一种简便式腐蚀液加热槽装置的制作方法

1.本实用新型属于腐蚀液加热槽技术领域，尤其涉及一种简便式腐蚀液加热槽装置。


背景技术：

2.现有的光刻版的精度要求越来越高，在光刻版复印过程中，需要使用腐蚀液对未被胶膜覆盖的铬层进行腐蚀，以获取完整、清晰、准确的光刻图形，达到选择性扩散活金属布线的目的，光刻工艺对腐蚀液的要求是：只对需要除去的物质进行腐蚀，而对抗蚀胶膜不腐蚀或腐蚀量很小，同时还要求腐蚀因子要足够大，腐蚀因子的定义是腐蚀深度与一遍的横向腐蚀量之比腐蚀因子越大，表示横向腐蚀量越小，此外，要求腐蚀图形边缘整齐、清晰，加热在腐蚀液中的作用是加快腐蚀的速率，温度过低，腐蚀速度太慢时间过长又会造成侧向腐蚀使分辨率下降，边缘和中间的腐蚀的速率区别较大边缘侧向腐蚀严重，胶膜长期浸泡，也易产生浮胶，相关技术中，公开了一种化学腐蚀液注入槽体流场稳流装置，包括槽体、注入部及匀流部，注入部设置在槽体的底部；匀流部设置在注入部的顶部，且匀流部与槽体的内壁连接；注入部的侧壁上设置有出液口，化学腐蚀液能够通过出液口流出注入部而流入槽体的底部；匀流部上设置有出液孔，化学腐蚀液能够由出液孔穿过匀流部而流入槽体的主体部分内，其学腐蚀液注入槽体流场稳流装置，注入部对腐蚀液进行第一次整流，匀流部对腐蚀液进行第二次整流，在经过两次整流后，腐蚀液均匀地、速度恒定地流到槽体的主体部分中，注入槽体的主体部分的液体流场稳定，从而能够对半导体进行均匀地腐蚀，解决了现有的半导体均匀腐蚀的处理方式复杂的问题。
3.但是，上述结构中还存在不足之处，其装置中腐蚀液没有加热装置，腐蚀液的使用寿命比较短，腐蚀液使用达到一定次数中间的腐蚀速率比边缘的腐蚀速率慢20到25秒从而边缘的图形区域的线条产生毛刺分辨率下降，版面中间和边缘的线条的精度不统一，腐蚀浸泡时间长易产生浮胶，都会影响到光刻版的精度和影响生产的工作效率。
4.因此，有必要提供一种新的简便式腐蚀液加热槽装置解决上述技术问题。


技术实现要素：

5.本实用新型解决的技术问题是提供一种加热槽与容器紧密结合不会产生倾斜摇晃，溶液能得要充分地加热，腐蚀液加热槽保证了光刻版在腐蚀过程中能得到完整、清晰、准确的光刻图形，从而提高成品率和生产效率的简便式腐蚀液加热槽装置。
6.为解决上述技术问题，本实用新型提供的简便式腐蚀液加热槽装置包括：加热槽体，所述加热槽体内设置有腐蚀液槽体，所述加热槽体上设置有升降机构和闭合机构；
7.所述升降机构包括双轴电机、两个螺纹杆、升降板、两个内螺纹滑块和两个推杆，所述双轴电机设置在加热槽体内，两个所述螺纹杆分别转动安装在加热槽体的两侧内壁上，两个所述螺纹杆相互靠近的一端均与双轴电机固定连接，所述升降板设置在双轴电机的上方，所述升降板的顶部与腐蚀液槽体的底部相接触，两个所述内螺纹滑块分螺纹套设
在两个螺纹杆上，两个所述推杆分别铰接安装在两个内螺纹滑块的顶部，两个所述推杆的顶端均与升降板的底部相铰接；
8.所述闭合机构包括槽盖、矩形块、固定杆、条形块、条形凹槽、圆杆、连接块、伸缩弹簧和环形块，所述槽盖铰接安装在加热槽体的顶部，所述矩形块固定安装在槽盖的一侧外壁上，所述固定杆铰接安装在矩形块的底部，所述条形块固定安装在加热槽体的一侧外壁上，所述条形凹槽开设在条形块的一侧外壁上，所述圆杆固定安装在条形凹槽内，所述连接块滑动套设在圆杆上，所述连接块的一侧延伸至条形凹槽外，所述伸缩弹簧滑动套设在圆杆上，所述伸缩弹簧的顶端与连接块的底部固定连接，所述伸缩弹簧的底端与条形凹槽的底部内壁固定连接，所述环形块固定安装在连接块的一侧外壁上，所述固定杆贯穿环形块并与环形块滑动连接。
9.作为本实用新型的进一步方案，所述加热槽体的两侧内壁上均开设有限位槽，两个所述限位槽内均滑动安装有限位块，两个所述限位块相互靠近的一侧均与腐蚀液槽体固定连接。
10.作为本实用新型的进一步方案，所述加热槽体的底部固定安装有四个支撑杆，四个所述支撑杆的顶部固定安装有同一个支撑板。
11.作为本实用新型的进一步方案，所述支撑板的顶部固定安装有防护壳，所述双轴电机固定安装在防护壳的底部内壁上，两个所述螺纹杆均贯穿防护壳并与防护壳转动连接。
12.作为本实用新型的进一步方案，所述固定杆的一侧外壁上开设有卡槽，所述加热槽体的一侧外壁上固定安装有卡块，所述卡块的一侧延伸至卡槽内。
13.作为本实用新型的进一步方案，所述加热槽体的一侧外壁上固定安装有进水管，所述进水管上固定安装有进水阀，所述加热槽体的底部固定安装有出水管，所述出水管上固定安装有放水阀。
14.与相关技术相比较，本实用新型提供的简便式腐蚀液加热槽装置具有如下有益效果：
15.1、本实用新型通过设置升降机构，使得能够简单有效的对腐蚀液槽进行推动，将腐蚀液槽推出加热槽体；
16.2、本实用新型通过设置闭合机构，使得能够对加热槽体进行密封，从而在不使用时对腐蚀液进行保温。
附图说明
17.为了便于本领域技术人员理解，下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。
18.图1为本实用新型简便式腐蚀液加热槽装置的正视剖视结构示意图；
19.图2为图1中a部分的放大结构示意图；
20.图3为图1中b部分的放大结构示意图。
21.图中：1、加热槽体；2、腐蚀液槽体；3、双轴电机；4、螺纹杆；5、升降板；6、内螺纹滑块；7、推杆；8、槽盖；9、矩形块；10、固定杆；11、条形块；12、条形凹槽；13、圆杆；14、连接块；15、伸缩弹簧；16、环形块；17、限位槽；18、限位块。
具体实施方式
22.请结合参阅图1、图2和图3，其中，图1为本实用新型简便式腐蚀液加热槽装置的正视剖视结构示意图；图2为图1中a部分的放大结构示意图；图3为图1中b部分的放大结构示意图。简便式腐蚀液加热槽装置包括：加热槽体1，所述加热槽体1内设置有腐蚀液槽体2，所述加热槽体1上设置有升降机构和闭合机构；
23.所述升降机构包括双轴电机3、两个螺纹杆4、升降板5、两个内螺纹滑块6和两个推杆7，所述双轴电机3设置在加热槽体1内，两个所述螺纹杆4分别转动安装在加热槽体1的两侧内壁上，两个所述螺纹杆4相互靠近的一端均与双轴电机3固定连接，所述升降板5设置在双轴电机3的上方，所述升降板5的顶部与腐蚀液槽体2的底部相接触，两个所述内螺纹滑块6分螺纹套设在两个螺纹杆4上，两个所述推杆7分别铰接安装在两个内螺纹滑块6的顶部，两个所述推杆7的顶端均与升降板5的底部相铰接；
24.所述闭合机构包括槽盖8、矩形块9、固定杆10、条形块11、条形凹槽12、圆杆13、连接块14、伸缩弹簧15和环形块16，所述槽盖8铰接安装在加热槽体1的顶部，所述矩形块9固定安装在槽盖8的一侧外壁上，所述固定杆10铰接安装在矩形块9的底部，所述条形块11固定安装在加热槽体1的一侧外壁上，所述条形凹槽12开设在条形块11的一侧外壁上，所述圆杆13固定安装在条形凹槽12内，所述连接块14滑动套设在圆杆13上，所述连接块14的一侧延伸至条形凹槽12外，所述伸缩弹簧15滑动套设在圆杆13上，所述伸缩弹簧15的顶端与连接块14的底部固定连接，所述伸缩弹簧15的底端与条形凹槽12的底部内壁固定连接，所述环形块16固定安装在连接块14的一侧外壁上，所述固定杆10贯穿环形块16并与环形块16滑动连接。
25.如图1所示，所述加热槽体1的两侧内壁上均开设有限位槽17，两个所述限位槽17内均滑动安装有限位块18，两个所述限位块18相互靠近的一侧均与腐蚀液槽体2固定连接；
26.通过设置环形块16和限位槽17，使得能够使加热槽体与腐蚀液槽体紧密结合，从而使腐蚀液槽体不会晃动。
27.如图1所示，所述加热槽体1的底部固定安装有四个支撑杆，四个所述支撑杆的顶部固定安装有同一个支撑板；
28.通过设置支撑腿和支撑板，使得能够对双轴电机3进行支撑，从而减少双轴电机3所受的压力，避免双轴电机3损坏。
29.如图2所示，所述支撑板的顶部固定安装有防护壳，所述双轴电机3固定安装在防护壳的底部内壁上，两个所述螺纹杆4均贯穿防护壳并与防护壳转动连接。
30.通过设置防护壳，使得能够对双轴电机3进行防护，并对两个螺纹杆4进行支撑，减少两个螺纹杆4所受的压力。
31.如图3所示，所述固定杆10的一侧外壁上开设有卡槽，所述加热槽体1的一侧外壁上固定安装有卡块，所述卡块的一侧延伸至卡槽内；
32.通过设置卡槽和卡块，使得能够与环形块16配合，对固定杆10进行固定，从而闭合槽盖8，对加热槽体1进行密封。
33.如图1所示，所述加热槽体1的一侧外壁上固定安装有进水管，所述进水管上固定安装有进水阀，所述加热槽体1的底部固定安装有出水管，所述出水管上固定安装有放水阀；
34.通过设置进水管和进水阀，使得能够对加热槽体1进行注入热水，通过设置出水管和放水阀，使得能够将加热槽体1内的水排出。
35.本实用新型提供的简便式腐蚀液加热槽装置的工作原理如下：
36.第一步骤：当需要对腐蚀液进行加热时，将腐蚀液槽体2放入加热槽体1内，将腐蚀液注入腐蚀液槽体2内，打开进水阀，往加热槽体1内注入高于腐蚀液液位的热水，使腐蚀液能充分均匀的得到加热；
37.第二步骤：当需要取出腐蚀液槽体2时，启动双轴电机3,双轴电机3带动两个螺纹杆4转动，两个螺纹杆4带动两个内螺纹滑块6向相互靠近的方向移动，两个内螺纹滑块6通过两个推杆7带动升降板5向上移动，升降板5带动腐蚀液槽体2向上移动，从而取出腐蚀液槽体2；
38.第三步骤：当暂时不使用装置时，闭合槽盖8，向下拉动环形块16,环形块16带动连接块14向下移动，连接块14使伸缩弹簧15处于压缩状态，将卡槽套在卡块上，松开环形块16,在伸缩弹簧15弹力的作用下，伸缩弹簧15带动连接块14向上移动，伸缩弹簧15带动环形块16向上移动，使环形块16套在固定杆10上，从而完成对固定杆10的固定，将槽盖8闭合，从而能够对装置内的腐蚀液进行保温。
39.需要说明的是，本实用新型的设备结构和附图主要对本实用新型的原理进行描述，在该设计原理的技术上，装置的动力机构、供电系统及控制系统等的设置并没有完全描述清楚，而在本领域技术人员理解上述实用新型的原理的前提下，可清楚获知其动力机构、供电系统及控制系统的具体，申请文件的控制方式是通过控制器来自动控制，控制器的控制电路通过本领域的技术人员简单编程即可实现；
40.其中所使用到的标准零件均可以从市场上购买，而且根据说明书和附图的记载均可以进行订制，各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓、铆钉、焊接等常规手段，机械、零件和设备均采用现有技术中常规的型号，且本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。
41.尽管已经表示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型或直接或间接运用，在其它相关的技术领域，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。