一种多点测量平面度设备的制作方法

1.本实用新型涉及平面度测量技术领域，具体为一种多点测量平面度设备。


背景技术：

2.平面度是指基片具有的宏观凹凸高度相对理想平面的偏差，平面度是限制实际平面对其理想平面变动量的一项指标，用来控制被测实际平面的形状误差，平面度测量是长度计量技术中对平面度误差的测量，目前的平面度测量设备测量的精度不高，导致测量数据不可靠；不方便对待测产品进行水平支撑，使用不够便利；不具有明显的测量结果指示功能，功能性较差；现提出一种多点测量平面度设备来解决上述问题。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种多点测量平面度设备，以解决上述背景技术中提出测量的精度不高，导致测量数据不可靠的问题。
4.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种多点测量平面度设备，包括机座和操作面板，所述操作面板固定连接在机座前端的顶部，所述操作面板前端的两侧分别设置有操作按钮，所述操作面板前端的中间位置处设置有急停按钮，所述机座的顶端固定连接有支架，所述支架的顶端固定安装有pc控制中心，所述机座的顶端固定连接有四组治具支撑柱，所述治具支撑柱的顶端固定连接有治具底板，所述治具底板顶端的两侧设置有基准支撑结构，所述基准支撑结构包括基准块、弹簧销、收缩槽、支撑弹簧和滑块，所述治具底板的顶端设置有高精度测量机构，所述高精度测量机构包括位移传感器、下压气缸、压块和铆柱。
5.优选的，所述治具底板的底端固定连接有七组位移传感器，所述位移传感器的顶端贯穿治具底板并固定连接有铆柱，所述治具底板顶端的两侧分别固定连接有下压气缸，所述下压气缸的输出端固定连接有压块。
6.优选的，所述基准块分别固定连接在治具底板顶端的两侧，所述基准块的内部设置有收缩槽，所述收缩槽的内部固定连接有支撑弹簧，所述支撑弹簧的顶端固定连接有滑块，所述滑块的顶端固定连接有弹簧销。
7.优选的，所述滑块的外径小于收缩槽的内径，所述滑块滑动连接在收缩槽的内部。
8.优选的，所述基准块与下压气缸分别设置有三组，且基准块与下压气缸之间一一对应，所述压块与弹簧销之间上下对应。
9.优选的，所述pc控制中心前端的一侧设置有显示器，所述pc控制中心前端的另一侧固定连接有iq扩展盒，所述iq扩展盒的顶端固定连接有三色指示灯。
10.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该多点测量平面度设备不仅实现了测量的精度高，测量数据可靠，实现了方便对待测产品进行水平支撑，使用便利，而且实现了具有明显的测量结果指示功能，功能性较强；
11.(1)通过治具底板的底端固定连接有七组位移传感器，位移传感器的顶端贯穿治
具底板并固定连接有铆柱，治具底板顶端的两侧分别固定连接有下压气缸，下压气缸的输出端固定连接有压块，在使用时，启动下压气缸，下压气缸驱动压块下压克服支撑弹簧压力，使产品基准面与基准块顶部的基准面贴合，同时产品被测面与位移传感器顶部的铆柱接触，从而读出实际检测数值，这样采用反向的测量方式，七个点位同时测量，保证测量结构的可靠性；
12.(2)通过基准块分别固定连接在治具底板顶端的两侧，基准块的内部设置有收缩槽，收缩槽的内部固定连接有支撑弹簧，支撑弹簧的顶端固定连接有滑块，滑块的顶端固定连接有弹簧销，在使用时，将待测产品放置在三组基准块顶部的弹簧销上，在测量时弹簧销会完全收缩在收缩槽的内部，滑块在收缩槽内部下压使支撑弹簧收缩，测量结束之后在支撑弹簧的复位弹力作用下弹簧销会自动复位，这样可以方便在连续的测量过程中对产品进行水平支撑，使用较为便利；
13.(3)通过pc控制中心前端的一侧设置有显示器，pc控制中心前端的另一侧固定连接有iq扩展盒，iq扩展盒的顶端固定连接有三色指示灯，在使用时，测量数据会呈现在显示器上，而且iq扩展盒上的三色指示灯会对测量结果进行明显的指示，方便直观地获取测量结果，提高该设备的功能性。
附图说明
14.图1为本实用新型的正视剖面结构示意图；
15.图2为本实用新型的治具底板正视放大结构示意图；
16.图3为本实用新型的基准块正视剖面放大结构示意图；
17.图4为本实用新型的pc控制中心正视放大结构示意图。
18.图中：1、机座；2、操作面板；3、操作按钮；4、治具底板；5、支架；6、pc控制中心；7、治具支撑柱；8、急停按钮；9、位移传感器；10、基准块；11、下压气缸；12、压块；13、铆柱；14、弹簧销；15、收缩槽；16、支撑弹簧；17、滑块；18、显示器；19、iq扩展盒；20、三色指示灯。
具体实施方式
19.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
20.实施例1：请参阅图1-4，一种多点测量平面度设备，包括机座1和操作面板2，操作面板2固定连接在机座1前端的顶部，操作面板2前端的两侧分别设置有操作按钮3，操作面板2前端的中间位置处设置有急停按钮8，机座1的顶端固定连接有支架5，支架5的顶端固定安装有pc控制中心6，机座1的顶端固定连接有四组治具支撑柱7，治具支撑柱7的顶端固定连接有治具底板4，治具底板4顶端的两侧设置有基准支撑结构，基准支撑结构包括基准块10、弹簧销14、收缩槽15、支撑弹簧16和滑块17，治具底板4的顶端设置有高精度测量机构，高精度测量机构包括位移传感器9、下压气缸11、压块12和铆柱13；
21.治具底板4的底端固定连接有七组位移传感器9，位移传感器9的顶端贯穿治具底板4并固定连接有铆柱13，治具底板4顶端的两侧分别固定连接有下压气缸11，下压气缸11
的输出端固定连接有压块12；
22.具体地，如图1和图2所示，在使用时，启动下压气缸11，下压气缸11驱动压块12下压克服支撑弹簧16压力，使产品基准面与基准块10顶部的基准面贴合，同时产品被测面与位移传感器9顶部的铆柱13接触，从而读出实际检测数值，这样采用反向的测量方式，七个点位同时测量，保证测量结构的可靠性。
23.实施例2：基准块10分别固定连接在治具底板4顶端的两侧，基准块10的内部设置有收缩槽15，收缩槽15的内部固定连接有支撑弹簧16，支撑弹簧16的顶端固定连接有滑块17，滑块17的顶端固定连接有弹簧销14；
24.滑块17的外径小于收缩槽15的内径，滑块17滑动连接在收缩槽15的内部；
25.基准块10与下压气缸11分别设置有三组，且基准块10与下压气缸11之间一一对应，压块12与弹簧销14之间上下对应；
26.具体地，如图1和图3所示，在使用时，将待测产品放置在三组基准块10顶部的弹簧销14上，在测量时弹簧销14会完全收缩在收缩槽15的内部，滑块17在收缩槽15内部下压使支撑弹簧16收缩，测量结束之后在支撑弹簧16的复位弹力作用下弹簧销14会自动复位，这样可以方便在连续的测量过程中对产品进行水平支撑，使用较为便利。
27.实施例3：pc控制中心6前端的一侧设置有显示器18，pc控制中心6前端的另一侧固定连接有iq扩展盒19，iq扩展盒19的顶端固定连接有三色指示灯20；
28.具体地，如图1和图4所示，在使用时，测量数据会呈现在显示器18上，而且iq扩展盒19上的三色指示灯20会对测量结果进行明显的指示，方便直观地获取测量结果，提高该设备的功能性。
29.工作原理：本实用新型在使用时，首先，将待测产品放置在三组基准块10顶部的弹簧销14上，启动下压气缸11，下压气缸11驱动压块12下压克服支撑弹簧16压力，弹簧销14会完全收缩在收缩槽15的内部，滑块17在收缩槽15内部下压使支撑弹簧16收缩，此时产品基准面与基准块10顶部的基准面贴合，同时产品被测面与位移传感器9顶部的铆柱13接触，从而读出实际检测数值，这样采用反向的测量方式，七个点位同时测量，保证测量结构的可靠性，测量结束之后在支撑弹簧16的复位弹力作用下弹簧销14会自动复位，这样可以方便在连续的测量过程中对产品进行水平支撑，使用较为便利，而且测量数据会呈现在显示器18上，而且iq扩展盒19上的三色指示灯20会对测量结果进行明显的指示，方便直观地获取测量结果，提高该设备的功能性。
30.对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。