半导体设备的载入装置以及半导体设备的制作方法

技术特征：
1.一种半导体设备的载入装置，其特征在于，包括：载台，用于承载配置有第一活动开口的电子元件存储盒；与所述电子元件存储盒相吸附的片库接口板，所述片库接口板配置有与所述第一活动开口相对的第二活动开口；以及，布置于半导体设备正面的升降机构，用于在纵向移动时同时带动所述片库接口板和所述电子元件存储盒纵向移动以调节所述片库接口板的第二活动开口和所述电子元件存储盒的第一活动开口的垂直位置。2.根据权利要求1所述的载入装置，其特征在于，所述升降机构包括：纵向布置于半导体设备正面的纵梁；布置于所述纵梁上的移动件，所述移动件纵向移动时同时带动所述片库接口板和所述电子元件存储盒纵向移动。3.根据权利要求2所述的载入装置，其特征在于，所述升降机构还包括：布置于所述移动件上的固定件，用于固定所述电子元件存储盒。4.根据权利要求3所述的载入装置，其特征在于，所述移动件配置为横置于所述纵梁上且沿所述纵梁纵向移动的移动横梁，所述固定件配置为用于夹持所述电子元件存储盒的夹持件。5.根据权利要求4所述的载入装置，其特征在于，所述夹持件配置为一对夹板，所述电子元件存储盒的外侧布置有一对拉手，两个夹板的内壁面形成有用于固定所述拉手的固定部。6.根据权利要求3所述的载入装置，其特征在于，所述移动件配置为纵向布置于所述纵梁上的牵引件，所述固定件配置为用于固定所述电子元件存储盒的钩持件。7.根据权利要求6所述的载入装置，其特征在于，所述纵梁上构造有横向布置的定位梁，所述牵引件布置于所述定位梁上。8.根据权利要求2所述的载入装置，其特征在于，所述移动件配置为移动滑板，所述移动滑板与所述片库接口板紧贴布置，且所述载台与所述片库接口板紧贴布置，所述移动滑板沿所述纵梁纵向移动时同时带动所述片库接口板、所述电子元件存储盒以及所述载台纵向移动；其中，所述移动滑板配置有与所述第二活动开口相对的窗口。9.根据权利要求4或8所述的载入装置，其特征在于，所述纵梁形成有纵向配置的移动轨道，以使所述移动件能够沿所述移动轨道纵向移动。10.一种半导体设备，其特征在于，包括：半导体设备前端模块；以及，权利要求1-9中任一项所述的载入装置，所述载入装置布置于半导体设备前端模块的正面，通过所述升降机构的纵向移动同时带动所述片库接口板和所述电子元件存储盒纵向移动以调节所述片库接口板的第二活动开口和所述电子元件存储盒的第一活动开口的垂直位置。

技术总结
本发明提供了一种半导体设备的载入装置以及半导体设备，该半导体设备的载入装置包括：载台，用于承载配置有第一活动开口的电子元件存储盒；与电子元件存储盒相吸附的片库接口板，片库接口板配置有与第一活动开口相对的第二活动开口；以及，布置于半导体设备正面的升降机构，用于在纵向移动时同时带动片库接口板和电子元件存储盒纵向移动以调节片库接口板的第二活动开口和电子元件存储盒的第一活动开口的垂直位置。本发明解决了现有技术中需要额外大型移动平台设备以实现机器手臂整体或部分垂直方向的长距离移动而导致成本较高、效率低、可靠性存在风险的问题。可靠性存在风险的问题。可靠性存在风险的问题。


技术研发人员：毕迪
受保护的技术使用者：上海果纳半导体技术有限公司
技术研发日：2020.06.28
技术公布日：2022/3/25