一种新型恒温区熔炉的制作方法

1.本实用新型属于机械技术领域，涉及涉及一种新型恒温区熔炉。


背景技术：

2.单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。
3.在制备单晶硅的过程中，区熔炉是必备的一种设备。区熔炉生长硅单晶的过程一般为：引晶—生长细径—放肩—等径—拉断。在单晶生长的前三个阶段，晶体直径随生长过程的进行逐步增大，形成一个锥形体结构。待到晶体直径生长到某一特性值时，晶体生长进入等径阶段，即晶体直径保持定值生长。
4.在上述过程中，现有技术的区熔炉具有下述缺陷：体积大、占地面积大，炉内温度不均匀。
5.综上所述，为解决现有的仓库在自动化管理上的不足，本实用新型设计了一种体积小、占地面积小、炉内温度均匀，操作便利的新型恒温区熔炉。


技术实现要素：

6.本实用新型为解决现有技术存在的问题，提供了一种体积小、占地面积小、炉内温度均匀，操作便利的新型恒温区熔炉。
7.本实用新型的目的可通过以下技术方案来实现：
8.一种新型恒温区熔炉，包括：
9.均匀设置的若干石英玻璃管；
10.旋转机构，旋转机构设置于石英玻璃管的下方，该旋转机构驱动石英玻璃管旋转；
11.升降机构，包括升降电机、丝杠、环形加热器，环形加热器套设于石英玻璃管外部，通过升降电机驱动环形加热器沿着石英玻璃管的轴向上升或下降；
12.石英玻璃管的一侧设有导向杆，环形加热器的一侧设有导向套；
13.升降电机上还设有升降电机支架；
14.循环机构，循环机构为循环风扇。
15.作为本方案的进一步改进，减速机的一侧设有减速机支架。
16.作为本方案的进一步改进，旋转电机的一侧设有旋转电机支架。
17.作为本方案的进一步改进，环形加热器通过环形加热器支架与丝杠的外部连接。
18.作为本方案的进一步改进，石英玻璃管设置的数量为四个。
19.作为本方案的进一步改进，还设有压紧电机，压紧电机的外部设有压紧电机支架，压紧电机的下方设有压紧杆。
20.与现有技术相比，本实用新型结构设计合理，通过循环风扇提供循环风，能够保证炉内的温度均匀。硅原料融化后，然后停止加热进入冷却结晶，从而完成整个生产过程。同
时均匀设置了四根玻璃管，又保证了产量。新型恒温熔不仅体积小，占地空间小，而且循环风风扇的运用使得炉内温度均匀稳定，实用性好。
附图说明
21.图1是本实用新型的主视图。
22.图2是本实用新型的剖视图。
23.图3是本实用新型的俯视图。
具体实施方式
24.下面结合实施例及附图，对本实用新型的技术方案作进一步的阐述。
25.如图所示，本新型恒温区熔炉包括：
26.均匀设置的若干石英玻璃管13；
27.旋转机构，旋转机构设置于石英玻璃管13的下方，该旋转机构驱动石英玻璃管13旋转；
28.在工作时，通过旋转机构带动石英玻璃管13旋转，具体为，旋转电机13的驱动下带动同步带19，再带动同步带轮18，从而驱动石英玻璃管13进行旋转。
29.升降机构，包括升降电机9、丝杠11、环形加热器15，环形加热器15套设于石英玻璃管13外部，通过升降电机9驱动环形加热器15沿着石英玻璃管13的轴向上升或下降。
30.通过升降机构的使用使得环形加热器15通过丝杆11实现上下升降，在环形加热器15的加热下，石英玻璃管13内的硅原料进行融化，加热均匀而且可以循环操作使用。
31.石英玻璃管13的一侧设有导向杆12，环形加热器15的一侧设有导向套16。
32.升降电机9上还设有升降电机支架10。
33.循环机构，循环机构为循环风扇5。
34.如图所示，循环风扇5在本机构的两侧均匀设置，在具体操作时，通过循环风扇提供循环风，保证炉内的温度均匀。
35.本新型恒温区熔炉的工作原理为：
36.s1硅原料加入到石英玻璃管13中；
37.s2加热器通电，从石英玻璃管13底部开始加热硅原料，同时，石英玻璃管13通过旋转机构带动下旋转，使得硅原料受热均匀；
38.s3环形加热器15在驱动机构的驱动下实现上升或下降，实现硅原料的区间融化；具体为：环形加热器15运动到顶部后，环形加热器15再下降到底部从底部开始第二次加热，如此循环直至硅原料全部融化。
39.旋转机构包括：同步带轮18、减速机21和旋转电机23，同步带轮18设于石英玻璃管13的下方，旋转电机23的一侧设置有减速机21。
40.在工作时，通过旋转机构带动石英玻璃管13旋转，具体为，旋转电机13的驱动下带动同步带19，再带动同步带轮18，从而驱动石英玻璃管13进行旋转。
41.作为进一步优选的实施例，减速机21的一侧设有减速机支架20。
42.作为进一步优选的实施例，旋转电机23的一侧设有旋转电机支架23。
43.上述支架的使用，使得减速机21和旋转电机23提升性能和使用寿命。
44.作为进一步优选的实施例，环形加热器15通过环形加热器支架17与丝杠11的外部连接。
45.石英玻璃管13设置的数量为四个。
46.在本实施例中，通过均匀设置的四根玻璃管，保证了产量。
47.作为进一步优选的实施例，还设有压紧电机1，压紧电机1的外部设有压紧电机支架2，压紧电机1的下方设有压紧杆3。
48.在本实施例中，石英玻璃管13的上方设置有压紧机构，该压紧机构包括依次设置的压紧电机1、电机支架2和压紧杆3。通过上述机构的设置，使得在使用过程中能够实现对石英玻璃管13的压紧，方便操作，实用性佳。
49.作为进一步的优选实施例，还设有观察窗6和电源柜7。
50.在本实施例中，通过设置观察窗6使得工作人员可以从外部实时查看石英玻璃管13内的原料融化情况；电源柜7设置于新型恒温熔炉的下方。
51.在新型恒温熔炉的底部还设有福马轮8，通过福马轮8的设置，使得该熔炉方便移动。新型恒温熔炉的侧部还设有门扣24。
52.对比现有技术，本新型恒温熔炉的设计合理，通过循环风扇5提供循环风，能够保证炉内的温度均匀。硅原料融化后，然后停止加热进入冷却结晶，从而完成整个生产过程。同时均匀设置了四根玻璃管，又保证了产量。新型恒温熔不仅体积小，占地空间小，而且循环风风扇的运用使得炉内温度均匀稳定。
53.本文中所描述的仅为本实用新型的优选实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此。本实用新型所属领域的技术人员对所描述的具体实施例进行的修改或补充或采用类似的方式替换，均应涵盖于本实用新型的保护范围之内。


技术特征：
1.一种新型恒温区熔炉，其特征在于，包括：均匀设置的若干石英玻璃管；旋转机构，旋转机构设置于石英玻璃管的下方，该旋转机构驱动石英玻璃管旋转；升降机构，包括升降电机、丝杠、环形加热器，环形加热器套设于石英玻璃管外部，通过升降电机驱动环形加热器沿着石英玻璃管的轴向上升或下降；石英玻璃管的一侧设有导向杆，环形加热器的一侧设有导向套；升降电机上还设有升降电机支架；循环机构，循环机构为循环风扇。2.根据权利要求1所述的一种新型恒温区熔炉，其特征在于，减速机的一侧设有减速机支架。3.根据权利要求1所述的一种新型恒温区熔炉，其特征在于，旋转电机的一侧设有旋转电机支架。4.根据权利要求1所述的一种新型恒温区熔炉，其特征在于，环形加热器通过环形加热器支架与丝杠的外部连接。5.根据权利要求1所述的一种新型恒温区熔炉，其特征在于，石英玻璃管设置的数量为四个。6.根据权利要求1所述的一种新型恒温区熔炉，其特征在于，还设有压紧电机，压紧电机的外部设有压紧电机支架，压紧电机的下方设有压紧杆。

技术总结
本实用新型提供了一种新型恒温区熔炉，包括：均匀设置的若干石英玻璃管；旋转机构，旋转机构设置于石英玻璃管的下方，该旋转机构驱动石英玻璃管旋转；升降机构，包括升降电机、丝杠、环形加热器，环形加热器套设于石英玻璃管外部，通过升降电机驱动环形加热器沿着石英玻璃管的轴向上升或下降；石英玻璃管的一侧设有导向杆，环形加热器的一侧设有导向套；升降电机上还设有升降电机支架；循环机构，循环机构为循环风扇。本实用新型具有体积小、占地面积小、炉内温度均匀，操作便利的特点。操作便利的特点。操作便利的特点。


技术研发人员：程旭兵 周波 张奔啸
受保护的技术使用者：浙江晶阳机电股份有限公司
技术研发日：2021.08.27
技术公布日：2022/4/26