弹性波滤波器的制作方法

技术特征：
1.一种弹性波滤波器，其中，具备：多个弹性波谐振器，具有压电基板和idt电极，所述idt电极构成在所述压电基板上，并具有相互交错对插的第1电极指、第2电极指，将所述第1电极指和所述第2电极指在弹性波传播方向上相互重叠的区域设为交叉区域，此时，交叉区域具有：中央区域，在所述第1电极指、第2电极指延伸的方向上位于中央；以及第1边缘区域、第2边缘区域，在所述第1电极指、第2电极指延伸的方向上配置在中央区域的两个外侧，使所述第1边缘区域、第2边缘区域中的声速低于所述中央区域中的声速，所述多个弹性波谐振器具有：第1弹性波谐振器，使所述第1边缘区域、第2边缘区域中的第1电极指的宽度以及第2电极指的宽度中的至少一者大于所述中央区域中的所述第1电极指的宽度以及所述第2电极指的宽度中的至少一者；以及第2弹性波谐振器，包含在所述第1边缘区域、第2边缘区域层叠了声速降低膜的结构以及在所述中央区域层叠了提高声速的声速提高膜的结构中的至少一者。2.一种弹性波滤波器，其中，具备：多个弹性波谐振器，具有压电基板和idt电极，所述idt电极构成在所述压电基板上，并具有相互交错对插的第1电极指、第2电极指，将所述第1电极指和所述第2电极指在弹性波传播方向上相互重叠的区域设为交叉区域，此时，交叉区域具有：中央区域，在所述第1电极指、第2电极指延伸的方向上位于中央；以及第1边缘区域、第2边缘区域，在所述第1电极指、第2电极指延伸的方向上配置在中央区域的两个外侧，使所述第1边缘区域、第2边缘区域中的声速低于所述中央区域中的声速，所述多个弹性波谐振器具有：第1弹性波谐振器，使所述第1边缘区域、第2边缘区域中的第1电极指的宽度以及第2电极指的宽度中的至少一者大于所述中央区域中的所述第1电极指的宽度以及所述第2电极指的宽度中的至少一者；以及第2弹性波谐振器，所述第2弹性波谐振器包含如下结构中的至少一者：在所述第1边缘区域、第2边缘区域层叠了包含五氧化钽、氧化铪、五氧化铌、氧化钨以及氧化硅的绝缘膜或者al、cu、pt、au、ag、ti、ni、cr、mo、w、ta、mg、fe、ru或以这些金属中的任意金属为主体的合金的结构；以及在所述中央区域层叠了从包含氧化铝、氮化铝、氮化硅以及氧化硅的组中选择的材料所构成的膜的结构。3.根据权利要求1或2所述的弹性波滤波器，其中，所述第2弹性波谐振器中的所述idt电极的所述中央区域中的占空比大于所述第1弹性波谐振器中的所述idt电极的所述中央区域中的占空比。4.根据权利要求1～3中的任一项所述的弹性波滤波器，其中，
所述多个弹性波谐振器具有串联臂谐振器和并联臂谐振器。5.根据权利要求4所述的弹性波滤波器，其中，配置有多个所述串联臂谐振器，且配置有多个所述并联臂谐振器。6.根据权利要求5所述的弹性波滤波器，其中，所述弹性波滤波器是梯型滤波器。7.根据权利要求6所述的弹性波滤波器，其中，在具有比所述梯型滤波器的通带的中心频率高的反谐振频率的多个所述串联臂谐振器之中，反谐振频率最低的所述串联臂谐振器为所述第1弹性波谐振器。8.根据权利要求6所述的弹性波滤波器，其中，在具有比所述梯型滤波器的通带的中心频率低的谐振频率的多个所述并联臂谐振器之中，谐振频率最高的所述并联臂谐振器为所述第1弹性波谐振器。9.根据权利要求5或6所述的弹性波滤波器，其中，还具备公共端子，在多个所述串联臂谐振器之中，最靠近所述公共端子的所述串联臂谐振器为所述第1弹性波谐振器。10.根据权利要求1～8中的任一项所述的弹性波滤波器，其中，所述弹性波滤波器是具有天线端子和发送端子的发送滤波器，在所述多个弹性波谐振器之中，最远离所述天线端子的所述弹性波谐振器为所述第1弹性波谐振器。11.根据权利要求1～8中的任一项所述的弹性波滤波器，其中，所述弹性波滤波器是具有天线端子和接收端子的接收滤波器，在所述多个弹性波谐振器之中，最远离所述天线端子的所述弹性波谐振器为所述第1弹性波谐振器。12.根据权利要求1～11中的任一项所述的弹性波滤波器，其中，所述多个弹性波谐振器还包含具有与所述第1弹性波谐振器以及所述第2弹性波谐振器不同的构造的弹性波谐振器。13.根据权利要求4或5所述的弹性波滤波器，其中，还具备：纵向耦合谐振器型弹性波滤波器，与所述串联臂谐振器或所述并联臂谐振器电连接。14.根据权利要求1～13中的任一项所述的弹性波滤波器，其中，所述第1弹性波谐振器和所述第2弹性波谐振器构成在同一压电基板。15.根据权利要求1～14中的任一项所述的弹性波滤波器，其中，所述压电基板具有：高声速材料层；以及压电膜，直接或间接地层叠在所述高声速材料层上，所述高声速材料层包含所传播的体波的声速比在所述压电膜传播的弹性波的声速高的高声速材料。16.根据权利要求15所述的弹性波滤波器，其中，还具备：低声速膜，层叠在所述高声速材料层与所述压电膜之间，
在所述低声速膜传播的体波的声速低于在所述压电膜传播的体波的声速。17.根据权利要求15或16所述的弹性波滤波器，其中，还具备：支承基板，层叠在所述高声速材料层的与所述压电膜相反侧。18.根据权利要求15或16所述的弹性波滤波器，其中，所述高声速材料层是包含高声速材料的支承基板。

技术总结
本发明提供一种即使在促进了小型化的情况下也能够兼顾横模纹波的抑制和滤波器特性的陡峭性的提高的弹性波滤波器。弹性波滤波器具备：多个弹性波谐振器，具有压电基板和构成在压电基板上的IDT电极，各弹性波谐振器具有相互交错对插的第1电极指、第2电极指，在将第1电极指和第2电极指在弹性波传播方向上相互重叠的区域设为交叉区域时，交叉区域具有中央区域和在第1电极指、第2电极指延伸的方向上配置在中央区域的两个外侧的第1边缘区域、第2边缘区域，使第1边缘区域、第2边缘区域中的声速低于中央区域中的声速，多个弹性波谐振器具有：第1弹性波谐振器，使第1边缘区域、第2边缘区域中的宽度大于中央区域中的宽度；以及第2弹性波谐振器，包含层叠了声速降低膜的结构以及在中央区域层叠了提高声速的声速提高膜的结构中的至少一者，使得第1边缘区域、第2边缘区域中的声速低于中央区域中的声速。中的声速低于中央区域中的声速。中的声速低于中央区域中的声速。


技术研发人员：谷口康政 大门克也
受保护的技术使用者：株式会社村田制作所
技术研发日：2020.09.17
技术公布日：2022/4/26