生产异常的根因定位方法、装置、设备、介质及产品与流程

技术特征：
1.一种生产异常的根因定位方法，其特征在于，包括：获取目标批次产品的设备履历信息和不良率信息；其中，所述设备履历信息包括所述目标批次产品在不同层级的根因单元的履历信息；基于所述设备履历信息中目标层级的履历信息，构建沿目标路径的多个虚拟平行单元；其中，所述目标路径为所述目标批次产品在所述目标层级的路径；所述虚拟平行单元中包括所述目标批次产品中的产品经过所述目标层级中根因单元生成的虚拟单元；基于所述目标批次产品的设备履历信息和不良率信息，获得各所述虚拟平行单元的不良集中度值；基于各所述虚拟平行单元的不良集中度值，确定异常根因。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于所述设备履历信息中目标层级的履历信息，构建沿目标路径的多个虚拟平行单元的步骤之前，还包括：移除所述设备履历信息中过片率值低于过片率阈值的根因单元对应的履历信息，获得过滤设备履历信息；所述基于所述设备履历信息中目标层级的履历信息，构建沿目标路径的多个虚拟平行单元的步骤，包括：基于所述过滤设备履历信息中目标层级的履历信息，构建沿目标路径的多个虚拟平行单元。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述基于所述过滤设备履历信息中目标层级的履历信息，构建沿目标路径的多个虚拟平行单元的步骤，包括：基于所述过滤设备履历信息中目标层级的履历信息，获得目标路径；基于所述过滤设备履历信息中目标层级的履历信息，构建沿目标路径的多个虚拟平行单元。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于所述目标批次产品的设备履历信息和不良率信息，获得各所述虚拟平行单元的不良集中度值的步骤，包括：对所述虚拟平行单元中各虚拟单元的产品进出时间做单一化处理，以更新所述设备履历信息和所述不良率信息；基于更新后的设备履历信息和更新后的不良率信息，获得各所述虚拟平行单元的不良集中度值。5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述对所述虚拟平行单元中各虚拟单元的产品进出时间做单一化处理，以更新所述设备履历信息和所述不良率信息的步骤，包括：对所述虚拟平行单元中各虚拟单元的产品进出时间取最大值或最小值，以更新所述设备履历信息和所述不良率信息。6.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述基于更新后的设备履历信息和更新后的不良率信息，获得各所述虚拟平行单元的不良集中度值的步骤，包括：根据如下关系式，获得各所述虚拟平行单元的不良集中度值：其中，表示虚拟平行单元的不良集中度，表示虚拟平行单元的不良率真实分
布，表示虚拟平行单元的不良率均匀化分布分布，k表示虚拟平行单元的不良产品数量，m代表所有虚拟平行单元涉及的产品总量。7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于各所述虚拟平行单元的不良集中度值，确定异常根因的步骤，包括：基于各所述虚拟平行单元的不良集中度值，获得各所述虚拟平行单元对应的根因单元的不良解释度值；基于各所述虚拟平行单元对应的根因单元的不良解释度值，确定异常根因。8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述基于各所述虚拟平行单元的不良集中度值，获得各所述虚拟平行单元对应的根因单元的不良解释度值的步骤，包括：根据如下关系式，获得不良解释度值：其中，degree表示不良解释度，ctro表示不良集中度，is表示所述虚拟平行单元的产品不良率，pv表示所述虚拟平行单元的过片率。9.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述基于各所述虚拟平行单元对应的根因单元的不良解释度值，确定异常根因的步骤，包括：根据各所述虚拟平行单元的不良解释度值的异常情况，确定异常根因。10.根据权利要求1-9中任一项所述的方法，其特征在于，所述根因单元包括：站点、设备、子设备和腔室中的至少一种。11.一种生产异常的根因定位装置，其特征在于，包括：数据获取模块，用于获取目标批次产品的设备履历信息和不良率信息；其中，所述设备履历信息包括所述目标批次产品在不同层级的根因单元的履历信息；虚拟构建模块，用于基于所述设备履历信息中目标层级的履历信息，构建沿目标路径的多个虚拟平行单元；其中，所述目标路径为所述目标批次产品在所述目标层级的路径；所述虚拟平行单元中包括所述目标批次产品中的产品经过所述目标层级中根因单元生成的虚拟单元；变量获得模块，用于基于所述目标批次产品的设备履历信息和不良率信息，获得各所述虚拟平行单元的不良集中度值；根因确定模块，用于基于各所述虚拟平行单元的不良集中度值，确定异常根因。12.一种电子设备，其特征在于，该电子设备包括存储器和处理器，所述存储器中存储有计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序，实现如权利要求1-10中任一项所述的方法。13.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质上存储有计算机程序，处理器执行所述计算机程序，实现如权利要求1-10中任一项所述的方法。14.一种计算机程序产品，其特征在于，所述计算机程序产品在被处理器时，实现如权利要求1-10中任一项所述的方法。

技术总结
本申请的实施例提供一种生产异常的根因定位方法、装置、设备、介质及产品，该方法通过获取目标批次产品的设备履历信息和不良率信息；基于所述设备履历信息中目标层级的履历信息，构建沿目标路径的多个虚拟平行单元；基于所述目标批次产品的设备履历信息和不良率信息，获得各所述虚拟平行单元的不良集中度值；基于各所述虚拟平行单元的不良集中度值，确定异常根因。该方法可以提高不良根因定位的准确性；尤其对于产品生产过程中的突发不良时数据较少的情况，可以显著提高不良根因定位的准确性，解决了产品生产过程根因定位准确性低的技术问题。术问题。术问题。


技术研发人员：ꢀ(74)专利代理机构
受保护的技术使用者：成都数之联科技股份有限公司
技术研发日：2022.02.22
技术公布日：2022/3/25