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一种刻蚀清洗机硅片导向装置的制作方法

2022-05-17 01:14:52 来源:中国专利 TAG:


1.本实用新型涉及光伏自动化设备技术领域,具体为一种刻蚀清洗机硅片导向装置。


背景技术:

2.刻蚀清洗机的作用是利用hf/hno3/h2so4的混合液对扩散后硅片下表面和边缘进行腐蚀,去除边缘的n型硅,使得硅片的上下表面相互绝缘,从而减少边缘漏电。
3.目前硅片由滚筒运输经过刻蚀清洗设备的过程中,因为被硅片在输送过程中会发生偏转,所以需要利用导向装置进行校正,但是现有的刻蚀清洗机硅片导向装置的使用尺寸无法调节,不利于不同规格的硅片的使用,因此,提出一种刻蚀清洗机硅片导向装置以解决上述问题。


技术实现要素:

4.(一)解决的技术问题
5.针对现有技术的不足,本实用新型公开了一种刻蚀清洗机硅片导向装置,以解决上述背景技术中提出的问题。
6.(二)技术方案
7.为实现以上目的,本实用新型通过以下技术方案予以实现:一种刻蚀清洗机硅片导向装置,包括:
8.支撑架,所述支撑架右壁开设有凹槽,所述支撑架右壁开设的凹槽内壁活动卡接有滚筒,所述滚筒外壁螺纹连接有第一归正圈,所述滚筒外壁螺纹连接有第二归正圈;
9.旋转机构,所述旋转机构安装在支撑架左侧。
10.优选的,所述滚筒外壁螺纹连接有第一归正锁紧圈,所述第一归正锁紧圈位于第一归正圈左侧,所述滚筒外壁固定连接有归正圈挡圈,所述归正圈挡圈位于第一归正圈右侧。
11.优选的,所述滚筒外壁螺纹连接有第二归正锁紧圈,所述第二归正锁紧圈位于第二归正圈右侧。
12.优选的,所述旋转机构包括旋转柱、旋转齿轮、连接板和链条,所述连接板左侧固定连接有减速机,所述减速机前端设有马达,所述减速机后端啮合连接有链条,所述支撑架左侧固定连接有连接块,所述连接块前端开设有圆孔,所述旋转柱前端穿过连接块前端开设的圆孔向前延伸,所述旋转柱外壁固定连接有旋转齿轮,所述旋转齿轮与链条啮合连接。
13.优选的,所述滚筒左端固定连接有锥齿轮,所述旋转柱外壁固定连接有传动齿轮,所述传动齿轮与锥齿轮啮合连接。
14.本实用新型公开了一种刻蚀清洗机硅片导向装置,其具备的有益效果如下:
15.1、该刻蚀清洗机硅片导向装置,通过设置第一归正圈、第一归正锁紧圈、第二归正锁紧圈、第二归正圈和滚筒的连接关系,使第一归正圈和第一归正锁紧圈内壁设有螺纹,和
外壁设有螺纹的滚筒相配合,将第一归正圈和第二归正圈根据硅片的尺寸大小进行调节,再用第一归正锁紧圈和第二归正锁紧圈锁紧,使第一归正圈和第二归正圈的位置得到固定,便于对硅片进行位置导向,且便于能够对多种规格的硅片进行使用,方便、快速。
16.2、该刻蚀清洗机硅片导向装置,通过设置旋转柱、旋转齿轮、连接板和链条,连接板左侧固定连接有减速机,减速机前端设有马达,减速机后端啮合连接有链条,支撑架左侧固定连接有连接块,连接块前端开设有圆孔,旋转柱前端穿过连接块前端开设的圆孔向前延伸,旋转柱外壁固定连接有旋转齿轮,旋转齿轮与链条啮合连接,使得能够通过启动减速机和马达的带动旋转柱转动,滚筒左端固定连接有锥齿轮,旋转柱外壁固定连接有传动齿轮,传动齿轮与锥齿轮啮合连接,便于将滚筒的运动会状态与旋转柱的运动状态进行连接,便于使滚筒转动带动硅片进行移动。
附图说明
17.图1为本实用新型整体结构示意图;
18.图2为本实用新型旋转齿轮结构示意图。
19.图中:1、支撑架;101、滚筒;102、第一归正圈;103、第一归正锁紧圈;104、归正圈挡圈;105、第二归正锁紧圈;106、第二归正圈;107、锥齿轮;108、连接块;2、旋转柱;201、传动齿轮;202、旋转齿轮;3、连接板;301、减速机;302、马达;303、链条。
具体实施方式
20.本实用新型实施例公开一种刻蚀清洗机硅片导向装置,如图1-2所示,包括:
21.根据附图1所示,支撑架1,支撑架1右壁开设有凹槽,支撑架1右壁开设的凹槽内壁活动卡接有滚筒101,滚筒101外壁螺纹连接有第一归正圈102,滚筒101外壁螺纹连接有第二归正圈106,通过设置第一归正圈102和第二归正圈106与滚筒101的连接关系,使得第一归正圈102和第二归正圈106在滚筒101外壁的位置能够得到调整,使得能够根据硅片的尺寸进行调节,方便使用;
22.根据附图1和2所示,旋转机构,旋转机构安装在支撑架1左侧,便于对硅片进行输送。
23.根据附图1所示,滚筒101外壁螺纹连接有第一归正锁紧圈103,第一归正锁紧圈103位于第一归正圈102左侧,滚筒101外壁固定连接有归正圈挡圈104,便于对第一归正圈102的移动范围进行限制,归正圈挡圈104位于第一归正圈102右侧,便于对第一归正圈102的位置进行锁紧。
24.根据附图1所示,滚筒101外壁螺纹连接有第二归正锁紧圈105,第二归正锁紧圈105位于第二归正圈106右侧,便于对第二归正圈106的位置进行锁紧。
25.根据附图1和2所示,旋转机构包括旋转柱2、旋转齿轮202、连接板3和链条303,连接板3左侧固定连接有减速机301,减速机301前端设有马达302,减速机301后端啮合连接有链条303,支撑架1左侧固定连接有连接块108,连接块108前端开设有圆孔,旋转柱2前端穿过连接块108前端开设的圆孔向前延伸,旋转柱2外壁固定连接有旋转齿轮202,旋转齿轮202与链条303啮合连接,使得能够通过启动减速机301和马达302的带动旋转柱2转动。
26.根据附图2所示,滚筒101左端固定连接有锥齿轮107,旋转柱2外壁固定连接有传
动齿轮201,传动齿轮201与锥齿轮107啮合连接,便于将滚筒101的运动会状态与旋转柱2的运动状态进行连接,便于使滚筒101转动带动硅片进行移动。
27.工作原理:为了便于根据硅片的尺寸大小调节导向装置的尺寸,使用者可以通过顺时针向前转动第一归正锁紧圈103,使得第一归正锁紧圈103顺着螺纹方向左移动,使得第一归正锁紧圈103与第一归正圈102之间具有一定间隙,方便使用者调整第一归正圈102的位置,使用者可以通过顺时针向前转动第一归正圈102,使得第一归正圈102顺着螺纹方向向左移动,移动至合适位置后,再通过逆时针向后转动第一归正锁紧圈103,使得第一归正锁紧圈103顺着螺纹方向向右移动,通过向右移动的第一归正锁紧圈103右壁挤压第一归正圈102左壁,便于提高第一归正圈102的摩擦力,便于对第一归正圈102的位置进行锁紧。
28.再通过逆时针向后转动第二归正锁紧圈105,使得第二归正锁紧圈105顺着螺纹方向向右移动,使得第二归正锁紧圈105与第二归正圈106之间具有一定移动空间,方便使用者调整第二归正圈106的位置,使用者可以通过逆时针向后转动第二归正圈106,使得第二归正圈106顺着螺纹方向向右移动,移动至合适位置后,再通过顺时针向前转动第二归正锁紧圈105,使得第二归正锁紧圈105顺着螺纹方向向左移动,通过向左移动的第二归正锁紧圈105左壁挤压第二归正圈106右壁,有利于提高第二归正圈106的摩擦力,便于对第二归正圈106的位置进行锁紧,使得第一归正圈102与第二归正圈106之间的距离能够得到调节,便于根据硅片规格不同和尺寸大小不同进行调节。
29.使用者可以通过启动减速机301,使得减速机301转动带动链条303顺时针向右转动,通过向右转动的链条303带动旋转齿轮202向右转动,使得向右转动的旋转齿轮202带动旋转柱2向右转动,通过向右转动的旋转柱2带动传动齿轮201向右转动,使得向右转动的传动齿轮201挤压推动锥齿轮107,使得锥齿轮107顺时针向后转动,通过顺时针向后转动的锥齿轮107带动滚筒101顺时针向后转动,使得向后转动的滚筒101带动硅片向前移动。
30.以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下,本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
再多了解一些

本文用于企业家、创业者技术爱好者查询,结果仅供参考。

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