一种光刻胶组合物及应用的制作方法

技术特征：
1.一种光刻胶组合物，其特征在于，该光刻胶组合物包括：聚酰胺酸树脂，重氮萘醌磺酸脂类感光剂和添加剂；所述聚酰胺酸树脂具有如式(1)或式(2)所示的结构单元，式(1)：式(2)：其中，r1和r2各自独立地选自如式(3)所示的结构，式(3)：-o-r
11-(oh)
n
，式(3)中，r
11
选自1-6个碳原子的烷基、2-6个碳原子的烯烃基、3-6个碳原子的炔烃基、1-6个碳原子的至少含氧、氮、硫之一的杂合碳链、或6-12个碳原子的芳香族基团，n为1-6中任意一个整数；r7选自单键、1-4个碳原子的烷基、1-4个碳原子的烷氧基、羰基、磺酸基、芳基、氧、硫、氮中的任意一种；r3选自1-4个碳原子的烷基、1-4个碳原子的至少含氧、氮、硫之一的杂合碳链、或式(4)所示的结构，式(4)：式(4)中，r8和r9各自独立地选自羟基、羧基、氨基、磺酸基中的任意一种；r
10
选自单键、1-4个碳原子的烷基、1-4个碳原子的烷氧基、羰基、磺酸基、芳基、氧、硫、氮中的任意一种；r4、r5和r6各自独立地选自羟基、羧基、氨基、磺酸基中的任意一种。2.根据权利要求1所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述聚酰胺酸树脂具有如下如式(5)、式(6)、式(7)或式(8)所示的结构单元，式(5)：
式(6)：式(7)：；式(8)：3.根据权利要求1所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述重氮萘醌磺酸脂类感光剂具有如式(9)、(10)或(11)所示的结构，式(9)：式(10)：
式(11)：式(9)、(10)、(11)中，d各自独立地选取如式(12)或(13)所示的结构，式(12)：式(13)：4.根据权利要3所述的光刻胶组合物，其特征在于，式(9)、(10)或(11)所示的结构中，d数量为1个、2个或3个。5.根据权利要求1所述的光刻胶组合物，其特征在于，式(3)为式(14)所示的结构，p为1-3中任意一个整数，m为1-10中任意一个整数，n为2、3、4、5中任意一个整数；式(14):6.根据权利要1所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述聚酰胺酸树脂的重均分子量为1000-50000。7.根据权利要1所述的光刻胶组合物，其特征在于，按重量份计，所述光刻胶组合物包括：聚酰胺酸树脂：5-20份；重氮萘醌磺酸脂类感光剂：1-6份；添加剂：1-2份。8.根据权要求1所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述添加剂包括溶剂和表面活性剂。
9.根据权利要求8所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述溶剂为丙二醇甲醚醋酸酯、二甲基乙酰胺、二甲苯、苯甲醚、丙二醇单甲醚、丙二醇单乙醚、丙二醇甲醚乙酸酯、二缩乙二醇甲醚、二缩乙二醇乙醚、丙二醇甲醚醋酸酯、醋酸丁酯、乙酸乙酯、乳酸乙酯、γ-丁内酯、n-甲基吡咯烷酮中的至少一种；所述表面活性剂为含氟类和含硅类表面活性剂中的一种，或含氟类和含硅类表面活性剂多种组合。10.一种如权利要求1-9任意一项所述的光刻胶组合物的应用，其特征在于，所述光刻胶组合物应用于制造平板显示器、功能性芯片或半导体芯片。

技术总结
本发明提供了一种光刻胶组合物及应用，该光刻胶组合物包括：聚酰胺酸树脂，重氮萘醌磺酸脂类感光剂和添加剂；聚酰胺酸树脂具有如式(1)或式(2)所示的结构单元，式(1)：式(2)：其中，R1和R2各自独立地选自如式(3)所示的结构，式(3)：-O-R


技术研发人员：王晓伟
受保护的技术使用者：苏州理硕科技有限公司
技术研发日：2022.01.17
技术公布日：2022/4/15