接架23顶面固定安装有开槽过滤箱24，开槽过滤箱24上通过螺栓连接的方式连接有用于对连续加料直拉单晶炉产生的尾气过滤除尘的粗粉尘过滤组件3，粉尘刮除组件4定位于开槽过滤箱24内，开槽连接架23上设置有不停机清粉组件5，不停机清粉组件5用于在生长炉不停止工作的状态下对粉尘进行清理。
32.粗粉尘过滤组件3包括有进气框31、排气框32和过滤网框33，开槽过滤箱24前侧通过螺栓连接的方式连接有进气框31，进气框31用于输送连续加料直拉单晶炉产生的尾气，
排气框32通过螺栓连接的方式连接于开槽过滤箱24后侧，排气框32用于排出过滤后的气体，开槽过滤箱24内呈均匀排列的方式固定连接有过滤网框33，过滤网框33用于对气体进行过滤。
33.粉尘刮除组件4包括有电磁条41、往复刮板42、毛刷43和电磁块一44，开槽过滤箱24内两侧固定连接有两条电磁条41，往复刮板42呈均匀排列的方式滑动连接于开槽过滤箱24内，往复刮板42两侧均匀分布有毛刷43，毛刷43用于对过滤网框33上的粉尘进行刷拭，毛刷43与相邻的过滤网框33接触，往复刮板42上对称固接有电磁块一44，电磁块一44与位于下方同侧的电磁条41相互接触。
34.不停机清粉组件5包括有输送条51、梯形漏料框52、开孔球阀53、三通块54、调节齿轮55、矩形开槽架56、滑动齿条架57、电磁块二58、复位弹簧59、粗粉尘收集箱510和连接板511，开槽连接架23内底部呈均匀排列的方式连接有用于输送粉尘和一氧化碳中的颗粒物的输送条51，开槽连接架23内顶部呈均匀排列的方式连接有梯形漏料框52，梯形漏料框52用于对粉尘和一氧化碳中的颗粒物进行导向，梯形漏料框52与开槽过滤箱24相通，梯形漏料框52底部转动式连接有开孔球阀53，开孔球阀53与相邻输送条51转动式连接，开孔球阀53上转动式连接有三通块54，三通块54位于输送条51内，开孔球阀53上固接有调节齿轮55，开槽连接架23内对称固接有矩形开槽架56，两个矩形开槽架56上共同滑动式连接有滑动齿条架57，滑动齿条架57与调节齿轮55啮合，滑动齿条架57上固接有两个电磁块二58，矩形开槽架56上同样固接有电磁块二58，相邻两个电磁块二58相互接触，滑动齿条架57上固定连接有一对复位弹簧59，复位弹簧59一端与同侧矩形开槽架56固接，开槽连接架23上通过螺栓连接的方式连接有三对连接板511，开槽过滤箱24后侧同样通过螺栓连接的方式连接有一对连接板511，四对连接板511上共同通过螺栓连接的方式连接有两个粗粉尘收集箱510，粗粉尘收集箱510用于收集粉尘和一氧化碳中的颗粒物，粗粉尘收集箱510与输送条51相通。
35.进气框31与连续加料直拉单晶炉尾气口连接，排气框32与真空泵连接，连续加料直拉单晶炉在长晶过程中，应用连续直拉单晶技术，采用特殊直拉单晶炉，一边进行单晶拉制，一边加料熔化，炉内会产生粉尘和一氧化碳中的颗粒物，真空泵运作通过开槽过滤箱24将连续加料直拉单晶炉内部的空气抽出，连续加料直拉单晶炉产生的尾气会进入开槽过滤箱24内，过滤网框33对气体进行过滤，使得气体与粉尘和颗粒物分离，大量的粉尘和一氧化碳中的颗粒物被过滤网框33阻挡向下掉落，使得真空泵抽出的气体中基本不含粉尘和颗粒物。
36.工作人员控制电磁条41间歇性通电，下方的两条电磁条41通电使产生磁性与电磁块一44相互排斥，上方的两条电磁条41通电使产生磁性将电磁块一44吸附，使得电磁块一44及往复刮板42向上运动，当电磁条41断电时，往复刮板42及其上装置会向下运动，通过电磁条41间歇性通电产生磁性，使得往复刮板42及其上装置持续上下往复运动，毛刷43上下往复运动对过滤网框33上的粉尘进行刷拭，避免粉尘过多将过滤网框33网孔堵塞。
37.开槽过滤箱24底部的粉尘和一氧化碳中的颗粒物会通过梯形漏料框52及开孔球阀53滑落至输送条51内，开槽过滤箱24内的部分气体同样会通过梯形漏料框52及开孔球阀53进入输送条51内，使得气体将粉尘和一氧化碳中的颗粒物吹向其中一侧的粗粉尘收集箱510内。当此处粗粉尘收集箱510装满后，工作人员可控制四块电磁块二58通电，同侧两块电
磁块二58相互排斥，使得电磁块二58带动滑动齿条架57朝靠近进气框31方向运动，使得滑动齿条架57带动调节齿轮55及开孔球阀53转动，使得开孔球阀53内的粉尘和一氧化碳中的颗粒物会进入另一侧的粗粉尘收集箱510内，此时工作人员可通过拆卸螺栓将装满粉尘的粗粉尘收集箱510拆卸，工作人员对粗粉尘收集箱510内的粉尘进行清理，然后再将清理完毕的粗粉尘收集箱510安装。当另一侧的粗粉尘收集箱510装满后，工作人员控制两块电磁块二58断电，被压缩的复位弹簧59复位带动滑动齿条架57朝远离进气框31方向运动，滑动齿条架57会带动调节齿轮55及开孔球阀53反向转动复位，使得开孔球阀53转动改变粉尘和一氧化碳中的颗粒物的输送方向，便于工作人员在生长炉不停止工作的状态下对粉尘进行清理，并由于连续直拉单晶炉能够持续进行单晶拉制及加料熔化，保证设备一直处于持续运行状态。
38.实施例2在实施例1的基础之上，请参考图1至图2，还包括有透镜板6，粗粉尘收集箱510一侧设置有三块透镜板6，透镜板6能够便于工作人员观察粗粉尘收集箱510内部粉尘收集情况。
39.工作人员可以通过透镜板6观察粗粉尘收集箱510内部粉尘收集情况。
40.实施例3在实施例1的基础之上，请参考图2和图4，还包括有导电架7，开槽过滤箱24顶部呈均匀排列的方式连接有用于导电的导电架7，导电架7与过滤网框33通过电路连接。
41.导电架7与外部电线连接，外部电线为导电架7进行供电，导电架7将电流导入过滤网框33上，使得过滤网框33能够将粉尘吸附，使得气体与粉尘和颗粒物充分分离，随后毛刷43上下往复运动对过滤网框33上吸附的粉尘进行清理。
42.实施例4在实施例1的基础之上，请参考图10至图11，还包括有细粉尘过滤组件8，过滤筒22上设置有细粉尘过滤组件8，细粉尘过滤组件8用于对较小的粉尘进行过滤，细粉尘过滤组件8包括有连接导管81和过滤圆杆头82，排气框32上连通有连接导管81，连接导管81与过滤筒22连通，过滤圆杆头82转动式连接于过滤筒22内底部，过滤圆杆头82用于对气体进行进一步过滤，过滤圆杆头82下方与细粉尘收集箱1转动式连接。
43.过滤筒22下方可以与真空泵连接，真空泵会将开槽过滤箱24内的气体抽取至连接导管81内，连接导管81再将气体输送至过滤圆杆头82内，过滤圆杆头82对气体进行进一步过滤，使得气体中较小的粉尘会残留至过滤圆杆头82上。
44.实施例5在实施例1的基础之上，请参考图11，还包括有旋转组件9，过滤筒22内底面设置有旋转组件9，旋转组件9用于使过滤圆杆头82转动，旋转组件9包括有驱动电机91、旋转小齿轮92和旋转大齿轮93，过滤筒22内底面固定安装有用于驱动的驱动电机91，驱动电机91输出轴上固接有旋转小齿轮92，过滤圆杆头82下方固接有旋转大齿轮93，旋转小齿轮92与旋转大齿轮93啮合。
45.工作人员手动启动驱动电机91，驱动电机91输出轴带动旋转小齿轮92转动，旋转小齿轮92带动旋转大齿轮93及过滤圆杆头82转动，使得过滤圆杆头82上被过滤的粉尘会滑落至细粉尘收集箱1内，工作完毕后，工作人员手动关闭驱动电机91，使设备停止运作。
46.实施例6在实施例1的基础之上，请参考图11，还包括有刮粉组件10，过滤筒22内顶部固定安装有刮粉组件10，刮粉组件10用于将过滤圆杆头82内表面的粉尘刮除，刮粉组件10包括有固定三接架101和固定刷板102，过滤筒22内顶部固定安装有固定三接架101，固定三接架101上固定连接有三个固定刷板102，三个固定刷板102均与过滤圆杆头82接触，固定刷板102用于对过滤圆杆头82内表面残留的粉尘进行刷拭。
47.过滤圆杆头82转动时，固定刷板102能够对过滤圆杆头82内表面残留的粉尘进行刷拭，使得过滤圆杆头82上的粉尘充分滑落至细粉尘收集箱1内，避免过滤圆杆头82内表面残留的粉尘将其滤孔堵塞，随之被过滤的气体通过真空泵排出。
48.尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。