掩模组件及其制备方法与流程

1.本公开涉及显示技术领域，尤其涉及一种掩模组件及其制备方法。


背景技术：

2.掩模版(mask)常用于在显示基板上形成功能图案。为了避免掩模版与封装工艺中的工艺气体(例如清洗气体)发生反应，通常会对掩模版进行阳极氧化，以使掩模版的表面形成氧化膜。但是，在阳极氧化的过程中，一般利用夹持机构夹持掩模版位于周缘的夹持位置，造成夹持位置无法形成氧化膜，导致夹持位置容易与工艺气体发生反应而生锈或腐蚀，从而污染工艺环境。


技术实现要素：

3.本公开实施例提供一种掩模组件及其制备方法，以解决或缓解现有技术中的一项或更多项技术问题。
4.作为本公开实施例的一个方面，本公开实施例提供一种掩模组件，包括：
5.掩模版，掩模版的周缘设置有夹持槽；
6.夹盖，夹盖的形状与夹持槽的形状适配；
7.其中，掩模版位于夹持槽之外的表面以及夹盖的表面均设置有氧化膜。
8.在一种实施方式中，夹持槽包括顺次设置的第一槽体、第二槽体和第三槽体，第一槽体位于掩模版的第一表面且沿第一方向延伸，第二槽体位于掩模版的端面且沿掩模版的厚度方向延伸，第三槽体位于与掩模版的第二表面且沿第一方向延伸，第一表面和第二表面相对；
9.夹盖包括顺次连接的第一盖体、第二盖体和第三盖体，第一盖体用于封盖第一槽体，第二盖体用于封盖第二槽体，第三盖体用于封盖第三槽体。
10.在一种实施方式中，第一槽体的槽底设置有沿第一方向延伸的第一滑槽，第三槽体的槽底设置有沿第一方向延伸的第二滑槽；
11.夹盖包括与第一滑槽适配的第一滑条以及与第二滑槽适配的第二滑条，第一滑条位于第一盖体的朝向第三盖体的一侧且沿第一盖体的宽度方向延伸，第二滑条位于第三盖体的朝向第一盖体的一侧且沿第三盖体的宽度方向延伸。
12.在一种实施方式中，夹持槽的槽壁设置有沿槽壁的延伸方向延伸的止挡条；夹盖的侧壁设置有沿夹盖的周向延伸的止挡槽，止挡槽与止挡条适配。
13.在一种实施方式中，止挡条的位于第一槽体及第二槽体的部分均为楔形条，止挡槽的位于第一盖体及第三盖体的部分均为楔形槽。
14.在一种实施方式中，止挡条的背离夹持槽一侧的表面设置有氧化膜。
15.在一种实施方式中，夹持槽的深度范围为2mm-4mm，止挡条背离夹持槽一侧的表面的宽度范围为3mm-5mm。
16.在一种实施方式中，夹盖开设有通孔，掩模组件还包括穿设于通孔且连接至夹持
槽的螺钉，螺钉的表面设置有氧化膜。
17.作为本公开实施例的另一个方面，本公开实施例提供一种掩模组件的制备方法，包括：
18.在掩模版的周缘形成夹持槽；
19.制作与夹持槽的形状适配的夹盖；
20.分别在掩模版的位于夹持槽之外的表面以及夹盖的表面形成氧化膜。
21.在一种实施方式中，在掩模版的周缘形成夹持槽包括：在掩模版的第一表面形成沿第一方向延伸的第一槽体，在掩模版的端面形成沿掩模版的厚度方向延伸的第二槽体以及在掩模版的第二表面形成沿第一方向延伸的第三槽体，第一槽体、第二槽体和第三槽体顺次设置，第一表面与第二表面相对；
22.制作与夹持槽的形状适配的夹盖包括：形成顺次垂直连接的第一盖体、第二盖体和第三盖体，第一盖体用于封盖第一槽体，第二盖体用于封盖第二槽体，第三盖体用于封盖第三槽体。
23.在一种实施方式中，在掩模版的周缘形成夹持槽还包括：在第一槽体的槽底开设沿第一方向延伸的第一滑槽以及在第三槽体的槽底开设沿第一方向延伸的第二滑槽；
24.制作与夹持槽的形状适配的夹盖包括：在第一盖体的朝向第三盖体的一侧形成沿第一盖体的宽度方向延伸的第一滑条以及在第三盖体的朝向第一盖体的一侧形成沿第三盖体的宽度方向延伸的第二滑条，第一滑条与第一滑槽适配，第二滑条与第二滑槽适配。
25.在一种实施方式中，在掩模版的周缘形成夹持槽还包括：沿夹持槽的周向减薄夹持槽的槽壁，形成沿夹持槽周向延伸的止挡条；
26.制作与夹持槽的形状适配的夹盖包括：沿夹盖的周向减薄夹盖的侧壁，形成沿夹盖的周向延伸的止挡槽，止挡槽与止挡条适配。
27.在一种实施方式中，该制备方法还可以包括：
28.在止挡条的背离夹持槽的一侧的表面形成氧化膜。
29.在一种实施方式中，该制备方法还可以包括：
30.在夹盖上开设通孔；
31.将螺钉穿过通孔与夹持槽连接，并且在螺钉的表面预先设置氧化膜。
32.本公开实施例的上述技术方案，利用夹盖夹设于掩模版的夹持槽，可对夹持槽进行封盖，防止夹持槽的表面与工艺气体接触，避免夹持槽的表面与工艺气体发生反应而生锈或腐蚀，从而避免污染工艺环境。再者，由于夹盖与夹持槽的形状适配，因此在夹盖装配于夹持槽的情况下，可确保掩模组件与相关技术中的掩模版的整体外形一致，使掩模组件可适配工艺需求。
33.上述概述仅仅是为了说明书的目的，并不意图以任何方式进行限制。除上述描述的示意性的方面、实施方式和特征之外，通过参考附图和以下的详细描述，本公开进一步的方面、实施方式和特征将会是容易明白的。
附图说明
34.在附图中，除非另外规定，否则贯穿多个附图相同的附图标记表示相同或相似的部件或元素。这些附图不一定是按照比例绘制的。应该理解，这些附图仅描绘了根据本公开
公开的一些实施方式，而不应将其视为是对本公开范围的限制。
35.图1示出根据本公开实施例的掩模组件的俯视示意图。
36.图2示出图1中虚线框选中区域的局部示意图。
37.图3a示出图2的正视示意图。
38.图3b示出图3a中省去第二盖体的示意图。
39.图4示出图2的右视示意图。
40.图5示出沿图2中的a-a切割线的剖面示意图。
41.图6示出沿图2中的b-b切割线的剖面示意图。
42.图7示出沿图3a中的c-c切割线的剖面示意图。
具体实施方式
43.在下文中，仅简单地描述了某些示例性实施例。正如本领域技术人员可认识到的那样，在不脱离本公开的精神或范围的情况下，可通过各种不同方式修改所描述的实施例。因此，附图和描述被认为本质上是示例性的而非限制性的。
44.图1示出根据本公开实施例的掩模组件的俯视示意图。图2示出图1中虚线框选中区域的局部示意图。如图1和图2所示，该掩模组件100可以包括掩模版110和夹盖120，掩模版110的周缘设置有夹持槽110a，夹盖120的形状与夹持槽110a的形状适配。掩模版110位于夹持槽110a之外的表面以及夹盖120的表面均设置有氧化膜(图中未示出)。
45.示例性地，掩模版110和夹盖120的材质均可以是因瓦合金等膨胀系数低的金属。在夹盖120装配于夹持槽110a的情况下，夹盖120封盖夹持槽110a且夹盖120的周缘与夹持槽110a的周缘吻合，使得夹持槽110a不会暴露在工艺环境中，并且使得位于掩模版110的表面的氧化膜和位于夹盖120的表面的氧化膜可以完全覆盖掩模版110的表面，因而掩模组件100与工艺气体接触时不会发生反应。例如，在采用掩模组件100进行化学气相沉积(chemical vapor deposition，简称cvd)或对掩模组件100进行清洗时，由于氧化膜可以覆盖掩模版110的表面，则掩模组件100不与cvd工艺气体或清洗气体发生反应。
46.根据本公开实施例的掩模组件100，利用夹盖120夹设于掩模版110的夹持槽110a，可对夹持槽110a进行封盖，防止夹持槽110a的表面与工艺气体接触，避免夹持槽110a的表面与工艺气体发生反应而生锈或腐蚀，从而避免污染工艺环境。再者，由于夹盖120与夹持槽110a的形状适配，因此在夹盖120装配于夹持槽110a的情况下，可确保掩模组件100与相关技术中的掩模版110的整体外形一致，使掩模组件100可适配工艺需求。
47.需要说明的是，相关技术中，将掩模版置于工艺环境中时，因掩模版的夹持位置未形成氧化膜，导致掩模版的夹持位置易于与工艺气体发生反应而生锈或腐蚀，锈屑脱落则会对工艺环境造成污染。在采用相关技术的掩模版制备显示器件时，会降低产品良率；而且，脱落锈屑还容易使工艺设备击穿，损坏工艺设备。相较于相关技术，由于本公开实施例的掩模组件100不易生锈或腐蚀，因而采用本公开实施例的掩模组件100制备显示产品时，更有助于提高产品良率，并且还可以防止工艺设备击穿，避免损坏工艺设备。
48.可选地，夹持槽110a和夹盖120的数量相同且均可以为一个或多个。示例性地，夹持槽110a和夹盖120的数量均为多个，多个夹持槽110a分别位于掩模版110相对的两个边缘，以便对掩模版110进行稳定地夹持。例如，夹持槽110a的数量为4个，其中两个夹持槽
110a位于掩模版110的第一边缘，另外两个夹持槽110a位于掩模版110上与第一边缘相对的第二边缘，且其中两个夹持槽110a与另外两个夹持槽110a一一对应。可以理解的，第一边缘和第二边缘可以分别是掩模版110上相对设置的长边的边缘，也可以分别是掩模版110上相对设置的短边的边缘。
49.在一种实施方式中，如图1至图4所示，夹持槽110a包括顺次设置的第一槽体111、第二槽体112和第三槽体113，第一槽体111位于掩模版110的第一表面(图中未标记)且沿第一方向延伸，第二槽体112位于掩模版110的端面(图中未标记)且沿掩模版110的厚度方向延伸，第三槽体113位于掩模版110的第二表面(图中未标记)且沿第一方向延伸，第一表面和第二表面相对设置。
50.示例性地，第一槽体111与第三槽体113相对设置，第二槽体112位于第一槽体111与第二槽体112之间，且第二槽体112与第一槽体111和第三槽体113垂直。如此，可使夹持槽110a适于夹持机构夹持。可选地，第一槽体111、第二槽体112和第三槽体113还可以顺次连通。
51.可选地，第一方向可以是掩模版110的长度方向，也可以是掩模版110的宽度方向。例如，如图1所示，在夹持槽110a位于掩模版110上相对设置的短边的边缘的情况下，第一方向为掩模版110的长度方向。
52.如图1至图4所示，夹盖120可以包括顺次连接的第一盖体121、第二盖体122和第三盖体123，第一盖体121用于封盖第一槽体111，第二盖体122用于封盖第二槽体112，第三盖体123用于封盖第三槽体113。示例性地，第一盖体121和第三盖体123平行且相对设置，第二盖体122连接在第一盖体121与第三盖体123之间，且第二盖体122与第一盖体121和第三盖体123垂直。
53.上述实施方式，利用顺次设置的第一槽体111、第二槽体112和第三槽体113形成夹持槽110a，可使夹持槽110a的形状适于夹持机构夹持，并且利用顺次连接的第一盖体121、第二盖体122和第三盖体123形成夹盖120，使得夹盖120适于封盖夹持槽110a。
54.在一种实施方式中，请一并参考图1至图5，第一槽体111的槽底设置有沿第一方向延伸的第一滑槽111a，第三槽体113的槽底设置有沿第一方向延伸的第二滑槽113a。
55.示例性地，在夹持槽110a位于掩模版110上短边的边缘的情况下，第一滑槽111a和第二滑槽113a沿掩模版110的长度方向延伸，第一滑槽111a和第二滑槽113a可以相对设置，也可以交错设置。
56.可选地，第一滑槽111a和第二滑槽113a的数量可以是一个或多个。示例性地，如图3a所示，第一滑槽111a和第二滑槽113a的数量为两个，两个第一滑槽111a分别设置在第一槽体111的两侧，两个第二滑槽113a分别设置在第三槽体113的两侧，并且两个第一滑槽111a与两个第二滑槽113a一一对应。
57.夹盖120包括与第一滑槽111a适配的第一滑条121a以及与第二滑槽113a适配的第二滑条123a，第一滑条121a位于第一盖体121的朝向第三盖体123的一侧且沿第一盖体121的宽度方向延伸，第一盖体121的宽度方向为由第一盖体121与第二盖体122连接的边缘指向第一盖体121的远离第二盖体122的边缘的方向，第二滑条123a位于第三盖体123的朝向第一盖体121的一侧且沿第三盖体123的宽度方向延伸。相应的，第一滑条121a和第二滑条123a可以相对设置，也可以交错设置。
58.示例性地，第一滑槽111a和第二滑槽113a可以均为楔形槽，第一滑条121a和第二滑条123a可以均为楔形条。例如，第一滑槽111a、第二滑槽113a、第一滑条121a和第二滑条123a的剖面均呈三角形、倒梯形等楔形。
59.上述实施方式，通过将第一滑条121a装配于第一滑槽111a以及将第二滑条123a装配于第二滑槽113a，可使第一盖体121的内表面与第一槽体111的表面紧密贴合、第二盖体122的内表面与第二槽体112的表面紧密贴合以及第三盖体123的内表面与第三槽体113的内表面紧密贴合，确保夹盖120紧密封盖夹持槽110a，还可以防止夹盖120脱落。
60.在一种实施方式中，请一并参考图1至图5，夹持槽110a的槽壁(图中未标记)设置有沿槽壁的延伸方向延伸的止挡条114；夹盖120的侧壁(图中未标记)设置有沿夹盖120的周向延伸的止挡槽124，止挡槽124的形状与止挡条114的形状适配。在夹盖120装配于夹持槽110a的情况下，止挡条114插设于止挡槽124的内部，确保夹盖120的周缘与夹持槽110a的周缘紧密贴合，还可以防止夹盖120的周缘发生翘曲。
61.在一种实施方式中，止挡条114的位于第一槽体111及第三槽体113的部分均为楔形条，止挡槽124的位于第一盖体121及第三盖体123的部分均为楔形槽。示例性地，止挡条114的位于第一槽体111和第二槽体112的部分的截面以及止挡槽124的位于第一盖体121和第三盖体123的部分的截面可以均呈例如三角形、倒梯形等的楔形。在夹盖120装配于夹持槽110a的情况下，止挡条114楔入止挡槽124，可提高夹盖120周缘与夹持槽110a周缘贴合的紧密性，延长工艺气体浸入夹持槽110a的路径，降低工艺气体与夹持槽110a的表面接触的风险。
62.在一种实施方式中，如图5所示，止挡条114的背离夹持槽110a一侧的表面114a设置有氧化膜(图中未示出)。如此，在夹盖120装配于夹持槽110a的情况下，位于止挡条114背离夹持槽110a一侧的表面114a的氧化膜在掩模版110上的正投影与位于夹盖120表面的氧化膜在掩模版110上的正投影交叠，使得位于止挡条114背离夹持槽110a一侧的表面114a的氧化膜以及位于夹盖120表面的氧化膜交叉重叠，从而交叉覆盖夹持槽110a的周缘，降低了工艺气体与夹持槽110a的表面周缘接触的风险。
63.在一种实施方式中，如图5所示，夹持槽110a的深度范围为2mm-4mm。示例性地，夹持槽110a的深度d可以是介于2mm-4mm(包括端点值)之间的任一值，例如夹持槽110a的深度d为2mm、3mm和4mm中的任一值。
64.止挡条114背离夹持槽110a一侧的表面的宽度范围为3mm-5mm。示例性地，止挡条114背离夹持槽110a一侧的表面的宽度l可以是介于3mm-5mm(包括端点值)之间的任一值，例如止挡条114背离夹持槽110a一侧的表面的宽度l为3mm、4mm和5mm中的任一值。
65.在一种实施方式中，请一并参考图1至图7，夹盖120开设有通孔125，掩模组件100还包括穿设于通孔125且连接至夹持槽110a的螺钉130，螺钉130的表面设置有氧化膜(图中未示出)。通过采用螺钉130将夹盖120固定于夹持槽110a，提高了夹盖120装配于夹持槽110a的牢固性；并且，由于螺钉130的表面设置有氧化膜，确保了螺钉130位于工艺环境中时不会与工艺气体发生反应。
66.请一并参考图1至图7，本公开实施例还提供一种掩模组件100的制备方法，该制备方法可以包括：
67.步骤s810、在掩模版110的周缘形成夹持槽110a。示例性地，对掩模版110的周缘进
行减薄处理，形成夹持槽110a，减薄处理可以采用例如蚀刻、研磨等本领域常用的减薄工艺。
68.步骤s820、制作与夹持槽110a的形状适配的夹盖120。例如采用铸造等成型工艺形成夹盖120。
69.步骤s830、分别在掩模版110位于夹持槽110a之外的表面以及夹盖120的表面形成氧化膜。示例性地，步骤s830可以包括：采用夹持机构夹持掩模版110的夹持槽110a；对掩模版110进行阳极氧化，在掩模版110位于夹持槽110a之外的表面形成氧化膜。可以理解的是，还可以对夹盖120进行阳极氧化，在夹盖120的表面形成氧化膜。
70.上述方案，通过在掩模版110的周缘形成夹持槽110a，制作与夹持槽110a的形状适配的夹盖120，并分别在掩模版110位于夹持槽110a之外的表面以及夹盖120的表面形成氧化膜，使得在夹盖120装配于夹持槽110a的情况下，可对夹持槽110a进行封盖，防止夹持槽110a的表面与工艺气体接触，避免夹持槽110a的表面与工艺气体发生反应而生锈或腐蚀，从而避免污染工艺环境。再者，由于夹盖120与夹持槽110a的形状适配，因此在夹盖120装配于夹持槽110a的情况下，可确保掩模组件100与相关技术中的掩模版110的整体外形一致，使掩模组件100可适配工艺需求。需要说明的是，掩模版110和夹盖120的材质以及夹盖120装配于夹持槽110a的所带来的其他有益效果可参考前文的实施例，在此不赘述。
71.在一种实施方式中，步骤s810可以包括：在掩模版110的第一表面形成沿第一方向延伸的第一槽体111，在掩模版110的端面形成沿掩模版110的厚度方向延伸的第二槽体112以及在掩模版110的第二表面形成沿第一方向延伸的第三槽体113，第一槽体111、第二槽体112和第三槽体113顺次设置，第一表面与第二表面相对。
72.示例性地，分别对掩模版110的第一表面、端面和第二表面进行减薄处理，形成第一槽体111、第二槽体112和第三槽体113，其中，第一槽体111与第三槽体113可以相对设置或交错设置，第二槽体112垂直设置在第一槽体111与第三槽体113之间，第一槽体111、第二槽体112和第三槽体113可顺次连通或不连通。可选地，对掩模版110的第一表面、端面和第二表面的减薄处理顺序可以根据实际需要进行选择，本公开实施例对此不作限制。
73.示例性地，对掩模版110的第一表面、端面和第二表面进行减薄的减薄厚度范围为2mm-4mm(包括端点值)。如此，可形成深度范围为2mm-4mm的夹持槽110a。
74.需要说明的是，夹持槽110a的设置位置以及第一方向的延伸方向可参考前文的实施例，在此不赘述。
75.步骤s820可以包括：形成顺次连接的第一盖体121、第二盖体122和第三盖体123，第一盖体121用于封盖第一槽体111，第二盖体122用于封盖第二槽体112，第三盖体123用于封盖第三槽体113。
76.在一种实施方式中，步骤s810还可以包括：在第一槽体111的槽底开设沿第一方向延伸的第一滑槽111a以及在第三槽体113的槽底开设沿第一方向延伸的第二滑槽113a。示例性地，第一槽体111和第二槽体112可采用本领域常用的挖槽工艺形成。
77.步骤s820还可以包括：在第一盖体121的朝向第三盖体123的一侧形成沿第一盖体121的宽度方向延伸的第一滑条121a以及在第三盖体123的朝向第一盖体121的一侧形成沿第三盖体123的宽度方向延伸的第二滑条123a，第一滑条121a与第一滑槽111a适配，第二滑条123a与第二滑槽113a适配。示例性地，第一滑条121a和第二滑条123a可以采用本领域常
用的成型工艺与夹盖120同时形成，可简化夹盖120的制备工艺。
78.在一种实施方式中，步骤s810还可以包括：沿夹持槽110a的周向减薄夹持槽110a的槽壁，形成沿夹持槽110a周向延伸的止挡条114。其中，夹持槽110a的槽壁的减薄厚度小于掩模版110的第一表面、端面和第二表面的减薄厚度。
79.示例性地，在沿夹持槽110a的周向减薄夹持槽110a的槽壁时，减薄区域沿夹持槽110a的周向向外延伸，其延伸的宽度范围为3mm-5mm(包括端点值)，如此可使形成止挡条114的背离夹持槽110a的表面114a。
80.步骤s820还可以包括：沿夹盖120的周向减薄夹盖120的侧壁，形成沿夹盖120的周向延伸的止挡槽124，止挡槽124与止挡条114适配。
81.在一种实施方式中，制备方法还可以包括：在止挡条114的背离夹持槽110a的一侧的表面114a形成氧化膜。示例性地，可对止挡条114的背离夹持槽110a的一侧的表面114a进行阳极氧化，形成氧化膜。其中，止挡条114的背离夹持槽110a的一侧的表面114a和掩模版110的位于夹持槽110a之外的表面可同时进行阳极氧化，从而同时形成氧化膜，便于简化制备工艺。
82.在一种实施方式中，制备方法还可以包括：在夹盖120上开设通孔125；将螺钉130穿过通孔125与夹持槽110a连接，并且在螺钉130的表面预先设置氧化膜。示例性地，螺钉130的表面预先设置氧化膜也可采用阳极氧化方式形成。通过将螺钉130穿过夹盖120上的通孔125与夹持槽110a连接，可使夹盖120固定于夹持槽110a，提高夹盖120装配于夹持槽110a的牢固性。
83.上述实施例的掩模组件100的其他构成可以采用于本领域普通技术人员现在和未来知悉的各种技术方案，这里不再详细描述。
84.在本说明书的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本公开和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本公开的限制。
85.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者多个该特征。在本公开的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
86.在本公开中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接，还可以是通信；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本公开中的具体含义。
87.在本公开中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在
第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
88.上文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本公开的不同结构。为了简化本公开的公开，上文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本公开。此外，本公开可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。
89.以上所述，仅为本公开的具体实施方式，但本公开的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本公开揭露的技术范围内，可轻易想到其各种变化或替换，这些都应涵盖在本公开的保护范围之内。因此，本公开的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。