一种单晶硅电容式三轴加速度计的制作方法

1.本实用新型涉及加速度计技术领域，具体为一种单晶硅电容式三轴加速度计。


背景技术：

2.加速度计是测量加速度的仪表，在某些控制系统中，常需要加速度信号作为产生控制作用所需的信息的一部分，需要用到加速度计，但加速度计在实际使用过程中会受多方面因素影响导致测量不稳，当加速度计长时间使用时内部电路产生的热能会改变电路本身的电阻，导致电容的数值改变，影响测量。鉴于此，我们提出一种单晶硅电容式三轴加速度计。


技术实现要素：

3.本实用新型提供了一种单晶硅电容式三轴加速度计，以解决上述背景技术中提出的加速度计内部较热的问题。
4.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
5.一种单晶硅电容式三轴加速度计，包括箱体，所述箱体的一侧安装有冷却机构，所述箱体包括外壳体、表芯以及接线柱，所述外壳体设置在箱体外围起支撑作用，所述表芯安装于所述外壳体内，所述接线柱与所述表芯表面固定连接且穿出所述外壳体。
6.作为优选的技术方案，所述冷却机构包括水箱、若干支撑脚、水泵、进水管、降温管以及出水管，所述水箱设置在箱体的一侧，所述水箱两侧均设有支撑脚，所述水泵安装于所述水箱内部，所述进水管和出水管均与降温管相连接，所述降温管与所述表芯相贴合，所述出水管与水泵相连接。
7.作为优选的技术方案，所述水箱侧面上开设有观测孔。
8.作为优选的技术方案，所述进水管与所述出水管均通过软管与所述水箱连接。
9.作为优选的技术方案，所述降温管呈半圆柱体结构，且非弧形侧表面紧贴所述表芯侧表面。
10.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：通过将降温管紧贴表芯侧表面，水流通过降温管时会将表芯内的热量带走，且使用软管连接水箱和水管，防止水泵运行时产生的震动影响加速度计测量精度。
附图说明
11.图1为本实用新型的整体的结构示意图；
12.图2为本实用新型中箱体内部的结构示意图；
13.图3为本实用新型中冷却机构的结构示意图。
14.图中：
15.箱体1；外壳体11；表芯12；接线柱13；
16.冷却机构2；水箱21；观测孔22；支撑脚23；水泵24；进水管25；降温管26；出水管27。
具体实施方式
17.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
18.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
19.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
20.请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：
21.一种单晶硅电容式三轴加速度计，包括箱体1，箱体1右侧安装有冷却机构2，箱体1包括外壳体11、表芯12以及接线柱13，外壳体11设置在箱体1外围起支撑作用，表芯12安装于外壳体11内，接线柱13与表芯12侧表面固定连接且穿过外壳体11侧表面。
22.冷却机构2包括水箱21、若干支撑脚23、水泵24、进水管25、降温管26以及出水管27，水箱21放置于箱体1右侧，支撑脚23设置在水箱21两侧，水泵24安装于水箱21内部，进水管25、降温管26、出水管27以及水泵24依次相连接，降温管与表芯12紧密贴合，水泵工作后，水流依次经过进水管、降温管和出水管，通过水流通过将表芯12内产生的热量带走。
23.作为本实施例的优选，水箱21侧表面上开设有观测孔22，便于实时监测水箱21内水流的量。
24.作为本实施例的优选，进水管25与出水管27均通过软管与水箱21连接连接，通过使用软管连接能够减少水泵24工作时产生的震动对加速度计的影响。
25.作为本实施例的优选，降温管26呈半圆柱体结构，且非弧形侧表面紧贴表芯12侧表面，增大水流通过区域与表芯12侧表面的贴合面积，增加散热效率。
26.本实用新型的单晶硅电容式三轴加速度计在使用时，首先，通过接线柱13将加速度计连接到需要使用的位置，随后打开水泵24，水流从进水管25进入降温管26之中，再从出水管27回到水箱21中，当水流位于降温管26的时候，降温管26与表芯12贴合的表面的温度就会在一定程度上被水流带走，起到一个降温的作用，增加加速度计使用时的精度，并可通过观测孔22检查水箱21内水量。
27.以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的仅为本实用新型的优选例，并不用来限制本实用新型，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。


技术特征：
1.一种单晶硅电容式三轴加速度计，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)的一侧安装有冷却机构(2)，所述箱体(1)包括外壳体(11)、表芯(12)以及接线柱(13)，所述外壳体(11)设置在箱体(1)外围起支撑作用，所述表芯(12)安装于所述外壳体(11)内，所述接线柱(13)与所述表芯(12)表面固定连接且穿出所述外壳体(11)。2.如权利要求1所述的单晶硅电容式三轴加速度计，其特征在于：所述冷却机构(2)包括水箱(21)、若干支撑脚(23)、水泵(24)、进水管(25)、降温管(26)以及出水管(27)，所述水箱(21)设置在箱体(1)的一侧，所述水箱(21)两侧均设有支撑脚(23)，所述水泵(24)安装于所述水箱(21)内部，所述进水管(25)和出水管(27)均与降温管(26)相连接，所述降温管(26)与所述表芯(12)相贴合，所述出水管(27)与水泵(24)相连接。3.如权利要求2所述的单晶硅电容式三轴加速度计，其特征在于：所述水箱(21)侧面上开设有观测孔(22)。4.如权利要求2所述的单晶硅电容式三轴加速度计，其特征在于：所述进水管(25)与所述出水管(27)均通过软管与所述水箱(21)连接。5.如权利要求2所述的单晶硅电容式三轴加速度计，其特征在于：所述降温管(26)呈半圆柱体结构，且非弧形侧表面紧贴所述表芯(12)侧表面。

技术总结
本实用新型涉及加速度计技术领域，具体为一种单晶硅电容式三轴加速度计，包括箱体，所述箱体右侧安装有冷却机构，所述箱体包括外围起支撑作用的外壳体、安装于所述外壳体内的表芯以及与所述表芯侧表面固定连接且穿过所述外壳体侧表面的接线柱，通过将降温管紧贴表芯侧表面，水流通过降温管时会将表芯内的热量带走，且使用软管连接水箱和水管，防止水泵运行时产生的震动影响加速度计测量精度。时产生的震动影响加速度计测量精度。时产生的震动影响加速度计测量精度。


技术研发人员：姚茂涛
受保护的技术使用者：重庆阿尼驰电子有限责任公司
技术研发日：2021.08.20
技术公布日：2022/3/29