一种大面积太阳光模拟装置的制作方法

1.本发明涉及测试设备技术领域，特别涉及一种大面积太阳光模拟装置。


背景技术：

2.显示行业，关于tft技术的发展迅速乃至成熟，新型显示材料也是热门研究，tft技术在多种显示里都有重要的表现，所以panel测试需求日益饱满，测试需求多数用于tft器件的光电稳定性检测，或者用tft器件性能的综合评估。本发明是一种大面积太阳光模拟装置，服务于大面积tft器件的panel测试，自动化程度高，适用于批量测试，也可以对单个panel进行独立设定测试。


技术实现要素：

3.本发明为了解决上述现有技术中存在问题，提供一种大面积太阳光模拟装置，以解决现在的技术问题。
4.本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：
5.本发明提供了一种大面积太阳光模拟装置，包括：外壳，所述外壳内设置有三轴运动控制系统，所述三轴运动控制系统设置于外壳底部，所述外壳内还设置有导热片，所述导热片设置于温度控制系统上。
6.优选的，所述三轴运动控制系统包括第一轨道，所述第一轨道上设置有第一滑块，所述第一滑块上设置有第二轨道，所述第二轨道上设置有第二滑块，所述第二滑块上设置有第三轨道，所述第三轨道上设置有第三滑块，所述第三滑块上设置有测试装置。
7.优选的，所述温度控制系统包括若干半导体制冷制热模块，所述半导体制冷制热模块固定于导热片的下表面。
8.优选的，所述导热片上设置有若干凸起。
9.优选的，所述导热片上设置有滑槽，所述滑槽上设置有夹具。
10.优选的，所述外壳内设置有测试台，所述导热片放置在测试台上。
11.优选的，所述待测panel放置在导热片上。
12.优选的，所述夹具固定在滑槽内，所述夹具上吸附有磁吸固定块，所述磁吸固定块上设置有连杆，所述连杆上设置有针卡，所述针卡上设置有若干探针。
13.优选的，所述温度控制系统下方设置有水冷器。
14.本发明的有益效果是：本装置服务于大面积tft器件的panel测试，自动化程度高，适用于批量测试，也可以对单个panel进行独立设定测试；同时，本装置采用独立的大尺寸半导体制冷制热模块，可实现区域的独立温控使用效果好。
附图说明
15.本发明的上述的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
16.图1是本发明实施例的大面积太阳光模拟装置的结构示意图；
17.图2是本发明实施例的大面积太阳光模拟装置的俯视结构示意图；
18.图3是本发明实施例的大面积太阳光模拟装置的夹具位置的结构示意图；
19.图4是本发明实施例的大面积太阳光模拟装置的夹具位置的结构示意图；
20.图5是本发明实施例的大面积太阳光模拟装置的放置有不同尺寸panel的导热片的结构示意图；
21.图6是本发明实施例的大面积太阳光模拟装置的放置有不同尺寸panel的导热片的结构示意图；
22.图7是本发明实施例的大面积太阳光模拟装置的放置有不同尺寸panel的导热片的结构示意图。
23.附图标记说明：
24.在图1-图7中，滑槽1；连杆2；磁吸固定块3；本体4；针卡5；探针6；第一轨道7；测试装置8；第三轨道9；第二轨道10；测试台11；待测panel12；夹具13；外壳14；导热片15。
具体实施方式
25.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
26.本发明提供了一种大面积太阳光模拟装置，包括：外壳14，外壳14内设置有三轴运动控制系统，三轴运动控制系统设置于外壳14底部，外壳14内还设置有导热片15，导热片15设置于温度控制系统上。外壳14为一个金属箱体，导热片15为一块矩形铜板。
27.三轴运动控制系统包括第一轨道7，第一轨道7上设置有第一滑块，第一滑块上设置有第二轨道10，第二轨道10上设置有第二滑块，第二滑块上设置有第三轨道9，第三轨道9上设置有第三滑块，第三滑块上设置有测试装置8。第一轨道7、第二轨道10和第三轨道9都为金属轨道，第一滑块、第二滑块和第三滑块都为金属滑块，测试装置8可以使用cs2000a亮度测试装置，cs2000a对位panel的任一位置进行测试，需配合ccd镜头实现发光点的自动对位，对位精度0.02mm。
28.温度控制系统包括若干半导体制冷制热模块，半导体制冷制热模块固定于导热片15的下表面，若干半导体制冷制热模块采用现有技术。
29.导热片15上设置有若干凸起，方便panel进行下样。
30.导热片15上设置有滑槽1，滑槽1上设置有夹具13，滑槽1为金属槽，夹具13可以固定在滑槽1上。外壳14内设置有测试台11，导热片15放置在测试台11上，测试台11为一个金属支架。待测panel12放置在导热片15上，通过导热片15对panel进行降温。
31.夹具13固定在滑槽1内，夹具13上吸附有磁吸固定块3，磁吸固定块3上设置有连杆2，连杆2上设置有针卡5，针卡5上设置有若干探针6，夹具13为可移动的pad供电夹具，其本体4最简单的情况可以为一个矩形金属块，固定在滑槽1上，磁吸固定块3为一块磁铁，吸附在本体4上，连杆2为金属杆，针卡5为金属板，其上设置有若干探针6，该夹具13采用pogo pin针卡的方式与pad接触进行供电。作为优选的方案，夹具13的本体4可以是一个可以在水
平面的xy方向位移的平台，其中xy正交，用于精确压接到panel的pad上进行供电，需要手动进行pad对位接触。因为pad供电夹具13是可移动、可拆卸的，因此可根据不同panel的pad要求配备不同数量或者不同探针夹具的针卡5。
32.温度控制系统下方设置有水冷器，水冷器可以采用现有技术，用于给半导体制冷制热模块进行降温。
33.本装置服务于大面积tft器件的panel测试，自动化程度高，适用于批量测试，也可以对单个panel进行独立设定测试；同时，本装置采用独立的大尺寸半导体制冷制热模块，可实现区域的独立温控(常见：采用4块独立的大尺寸半导体制冷制热模块，可实现4个区域的独立温控，满足4个16.9寸panel的温控需求，同时也可以实现每两个区域做同样的温控，满足2个31寸panel的温控需求，同时也可以4个区域都做同样的温控，满足1个65寸panel的温控需求)。
34.本装置还配备有iv扫描系统，采用keithley2635b源表实现程控iv扫描，数据采集。还配备有高精密可程控电源：采用zqe801型号的8通道高精密可程控电源，主要用于提供panel的寿命老化测试所需电源。
35.表1高精密可程控电源参数
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对于65寸panel可配备4边的pad供电夹具，其中上下的长边采用可移动滑轨的方式，长边的供电夹具可在短边方向上自由移动；而左右短边采用可拆卸式的方式，主要通过样品台上的螺孔进行固定；
[0038]
对于31寸panel也可以配备4边的pad供电夹具，但是需要在中间额外增加2个pad供电夹具，这两个pad供电夹具采用螺孔固定即可；长边和短边的pad可以移动供电夹具来满足不同位置的供电需求；
[0039]
对于16.9寸panel除了最下面和最上面的长边pad夹具是共用之外，还可以额外增加2条长边pad夹具和若干短边pad夹具，都是采用样品台的螺孔进行固定，从而满足4块16.9寸panel的供电需求；
[0040]
最后应说明的是：以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。