基于模拟电压源的集成电路电压参数标准复现装置及方法与流程

1.本发明涉及集成电路测试系统计量技术领域，尤其是涉及一种基于模拟电压源的集成电路电压参数标准复现装置及方法。


背景技术：

2.集成电路测试系统校准微电子参数计量的重要内容，由于集成电路测试系统一般都具有成百上千个独立的通道，对其校准一般有两种方法，一种是通过多通道切换，一般是通过建立参数标准。第一种方式的切换矩阵是影响参数准确度的重要因素，也是该方法的瓶颈。第二种是新兴的方法，通过建立参数标准实现对参数的准确复现，集成电路测试系统测试参数标准的过程即实现了对测试系统的校准。
3.目前参数标准类装置经历了3代发展，第一代是选用
‘
金器件’作为参数标准，利用稳定的集成电路作为参数标准或者传递标准，该方法限制信号范围及准确度限制较大，第二代选用基于标准电阻的参数标准，选用精密电阻代替集成电路管脚内部的二极管，通过给管脚施加电压并通过欧姆定律计算出管脚电流，同时装置测量管脚电流，比较计算电流和测量电流大小实现对电流参数的校准，该方法准确度受到施加电压准确度的影响较大。


技术实现要素：

4.本发明提出一种基于模拟电压源的集成电路电压参数标准复现装置及方法，以克服上述技术不足。
5.为达到上述技术目的，本发明提供一种基于模拟电压源的集成电路电压参数标准复现装置，其包括复现控制单元和至少一个模拟电压源，所述复现控制单元分别与每一个模拟电压源通信连接。
6.优选的，每一个模拟电压源均并联有一钳位电路。
7.优选的，所述模拟电压源包括电压源电路、功率放大电路、电压采样反馈电路，其中，电压源电路、功率放大电路依次串联，所述电压采样反馈电路的输入端与功率放大电路的输出端电性连接，所述电压采样反馈电路的输出端与电压源电路的输入端电性连接。
8.本发明还提供一种采用上述基于模拟电压源的集成电路电压参数标准复现装置的集成电路电压参数标准复现方法，其包括如下步骤：
9.将基于模拟电压源的集成电路电压参数标准复现装置中的模拟电压源的输出端与集成电路测试系统的参数测试管脚电性连接；
10.复现控制单元控制模拟电压源向集成电路测试系统的参数测试管脚输出预设标准电压值，集成电路测试系统对基于模拟电压源的集成电路电压参数标准复现装置进行驱流测压测试，测量得到集成电路测试系统参数测试管脚的测试电压值；
11.将参数测试管脚的测试电压值与模拟电压源输出的预设标准电压值进行比较，计算得到测量误差，根据测量误差对集成电路测试系统进行校准。
12.优选的，所述复现控制单元与集成电路测试系统的控制器通信连接，当集成电路
测试系统的控制器控制系统电流源输出测试电压时，所述复现控制单元控制模拟电压源输出预设标准电压值。
13.与现有技术相比，本发明通过复现控制单元控制模拟电压源输出预设标准电压值，来为集成电路测试系统的校准参考标准，并通过控制集成电路测试系统对基于模拟电压源的集成电路电压参数标准复现装置进行驱流测压测试，测量得到集成电路测试系统的测试电压值；将测试电压值与模拟电压源输出预设标准电压值进行比较，得到集成电路测试系统参数测试管脚的测量误差，从而根据测量误差实现对集成电路测试系统的校准。由于所述模拟电压源输出的电压值不受施加电流的影响，因此，本发明所述基于模拟电压源的集成电路电压参数标准复现方法不受外部测试方法影响，进而实现电压参数的准确复现。
附图说明
14.图1是本发明实施例所述基于模拟电压源的集成电路电压参数标准复现装置与集成电路测试系统连接的原理框图；
15.图2是本发明实施例所述基于模拟电压源的集成电路电压参数标准复现装置中模拟电压源的电路原理框图；
16.图3是本发明实施例所述一种基于模拟电压源的集成电路电压参数标准复现方法的步骤框图。
具体实施方式
17.为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
18.基于上述内容，本发明实施例提供一种基于模拟电压源的集成电路电压参数标准复现装置，如图1所示，其包括一个复现控制单元10和一个模拟电压源20，所述复现控制单元10与模拟电压源20通信连接，用于控制模拟电压源20输出预设标准电压值。相应的，还可以同时设置多个模拟电压源20，当具有多个模拟电压源20时，所述复现控制单元10分别与每一个模拟电压源20通信连接，用于分别控制不同的模拟电压源20输出不同的预设标准电压值。
19.如图2所示，所述模拟电压源20包括电压源电路21、功率放大电路22、电压采样反馈电路23，其中，电压源电路21、功率放大电路22依次串联，所述电压源电路21的输入端与复现控制单元10的控制端电性连接，所述功率放大电路22的输出端与模拟电压输出端电性连接，所述电压采样反馈电路23的输入端与功率放大电路22的输出端电性连接，所述电压采样反馈电路23的输出端与电压源电路21的输入端电性连接。为避免模拟电压源20在驱动电流到外部电路中后产生的电压高出电路设计的承受电压，如图2所示，所述模拟电压源20并联有一钳位电路30。所述电压源电路21、功率放大电路22、电压采样反馈电路23以及钳位电路30均为常规功能电路。
20.利用上述基于模拟电压源的集成电路电压参数标准复现装置提出一种基于模拟电压源的集成电路电压参数标准复现方法，如图3所示，其包括如下步骤：
21.s1、将基于模拟电压源的集成电路电压参数标准复现装置中的模拟电压源20的输出端与集成电路测试系统的参数测试管脚电性连接；当具有多个模拟电压源20时，将基于模拟电压源的集成电路电压参数标准复现装置中每一个模拟电压源20的输出端分别与集成电路测试系统的多个参数测试管脚一一对应电性连接；
22.s2、复现控制单元10控制模拟电压源20向集成电路测试系统的参数测试管脚输出预设标准电压值，集成电路测试系统对基于模拟电压源的集成电路电压参数标准复现装置进行驱流测压测试，测量得到集成电路测试系统参数测试管脚的测试电压值；
23.s3、将参数测试管脚的测试电压值与模拟电压源20输出的预设标准电压值进行比较，计算得到测量误差，根据测量误差对集成电路测试系统进行校准。
24.其中，所述模拟电压源20能够在施加不同的电压的情况下能够输出和吸收设定阈值范围内的电流并保持稳定的电压输出。
25.如图1所示，通过将模拟电压源20的输出端与集成电路测试系统的参数测试管脚电性连接，即实现了基于模拟电压源的集成电路电压参数标准复现装置与集成电路测试系统的参数测试单元相连，然后集成电路测试系统的系统电流源40向基于模拟电压源的集成电路电压参数标准复现装置输出测试电流，模拟电压源20吸收测试电流，并由复现控制单元10控制模拟电压源20向集成电路测试系统的参数测试管脚输出预设标准电压值，集成电路测试系统根据输出的预设标准电压值完成测试流程，并由系统电压表50测量得到集成电路测试系统参数测试管脚的测试电压值，将参数测试管脚的测试电压值与模拟电压源20输出预设标准电压值进行比较，并计算得到测量误差，根据测量误差对集成电路测试系统进行校准。
26.进一步的，还可以将所述复现控制单元10与集成电路测试系统的控制器通信连接，实现集成电路测试系统与基于模拟电压源的集成电路电压参数标准复现装置之间的联动控制，则当集成电路测试系统的控制器控制系统电流源40输出测试电压时，所述复现控制单元10控制模拟电压源20输出预设标准电压值。
27.本发明所述一种基于模拟电压源的集成电路电压参数标准复现装置及方法，其通过复现控制单元10控制模拟电压源20输出预设标准电压值，来为集成电路测试系统的校准参考标准，并通过控制集成电路测试系统对基于模拟电压源的集成电路电压参数标准复现装置进行驱流测压测试，测量得到集成电路测试系统参数测试管脚的测试电压值；将测试电压值与模拟电压源20输出预设标准电压值进行比较，得到集成电路测试系统的测量误差，从而根据测量误差实现对集成电路测试系统的校准。由于所述模拟电压源20输出的电压值不受施加电流的影响，因此，本发明所述基于模拟电压源的集成电路电压参数标准复现方法不受外部测试方法影响，进而实现电压参数的准确复现。
28.所属领域的技术人员可以清楚地了解到，为描述的方便和简洁，上述描述的系统，装置和模块的具体工作过程，可以参考前述方法实施例中的对应过程，在此不再赘述。
29.以上所述，以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。