一种悬浮式太阳能电池链式烘干槽的制作方法

1.本实用新型属于烘干槽技术领域，更具体地说，涉及一种悬浮式太阳能电池链式烘干槽。


背景技术：

2.目前，太阳能电池片制造过程中，需要将硅片背面进行化学抛光处理，背面抛光根据抛光机结构不同又分为链式抛光和槽式抛光。槽式抛光是用工装夹具承载硅片，在烘干槽内完成表面脱水并烘干，硅片接触点位为工装夹具卡齿，典型代表为槽式碱抛刻蚀工艺。链式抛光与槽式抛光不同，是用转动滚轮支撑并带动硅片在各槽体间传动，并在烘干槽内完成表面脱水并烘干，硅片接触点位为滚轮接触面，一般上滚轮为台阶滚轮，下滚轮为平滚轮或台阶滚轮，典型代表为酸抛刻蚀工艺和链式碱抛刻蚀工艺。因为滚轮随着使用时间增加，脏污累积越来越多，脏污脱落粘附在硅片上造成污染，直至脏污被硅片逐渐带走才能恢复正常，严重影响产线良率。产线异常排查难度大，排查周期长，且日常生产中难以控制，产能影响大。因此，急需设计一款悬浮式太阳能电池链式烘干槽，能够有效解决当前链式烘干槽滚轮支撑结构带来的滚轮印不良问题，提高了产品良率。
3.经检索，关于太阳能电池链式烘干槽的结构已有部分专利公开，如中国专利申请号为：2017110885325，公开了一种硅片烘干炉，炉体具有硅片输送烘干空间，并在该硅片输送烘干空间的上下侧分别设有上加热装置和下加热装置；在硅片输送烘干空间内设有实现硅片侧立输送的输送装置，上加热装置和下加热装置沿着硅片输送烘干空间的长度方向分区设置，上加热装置具有向下辐射热量的上加热体及上风箱，下加热装置具有向上辐射热量的下加热体及下风箱；炉体上还设有排气装置。硅片侧立输送，上加热体和下加热体同时对硅片的正面与背面加热烘干，缩短工艺时间；上风箱和下风箱促进烘干温度均匀化，节能、环保，无温差死角，满足hit太阳能光伏电池硅片生产，且节约生产空间，提高生产效率同时满足生产品质要求。


技术实现要素：

4.1、实用新型要解决的技术问题
5.本实用新型拟提供一种悬浮式太阳能电池链式烘干槽，能够有效解决当前链式烘干槽滚轮支撑结构带来的滚轮印不良问题，避免烘干槽滚轮与硅片直接接触，从而杜绝了滚轮脏污对硅片的污染，降低了异常处理难度，缩短了异常排查时间，提高了产品良率。
6.2、技术方案
7.为解决上述问题，本实用新型采用如下的技术方案。
8.本实用新型的一种悬浮式太阳能电池链式烘干槽，包括对称设置在烘干槽内部上下两端的悬浮上风刀组和悬浮下风刀组，所述悬浮上风刀组和悬浮下风刀组分别包括沿烘干槽的长度方向均匀间隔设置的多个悬浮上风刀和悬浮下风刀，所述悬浮上风刀和悬浮下风刀之间的区域用于传达硅片，且悬浮下风刀的风压等于悬浮上风刀的风压与硅片的自身
重力之和；还包括设置在烘干槽内部上端的拨片机构，拨片机构包括沿烘干槽长度方向延伸的传送带，传送带的底部沿长度方向均匀间隔设置有多个用于推动硅片前行的拨片顶齿。
9.作为本实用新型更进一步的改进，传送带的下方设置有应急滚轮组，所述应急滚轮组包括均匀间隔设置在传送带中心位置下方的多个应急滚轮。
10.作为本实用新型更进一步的改进，应急滚轮组的两端均对称设有转向滚轮组，所述转向滚轮组包括沿长度方向均匀间隔设置的多个转向滚轮，多个转向滚轮的直径尺寸沿靠近应急滚轮组的方向逐渐缩小，且所述应急滚轮的直径尺寸小于转向滚轮组中最内侧的转向滚轮的直径尺寸。
11.作为本实用新型更进一步的改进，所述传送带的两端分别延伸至两侧的转向滚轮组最外侧的转向滚轮处。
12.作为本实用新型更进一步的改进，烘干槽内部靠近进口的端部设有一对上下对称设置的导向滚轮组，导向滚轮组位于进口转向滚轮组的外侧。
13.作为本实用新型更进一步的改进，烘干槽的进口的上下两端对称设有进口上滚轮组和进口下滚轮组，烘干槽的出口下端设有出口下滚轮组，其中进口上滚轮、进口下滚轮以及进口下滚轮的直径尺寸相同，均大于转向滚轮组中最外侧的转向滚轮的直径尺寸。
14.作为本实用新型更进一步的改进，悬浮上风刀组和悬浮下风刀组中两外侧的悬浮上风刀和悬浮下风刀分别位于传送带的长度方向两外侧。
15.作为本实用新型更进一步的改进，拨片机构包括对称设置于传送带长度方向两侧的导向辊轮，导向辊轮由电机驱动进行周向转动。
16.3、有益效果
17.相比于现有技术，本实用新型的有益效果为：
18.(1)本实用新型的一种悬浮式太阳能电池链式烘干槽，硅片在悬浮上风刀和悬浮下风刀的作用下处于悬浮平衡状态，并同步进行烘干处理，硅片不再需要滚轮进行支撑传动，而是通过风刀的作用对其进行支撑，并通过拨片机构进行传送前行，避免了硅片与滚轮直接接触，造成滚轮表面受潮变得脏污，进而对硅片造成影响，降低硅片污染风险，降低异常排查难度，提高良率和产能。
19.(2)本实用新型的一种悬浮式太阳能电池链式烘干槽，在整个烘干过程中，滚轮与硅片无接触。正常生产中，硅片处于悬浮状态，异常状态下，硅片通过转向滚轮组传出，无堵片风险。
20.(3)本实用新型的一种悬浮式太阳能电池链式烘干槽，传送带的下方设置有应急滚轮组，所述应急滚轮组包括均匀间隔设置在传送带中心位置下方的多个应急滚轮，应急滚轮位于硅片的下方，用于在异常状态下对硅片进行支撑，避免硅片掉落，造成堵片事件。
21.(4)本实用新型的一种悬浮式太阳能电池链式烘干槽，在应急滚轮组的两端均对称设置一组不同直径尺寸的转向滚轮，使得硅片的转向过渡更自然，减少碎片风险。
22.(5)本实用新型的一种悬浮式太阳能电池链式烘干槽，应急滚轮组和两端转向滚轮组设置目的是应急用，正常情况下，硅片在悬浮上风刀和悬浮下风刀的作用下达到了一个动态平衡，并在在拨片机构的推力下，拨动硅片向出口处运动。当风刀异常时，会导致上下风刀的风力变化，硅片的受力发生变化。当硅片只受向上作用力时，拨片机构可以阻止硅
片持续向上，同时在拨片机构的推力作用下，向出口处运动；当硅片只受向下作用力时，硅片的下方则需要有硬件设备对硅片进行支撑，防止硅片持续向下，避免硅片掉落造成堵片等情况。
附图说明
23.图1为现有技术中太阳能电池链式烘干槽的结构示意图；
24.图2为本实用新型的一种悬浮式太阳能电池链式烘干槽正常工作状态下的结构示意图；
25.图3为本实用新型的一种悬浮式太阳能电池链式烘干槽应急状态下的结构示意图。
26.图中的标号为：
27.1、烘干槽；11、上滚轮组；12、下滚轮组；13、烘干上风刀；14、烘干下风刀；21、进口上滚轮组；22、进口下滚轮组；23、导向滚轮组；24、转向滚轮组；25、应急滚轮组；26、悬浮上风刀；27、悬浮下风刀；28、出口下滚轮组；3、硅片；4、拨片机构；41、传送带；42、导向辊轮；43、拨片顶齿。
具体实施方式
28.为进一步了解本实用新型的内容，结合附图对本实用新型作详细描述。
29.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
30.下面结合实施例对本实用新型作进一步的描述。
31.实施例1
32.现有链式烘干槽1结构，如图1所示，硅片3在烘干槽1进口处转动的上滚轮组11和下滚轮组12的驱动下，进入烘干槽1内部进行烘干处理，硅片3在烘干槽1内的烘干上风刀13和烘干下风刀14的同时作用下进行烘干处理。其中烘干槽1内的上下两端对称设置有上滚轮组11和下滚轮组12，上滚轮组11和下滚轮组12包括沿烘干槽1长度方向均匀间隔设置的多个上滚轮和下滚轮，硅片3在滚动的上滚轮组和下滚轮组的驱动下沿烘干槽1的长度方向前行。由于硅片叠片带液或隐裂，有化学品残留，会在前行的时候造成上滚轮组11和下滚轮组12受潮脏污，而滚轮上累积的脏污将脱落污染硅片3。
33.为了克服现有技术中硅片3与烘干槽1内的驱动滚轮接触容易形成脏污的问题，本实施例提供一种悬浮式太阳能电池链式烘干槽，在整个烘干过程中，滚轮与硅片3无接触。正常生产中，硅片3处于悬浮状态，异常状态下，硅片3通过转向滚轮组24传出，无堵片风险。具体地，如图2和图3所示，本实施例中包括对称设置在烘干槽1内部上下两端的悬浮上风刀组和悬浮下风刀组，所述悬浮上风刀组和悬浮下风刀组分别包括沿烘干槽1的长度方向均匀间隔设置的多个悬浮上风刀26和悬浮下风刀27，所述悬浮上风刀26和悬浮下风刀27之间的区域用于传达硅片3。其中悬浮下风刀27的风压等于悬浮上风刀26的风压与硅片3的自身
重力之和，即依靠悬浮下风刀27给硅片3提供一个向上的推力a，硅片3自身的重力b，悬浮上风刀26给硅片3提供一个向下的推力c，最终使得硅片3上下平衡，满足推力a＝重力b 推力c，此时硅片3在悬浮上风刀26和悬浮下风刀27的作用下处于悬浮平衡状态，并同步进行烘干处理，硅片3不再需要滚轮进行支撑传动，而是通过风刀的作用对其进行支撑，并通过拨片机构4进行传送前行，避免了硅片3与滚轮直接接触，造成滚轮表面受潮变得脏污，进而对硅片3造成影响，降低硅片3污染风险，降低异常排查难度，提高良率和产能。
34.本实施例中还包括设置在烘干槽1内部上端的拨片机构4，拨片机构4包括沿烘干槽1长度方向延伸的传送带41，传送带41的底部沿长度方向均匀间隔设置有多个用于推动硅片3前行的拨片顶齿43。拨片机构4还包括对称设置于传送带41长度方向两侧的导向辊轮42，导向辊轮42由电机驱动进行周向转动，进而带动传动带41以及下方的拨片顶齿43进行左右移动。本实施例中拨片顶齿43用于给悬浮在悬浮上风刀26和悬浮下风刀27之间的硅片3提供前行的推力，拨片顶齿43在传送带41的带动下由进口向出口运动，进而拨动硅片3平稳地向前运动。硅片3在悬浮上风刀26和悬浮下风刀27的风压调整下处于悬浮平衡状态，同时在拨片顶齿43的拨动下向出口运动，使得硅片3在烘干槽1内处于悬浮状态，同时将硅片3正、反面的水分烘干，有效避免因滚轮带来的诸多不良，同时结构简单，维护方便，提高产能的同时又提高良率，达到改善的目的。
35.本实施例中传送带41的下方设置有应急滚轮组25，所述应急滚轮组25包括均匀间隔设置在传送带41中心位置下方的多个应急滚轮，应急滚轮位于硅片3的下方，用于在异常状态下对硅片3进行支撑，避免硅片3掉落，造成堵片事件。其中应急滚轮组25的两端均对称设有转向滚轮组24，所述转向滚轮组24包括沿长度方向均匀间隔设置的多个转向滚轮，多个转向滚轮的直径尺寸沿靠近应急滚轮组25的方向逐渐缩小，且所述应急滚轮的直径尺寸小于转向滚轮组24中最内侧的转向滚轮的直径尺寸。在应急滚轮组25的两端均对称设置一组不同直径尺寸的转向滚轮，使得硅片3的转向过渡更自然，减少碎片风险。应急滚轮组25和两端转向滚轮组24设置目的是应急用，正常情况下，硅片3在悬浮上风刀26和悬浮下风刀27的作用下达到了一个动态平衡，并在在拨片机构4的推力下，拨动硅片3向出口处运动。当风刀异常时，会导致上下风刀的风力变化，硅片3的受力发生变化。当硅片3只受向上作用力时，拨片机构4可以阻止硅片3持续向上，同时在拨片机构4的推力作用下，向出口处运动；当硅片3只受向下作用力时，硅片3的下方则需要有硬件设备对硅片3进行支撑(具体如图3所示)，防止硅片3持续向下，避免硅片3掉落造成堵片等情况。
36.本实施例中传送带41的两端分别延伸至两侧的转向滚轮组24最外侧的转向滚轮处，即硅片3的悬浮烘干区域位于传送带41的下方区域。本实施例中烘干槽1内部靠近进口的端部设有一对上下对称设置的导向滚轮组23，导向滚轮组23位于进口转向滚轮组24的外侧，导向滚轮组23用于将进口处的硅片3顺利导入烘干槽1内。其中烘干槽1的进口的上下两端对称设有进口上滚轮组21和进口下滚轮组22，烘干槽1的出口下端设有出口下滚轮组28，其中进口上滚轮、进口下滚轮以及进口下滚轮的直径尺寸相同，均大于转向滚轮组24中最外侧的转向滚轮的直径尺寸。其中悬浮上风刀组和悬浮下风刀组中两外侧的悬浮上风刀26和悬浮下风刀27分别位于传送带41的长度方向两外侧。
37.本实用新型所述实例仅仅是对本实用新型的优选实施方式进行描述，并非对本实用新型构思和范围进行限定，在不脱离本实用新型设计思想的前提下，本领域工程技术人
员对本实用新型的技术方案作出的各种变形和改进，均应落入本实用新型的保护范围。