一种用于半导体晶圆传输系统的多级升降机构的制作方法

技术特征：
1.一种用于半导体晶圆传输系统的多级升降机构，其特征在于：包括上下依次串联的多个升降单元，每个所述升降单元均包括驱动机构，所述驱动机构采用同步带传动结构，其一端与一级升降机构相连，另一端与二级升降机构相连，所述驱动机构用于同时带动一级升降机构、二级升降机构上下运动，从而带动整个二级升降机构沿一级升降机构上下运动，进而带动相邻两个升降单元中上端的升降单元沿二级升降机构上下运动。2.根据权利要求1所述的用于半导体晶圆传输系统的多级升降机构，其特征在于：所述一级升降机构、二级升降机构均采用滚珠丝杠结构，与一级升降机构中的丝杆平行设置有两个一级滑轨，与二级升降机构中的丝杆平行设置有两个二级滑轨，在两个所述一级滑轨上设置有安装板，在所述安装板上设置有驱动机构、二级升降机构，在两个所述二级滑轨上设置有相邻两个升降单元中上端的升降单元，所述驱动机构的一端与一级升降机构的螺母连接，另一端与二级升降机构中丝杆的一端连接，用于带动安装板沿两个一级滑轨上下运动，同时带动相邻两个升降单元中上端的升降单元沿两个二级滑轨上下运动。3.根据权利要求2所述的用于半导体晶圆传输系统的多级升降机构，其特征在于：所述驱动机构包括电动机，所述电动机的输出轴上安装有一级主动轮和二级主动轮，所述一级主动轮通过一级同步带与一级从动轮相连，所述一级从动轮设置在一级升降机构的螺母上，所述二级主动轮通过二级同步带与二级从动轮相连，所述二级从动轮设置在二级升降机构中丝杆的一端。4.根据权利要求3所述的用于半导体晶圆传输系统的多级升降机构，其特征在于：所述一级从动轮套装在一级升降机构的螺母上，两者紧配合；所述二级从动轮套装在二级升降机构的丝杆上，两者紧配合。5.根据权利要求2所述的用于半导体晶圆传输系统的多级升降机构，其特征在于：所述安装板采用l形结构，其一面设置在一级升降机构的螺母上以及通过一级滑块设置在一级滑轨上，另一面与二级升降机构的基板相连，所述基板用于承载整个二级升降机构的安装。6.根据权利要求5所述的用于半导体晶圆传输系统的多级升降机构，其特征在于：相邻两个升降单元中上端的升降单元设置在二级升降机构的螺母上以及通过二级滑块设置在二级滑轨上。

技术总结
本发明涉及机械制造的技术领域，公开了一种用于半导体晶圆传输系统的多级升降机构，包括上下依次串联的多个升降单元，每个所述升降单元均包括驱动机构，所述驱动机构采用同步带传动结构，其一端与一级升降机构相连，另一端与二级升降机构相连，所述驱动机构用于同时带动一级升降机构、二级升降机构上下运动，从而带动整个二级升降机构沿一级升降机构上下运动，进而带动相邻两个升降单元中上端的升降单元沿二级升降机构上下运动。整个装置结构简单，组装简单，维护难度低，便于推广应用。便于推广应用。便于推广应用。


技术研发人员：胡启凡 王晨旭 朱骏驰
受保护的技术使用者：上海广川科技有限公司
技术研发日：2022.01.28
技术公布日：2022/5/6