一种用于显微镜下检查的光刻版夹具的制作方法

技术特征：
1.一种用于显微镜下检查的光刻版夹具，其特征在于，包括：输送箱，所述输送箱上设置有固定机构和两个调整机构；所述固定机构包括有电机一、螺纹长杆、移动块、圆柱块一、固定腔、安装槽、电机二、转动杆、锥形齿轮一、四个螺纹短杆一、四个锥形齿轮二、四个夹板、两个支撑板和长板，所述电机一固定安装在输送箱的一侧外壁上，所述螺纹长杆固定安装在电机一的输出轴上，所述螺纹长杆的一端延伸至输送箱内并与输送箱转动连接，所述移动块螺纹安装在螺纹长杆上，所述移动块的顶部延伸至输送箱外，所述圆柱块一固定安装在移动块的顶部，所述固定腔开设在圆柱块一上，所述安装槽开设在固定腔的底部内壁上，所述电机二固定安装在安装槽的底部内壁上，所述转动杆固定安装在电机二的输出轴上，所述转动杆的顶端延伸至固定腔内，所述锥形齿轮一固定安装在转动杆的顶端，四个所述螺纹短杆一均转动安装在固定腔内，四个所述锥形齿轮二分别固定安装在对应的螺纹短杆一的一端，所述锥形齿轮二与锥形齿轮一啮合，四个所述夹板分别螺纹安装在对应的螺纹短杆一上，所述夹板的顶部延伸至圆柱块一外，两个所述支撑板均固定安装在输送箱的顶部，所述长板固定安装在两个支撑板的顶部；所述调整机构包括有液压缸、圆柱块二、圆形凹槽一、转动块、调整箱、电机三、螺纹短杆二和连接块，所述液压缸固定安装在长板的底部，所述圆柱块二固定安装在液压缸的输出轴上，所述圆形凹槽一开设在圆柱块二的底部，所述转动块转动安装在圆形凹槽一内，所述转动块的底部延伸至圆形凹槽一外，所述调整箱固定安装在转动块的底部，所述电机三固定安装在调整箱的一侧外壁上，所述螺纹短杆二固定安装在电机三的输出轴上，所述螺纹短杆二的一端延伸至调整箱内并与调整箱转动连接，所述连接块螺纹安装在螺纹短杆二上，所述连接块的底部延伸至调整箱外。2.根据权利要求1所述的用于显微镜下检查的光刻版夹具，其特征在于：对应的所述连接块的底部固定安装有光刻设备，对应的所述连接块的底部固定安装有切割设备。3.根据权利要求1所述的用于显微镜下检查的光刻版夹具，其特征在于：所述转动块的顶部开设有圆形凹槽二，所述圆形凹槽二的底部内壁上固定安装有齿环，所述圆形凹槽一的顶部内壁上固定安装有电机四，所述电机四的输出轴上固定安装有圆杆，所述圆杆的底端延伸至圆形凹槽二内，所述圆杆的底端固定安装有转动齿轮，所述转动齿轮与齿环啮合。4.根据权利要求1所述的用于显微镜下检查的光刻版夹具，其特征在于：所述夹板的顶部固定安装有橡胶块，所述橡胶块上开设有吸气腔，所述吸气腔的顶部内壁上固定安装有多个气孔，所述夹板的一侧固定安装有抽气泵，所述抽气泵的进气口上固定安装有连接管，所述连接管的顶端延伸至吸气腔内。5.根据权利要求1所述的用于显微镜下检查的光刻版夹具，其特征在于：所述固定腔内固定安装有四个t形滑杆，所述t形滑杆与对应的夹板滑动连接。6.根据权利要求1所述的用于显微镜下检查的光刻版夹具，其特征在于：所述输送箱内固定安装有滑动杆一，所述滑动杆一与移动块滑动连接，所述调整箱内固定安装有滑动杆二，所述滑动杆二与连接块滑动连接。

技术总结
本实用新型提供一种用于显微镜下检查的光刻版夹具。所述用于显微镜下检查的光刻版夹具包括：输送箱，所述输送箱上设置有固定机构和两个调整机构；所述固定机构包括有电机一、螺纹长杆、移动块、圆柱块一、固定腔、安装槽、电机二、转动杆、锥形齿轮一、四个螺纹短杆一、四个锥形齿轮二、四个夹板、两个支撑板和长板，所述电机一固定安装在输送箱的一侧外壁上，本实用新型解决的技术问题是提供一种通过在码盘底部进行吸附固定的方式来避免与切割刀片发生碰撞，同时能够使得光刻设备和切割设备能够进行位置调整从而保证码盘精度符合标准的用于显微镜下检查的光刻版夹具。于显微镜下检查的光刻版夹具。于显微镜下检查的光刻版夹具。


技术研发人员：陆峰
受保护的技术使用者：长沙韶普光电科技有限公司
技术研发日：2021.12.03
技术公布日：2022/4/29