一种量产型立式CVD上下片集成自动化生产线的制作方法

一种量产型立式cvd上下片集成自动化生产线
技术领域
1.本发明涉及硅片技术领域，尤其是一种量产型立式cvd上下片集成自动化生产线。


背景技术：

2.单晶硅异质结太阳电池片转换效率高，被光伏行业公认为下一代大规模产业化关键技术之一。生产异质结硅片的镀非晶硅薄膜cvd设备核心设备之一为立式hwcvd(热丝化学气相沉积)设备。现有硅片生产工序大多是采用人机半自动化加工或全人工生产的方式，这种生产方式产线布局杂乱，产品物流线路复杂而不够精简，效率低，存在不足。


技术实现要素：

3.本发明的目的是为了解决上述技术问题，而提供一种量产型立式cvd上下片集成自动化生产线。
4.本发明的技术方案：一种量产型立式cvd上下片集成自动化生产线，包括：
5.硅片自动化上料区、小载板自动化上料输送回转区、大载板自动化上料区、大载板自动化上料回转区、大载板自动化下料区、大载板自动化下料回转区、小载板自动化下料输送回转区和硅片自动化下料区，所述小载板自动化上料输送回转区和所述小载板自动化下料输送回转区并排设置，所述硅片自动化上料区、大载板自动化上料区和大载板自动化输送回转区设置在所述小载板自动化上料输送回转区一侧，所述大载板自动化下料区、大载板自动化下料回转区和硅片自动化下料区设置在所述小载板自动化下料输送回转区一侧。
6.优选的，所述硅片自动化上料区设置有花篮上料输送机、放片机、硅片上料输送机、硅片上料抓手和硅片上料机器人，所述放片机设置在所述花篮上料输送机一侧，所述硅片上料输送机设置在所述放片机一侧，所述硅片上料抓手设置在所述硅片上料机器人上，所述硅片上料输送机设置在所述硅片上料机器人一侧。
7.优选的，所述小载板自动化上料输送回转区设置有若干个上料小载板、若干个小载板上料输送机和两个小载板上料升降机，所述若干个上料小载板放置在所述小载板上料输送机上，所述小载板上料升降机与所述小载板上料输送机对接。
8.优选的，所述大载板自动化上料区设置有大载板上料抓手、大载板上料机器人和若干个中转台，所述大载板上料抓手设置在所述大载板上料机器人上，若干个所述中转台设置在所述小载板自动化上料输送回转区和小载板自动化下料输送回转区之间。
9.优选的，所述大载板自动化上料回转区设置有若干个上料大载板、两个上料输送架、i/n侧上料输送回转台和i/n侧下料输送回转台，若干个所述上料大载板设置在所述上料输送架上，所述上料输送架与所述i/n侧上料输送回转台和i/n侧下料输送回转台对接。
10.优选的，所述大载板自动化下料区设置有大载板下料抓手和大载板下料机器人，所述大载板下料抓手设置在所述大载板下料机器人上。
11.优选的，所述大载板自动化下料回转区设置有若干个下料大载板、两个下料输送架、i/p侧上料输送回转台和i/p侧下料输送回转台，若干个所述下料大载板设置在所述下
料输送架上，所述下料输送架对接所述i/p侧上料输送回转台和所述i/p侧下料输送回转台。
12.优选的，所述小载板自动化下料输送回转区设置有若干个下料小载板、若干个小载板下料输送机和两个小载板下料升降机，所述下料小载板设置在所述小载板下料输送机上，所述小载板下料升降机与所述小载板下料输送机对接。
13.优选的，所述硅片自动化下料区设置有硅片下料机器人、硅片下料抓手、硅片下料输送机、插片机和花篮下料输送机，所述硅片下料抓手设置在所述硅片下料机器人上，所述硅片下料机器人设置在所述硅片下料输送机一侧，所述插片机设置在所述硅片下料输送机一侧，所述花篮下料输送机设置在所述插片机一侧。
14.本发明的有益效果是：本发明中，通过将生产线划分不同的区域，使杂乱的生产现场规划的整洁美观，且可以节约生产线占用的空间；通过自动化装置的组合，需要增加产能只需添加设备既可，且能适配各种大小的载板和产能需求，无疑大幅提高了生产效率，且降低了劳动强度，减少了人工的投入；整个生产线布局合理，每个区域既独立又相互对接，性能高，故障率低，且可以大大降低维护时间和维护难度，经济实惠性能高。
附图说明
15.图1是本发明布局示意图；
16.图2是本发明优选实施例中小载板上料输送机立体图；
17.图3是图2中x处局部放大图；
18.图4是本发明优选实施例中输送机构俯视图；
19.图5是图4中y处局部放大图；
20.图6是本发明优选实施例中小载板上料升降机立体图；
21.图7是本发明优选实施例中升降输送机构部分结构主视图；
22.图8是本发明优选实施例中升降输送机构部分结构俯视图。
23.图9是本发明优选实施例中小载板示意图。
24.附图标记：硅片自动化上料区a、花篮上料输送机1、放片机2、硅片上料输送机3、硅片上料抓手4、硅片上料机器人5、小载板自动化上料输送回转区b、上料小载板6、小载板上料输送机7、第一型材架701、第一驱动装置702、第一传送带703、第一滚筒704、第一挡板705、小载板上料升降机8、第二型材架81、第二驱动装置82、第二传送带83、第二滚筒84、第三驱动装置85、第二挡板86、支撑架87、大载板自动化上料区c、大载板上料抓手9、大载板上料机器人10、中转台11、大载板自动化上料回转区d、上料大载板12、料输送架3、i/n侧上料输送回转台14、i/n侧下料输送回转台15、大载板自动化下料区e、大载板下料抓手16、大载板下料机器人17、大载板自动化下料回转区f、下料大载板18、下料输送架19、i/p侧上料输送回转台20、i/p侧下料输送回转台21、小载板自动化下料输送回转区g、下料小载板22、小载板下料输送机23、小载板下料升降机24、硅片自动化下料区h、硅片下料机器人25、硅片下料抓手26、硅片下料输送机27、插片机28、花篮下料输送机29。
具体实施方式
25.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完
整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
26.参照图1至图9，一种量产型立式cvd上下片集成自动化生产线，包括：
27.硅片自动化上料区a、小载板自动化上料输送回转区b、大载板自动化上料区c、大载板自动化上料回转区d、大载板自动化下料区e、大载板自动化下料回转区f、小载板自动化下料输送回转区g和硅片自动化下料区h，小载板自动化上料输送回转区b和小载板自动化下料输送回转区g并排设置，硅片自动化上料区a、大载板自动化上料区c和大载板自动化输送回转区d设置在小载板自动化上料输送回转区b一侧，大载板自动化下料区e、大载板自动化下料回转区f和硅片自动化下料区h设置在小载板自动化下料输送回转区g一侧。
28.作为本发明的优选实施例，其还可具有以下附加技术特征：
29.本实施例中，硅片自动化上料区a设置有花篮上料输送机1、放片机2、硅片上料输送机3、硅片上料抓手4和硅片上料机器人5，放片机2设置在花篮上料输送机1一侧，硅片上料输送机3设置在放片机2一侧，硅片上料抓手4设置在硅片上料机器人5上，硅片上料输送机3设置在硅片上料机器人5一侧，上道工序的agv小车运输花篮到花篮上料输送机1上面，花篮上料输送机1输送花篮到放片机2上，放片机2放硅片到硅片上料输送机3上，硅片上料输送机3把硅片传输到硅片上料抓手4抓取位处，硅片上料机器人5带动硅片上料抓手4通过抓取运送硅片到上料小载板6上面。
30.本实施例中，小载板自动化上料输送回转区b设置有若干个上料小载板6、若干个小载板上料输送机7和两个小载板上料升降机8，若干个上料小载板6放置在小载板上料输送机7上，小载板上料升降机8与小载板上料输送机7对接，上料小载板6通过小载板上料输送机7运输到大载板上料抓手9抓取位处，硅片抓完后上料小载板6通过若干个小载板上料输送机7和两个上料升降输送机8输送回传到硅片上料抓手4取放位处，小载板上料输送机7用于输送上料小载板6且能同时将上下的载板沿不同方向输送，小载板上料输送机7包括第一型材架701和两个第一传送结构，两个第一传送机构上下设置在第一型材架701上，传送机构包括第一驱动装置702、若干个第一传送带703、若干个第一滚筒704和两个第一挡板705，第一驱动装置702和两个第一挡板705设置在第一型材架701上，第一滚筒704可转动地设置在第一型材架701上，第一传送带703连接两个第一滚筒704或连接第一滚筒704与第一驱动装置702。具体的，第一驱动装置702为伺服电机，第一驱动装置702工作带动第一传送带703，第一传送带703带动第一滚筒704转动，进而带动载板移动，第一挡板705的作用防止载板从第一滚筒704上脱落；小载板上料升降机8用于承接小载板上料输送机7输送过来的上料小载板6，并使上料小载板6沿反方向输送到小载板上料输送机7上，小载板上料升降机8包括第二型材架81、第二驱动装置82和第二传送机构，第二驱动装置82用于驱动第二传送机构在第二型材架81上运动，第二传送机构包括若干个第二传送带83、若干个第二滚筒84、第三驱动装置85、两个第二挡板86和支撑架87，第三驱动装置85和两个第二挡板86设置在支撑架87上，第二滚筒84可转动地设置在支撑架87上，第二传送带83连接两个第二滚筒84或连接第二滚筒84与第三驱动装置85。具体的，第二驱动装置82包括气缸821、连接板822和若干个导轨823，导轨823设置在第二型材架81上，连接板822连接支撑架87和气缸821，支撑架87侧边的突出部与导轨823滑动连接，气缸821工作带动连接板822上下运动，进而带动支
撑架87上下运动，使载板由上向下运动或由下向上运动，输送到第一滚筒704上，第三驱动装置85为私服电机，第三驱动装置85工作带动第二传送带83转动，进而带动第二滚筒84转动；上料小载板6和下料小载板22结构相同，
31.本实施例中，大载板自动化上料区c设置有大载板上料抓手9、大载板上料机器人10和若干个中转台11，大载板上料抓手9设置在大载板上料机器人10上，若干个中转台11设置在小载板自动化上料输送回转区b和小载板自动化下料输送回转区g之间，大载板上料机器人10带动大载板上料抓手9从上料小载板6抓取硅片到上料大载板12上面(第一次上料)或者大载板上料机器人10带动大载板上料抓手9从上料大载板12抓取硅片到中转台11，然后大载板上料机器人10带动大载板上料抓手9从上料小载板6抓取硅片到上料大载板12上面(第二次上料)。
32.本实施例中，大载板自动化上料回转区d设置有若干个上料大载板12、两个上料输送架13、i/n侧上料输送回转台14和i/n侧下料输送回转台15，若干个上料大载板12设置在上料输送架13上，上料输送架13与i/n侧上料输送回转台14和i/n侧下料输送回转台15对接，一个上料输送架13传输上料大载板12到i/n侧上料回转台14上，i/n侧上料回转台14调整上料大载板12的转向并将其输送到另一个上料输送架13上，该上料输送架13将上料大载板12输送到i/n侧下料输送回转台15上，i/n侧下料输送回转台15调整上料大载板12的转向并将其输送到第一个上料输送架13上，使上料大载板12回初始位。
33.本实施例中，大载板自动化下料区e设置有大载板下料抓手16和大载板下料机器人17，大载板下料抓手16设置在大载板下料机器人17上，大载板下料机器人17带动大载板下料抓手16从中转台11抓取硅片放到下料大载板18上面(第一次上料)或者大载板下料机器人17带动大载板下料抓手16从下料大载板18抓取硅片到下料小载板22上面，然后大载板下料机器人17带动大载板下料抓手16从中转台11抓取硅片放到下料大载板18上面(第二次上料)。
34.本实施例中，大载板自动化下料回转区f设置有若干个下料大载板18、两个下料输送架19、i/p侧上料输送回转台20和i/p侧下料输送回转台21，若干个下料大载板18设置在下料输送架19上，下料输送架19对接i/p侧上料输送回转台20和i/p侧下料输送回转台21，一个下料输送架19传输下料大载板18到i/p侧上料输送回转台20上，i/p侧上料输送回转台20调整下料大载板18的转向并将其输送到另一个下料输送架19上，该下料输送架9将下料大载板18输送到i/p侧下料输送回转台21上，i/p侧下料输送回转台21调整下料大载板18的转向并将其输送到第一个下料输送架19上，使下料大载板18回初始位。具体的，下料大载板18与上料大载板12上均设置有放置硅片的放置槽。
35.本实施例中，小载板自动化下料输送回转区g设置有若干个下料小载板22、若干个小载板下料输送机23和两个小载板下料升降机24，下料小载板22设置在小载板下料输送机23上，小载板下料升降机24与小载板下料输送机23对接，下料小载板22通过下料小载板输送机23输送到硅片下料抓取位处，抓完后下料小载板22通过若干个下料小载板输送机23和两个小载板下料升降机24回传到大载板下料抓手16取放位处。具体的，下料小载板22与上料小载板6结构相同；小载板下料输送机23与小载板上料输送机7结构相同；小载板下料升降机24与小载板上料升降机8结构相同。
36.本实施例中，硅片自动化下料区h设置有硅片下料机器人25、硅片下料抓手26、硅
片下料输送机27、插片机28和花篮下料输送机29，硅片下料抓手26设置在硅片下料机器人25上，硅片下料机器人25设置在硅片下料输送机27一侧，插片机28设置在硅片下料输送机27一侧，所述花篮下料输送机29设置在插片机28一侧，硅片下料机器人25带动硅片下料抓手26从下料小载板22上抓取硅片放到硅片下料输送机27上面，硅片下料输送机27传输硅片放入插片机28，插片机28插片后传输花篮到花篮上料输送机29处，花篮输送机29把花篮传输下道工序agv接放处。
37.需要说明的是，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
38.尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。