前开式晶圆传送盒的制作方法

1.本实用新型涉及一种传送盒，尤其涉及一种前开式晶圆传送盒，属于晶圆自动化传送设备的生产制造技术领域。


背景技术：

2.前开式晶圆传送盒(英文为：front opening unified pod，英文简称：foup)，是半导体元器件生产过程中用于保护、运送并储存晶圆的一种容器，其内部可以容纳多片晶圆，其主要的组成部件为一个能够容纳多片晶圆的前开式容器本体，并有一个前开式的门框专司于容器的开闭，是一种专属于晶圆厂内部自动化传送系统中的重要传载容器。
3.为更好地保护晶圆，通常，前开式晶圆传送盒的本体上还开设有保护气体的进气口和出气口，用于向前开式晶圆传送盒的本体内充入或排出保护气体。
4.此外，在前开式晶圆传送盒的传送过程中，通常需要将前开式晶圆传送盒本体通过其运输盘连接固定在传送系统上，以保证前开式晶圆传送盒本体的传送安全。
5.现有技术中，前开式晶圆传送盒本体与运输盘的连接固定有卡扣连接、螺钉连接等方式，其中，卡扣连接需要通过专用设备进行安装连接；螺钉连接需要在前开式晶圆传送盒本体上通过多个螺钉才能与运输盘进行连接固定，不仅增大了装配的难度，而且不能保证每个螺钉都不会松动，也就是说，此种方式不能保证前开式晶圆传送盒本体的传送安全。


技术实现要素：

6.为克服现有技术的不足，本实用新型提供一种前开式晶圆传送盒，目的在于：
7.简化前开式晶圆传送盒本体与运输盘的连接方式和连接机制，在提高连接效率的基础上，保证连接的有效性和可靠性，进而保证前开式晶圆传送盒本体的传送安全。
8.为达上述目的，本实用新型提供如下的技术方案。
9.一种前开式晶圆传送盒，包括前开式晶圆传送盒本体以及连接在所述前开式晶圆传送盒本体其底面上的运输盘，所述前开式晶圆传送盒本体的开口位于所述前开式晶圆传送盒本体其底面的一侧，所述底面其靠近所述开口一侧的边线内侧设置有前开式晶圆传送盒保护气体出口，所述底面其靠近所述前开式晶圆传送盒本体的底部边线内侧设置有前开式晶圆传送盒保护气体进口，其中：
10.所述前开式晶圆传送盒本体的底面上还设置有螺纹柱，所述运输盘上设置有与所述螺纹柱对应匹配的螺孔，所述运输盘通过其螺孔套装在所述螺纹柱中使之位于所述前开式晶圆传送盒本体的底面上，在所述螺孔中穿出的所述螺纹柱上旋上螺帽，通过所述螺帽将所述运输盘与所述前开式晶圆传送盒本体的底面进行连接固定使之成为一体。
11.进一步的：
12.所述螺纹柱有多个，且多个所述螺纹柱分别沿组成所述前开式晶圆传送盒本体其底面的边缘线进行分布。
13.可选的：
14.所述螺纹柱有六个，其中：
15.两个所述螺纹柱分布在所述前开式晶圆传送盒本体其底面靠近所述前开式晶圆传送盒本体其开口一侧的边线内侧；
16.另外两个所述螺纹柱分别布置在所述前开式晶圆传送盒本体其底面靠近所述前开式晶圆传送盒本体其底部的边角上；
17.还有两个所述螺纹柱分别布置在所述前开式晶圆传送盒本体其底面上位于所述前开式晶圆传送盒本体其开口两侧的边线中部的内侧。
18.优选的：
19.所述螺纹柱为外螺纹管状柱，其中：
20.两个所述外螺纹管状柱分别设置在所述前开式晶圆传送盒本体其底面靠近所述前开式晶圆传送盒本体其开口一侧的所述前开式晶圆传送盒保护气体出口上，设置在所述前开式晶圆传送盒保护气体出口上的所述外螺纹管状柱其管口即为前开式晶圆传送盒保护气体的出气阀门口；
21.另外两个所述外螺纹管状柱分别布置在所述前开式晶圆传送盒本体其底面靠近所述前开式晶圆传送盒本体其底部边角的所述前开式晶圆传送盒保护气体进口上，设置在所述前开式晶圆传送盒保护气体进口上的所述外螺纹管状柱其管口即为前开式晶圆传送盒保护气体的进气阀门口。
22.进一步的：
23.所述螺孔为下凹式台阶孔，且所述下凹式台阶孔的台阶上均匀分布有凸起或凹槽；
24.所述螺帽的底部设置有与所述凸起对应匹配的凹坑或与所述凹槽对应匹配的凸点，当所述螺帽旋在所述螺纹柱上将所述运输盘与所述前开式晶圆传送盒本体的底面进行连接固定时，所述凸起卡入对应的所述凹坑之中或所述凸点卡入对应的所述凹槽之中。
25.进一步的：
26.所述前开式晶圆传送盒本体的底面上还设置有定位柱，所述运输盘上设置有与所述定位柱对应匹配的定位孔，所述运输盘通过其定位孔套装在所述定位柱中，以此确定所述运输盘在所述前开式晶圆传送盒本体的底面上应处的位置。
27.可选的：
28.所述定位柱有两个，两个所述定位柱分别设置在所述前开式晶圆传送盒本体其底面的中部。
29.与现有技术相比，本实用新型的有益效果及其进步在于：
30.1)本实用新型提供的前开式晶圆传送盒中，其前开式晶圆传送盒本体的底面上设置有螺纹柱，其运输盘上设置有与螺纹柱对应匹配的螺孔，运输盘通过其螺孔套装在螺纹柱中使之位于前开式晶圆传送盒本体的底面上，在螺孔中穿出的螺纹柱上旋上螺帽，通过螺帽就可将运输盘与前开式晶圆传送盒本体的底面进行连接固定使之成为一体；
31.2)本实用新型提供的前开式晶圆传送盒，由于其运输盘与前开式晶圆传送盒本体是通过螺纹柱与螺孔的配合，再通过螺帽连接固定在一起的，因而，大大简化了前开式晶圆传送盒本体与运输盘的连接方式，不仅极大地提高了连接的效率，而且保证了连接的有效性和可靠性，进而能够充分保证前开式晶圆传送盒本体的传送安全；
32.3)本实用新型提供的前开式晶圆传送盒，其前开式晶圆传送盒本体与运输盘的连接机制新颖独特、结构简单紧凑、连接方便、工作可靠，因此，极具推广和应用价值。
附图说明
33.为更清楚地说明本实用新型的技术方案，下面将对本实用新型的实施例所需使用的附图作一简单介绍。
34.显而易见地：
35.下面描述中的附图仅是本实用新型中的部分实施例的附图，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图，但这些其他的附图同样属于本实用新型实施例所需使用的附图之内。
36.图1为本实用新型实施例提供的一种前开式晶圆传送盒的立体分解结构示意图；
37.图2为本实用新型实施例提供的一种前开式晶圆传送盒的立体结构示意图；
38.图3为本实用新型实施例附图1中a部的局部放大示意图；
39.图4为本实用新型实施例提供的一种前开式晶圆传送盒其螺帽的立体结构示意图。
40.图中：
41.10-前开式晶圆传送盒本体，11-底面、12-开口、13-前开式晶圆传送盒保护气体出口、14-螺纹柱、15-出气阀门口、16-进气阀门口、17-定位柱；
42.20-运输盘，21-螺孔、22-凹槽、23-定位孔；
43.30-螺帽，31-凸点。
具体实施方式
44.为使本实用新型实施例的目的、技术方案、有益效果及显著进步更加清楚，下面，将结合本实用新型实施例中所提供的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所有描述的这些实施例仅是本实用新型的部分实施例，而不是全部的实施例，基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
45.需要说明的是：
46.本实用新型的说明书和权利要求书以及本实用新型实施例附图中的术语“第一”、“第二”和“第三”(如果存在)等，仅是用于区别不同对象，而非用于描述特定的顺序；
47.此外，术语“包括”以及它们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备没有限定于已列出的步骤或单元，而是可选地还包括没有列出的步骤或单元，或可选地还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
48.需要理解的是：
49.在本实用新型实施例的描述中，术语“上”、“下”、“顶部”、“底部”等指示性方位或位置用词，仅为基于本实用新型实施例附图所示的方位或位置关系，是为了便于描述本实用新型的实施例和简化说明，而不是指示或暗示所述的装置或元件必须具有的特定方位、特定的方位构造和操作，因此，不能理解为是对本实用新型的限制。
50.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接或活动连接，亦可是成为一体；可以是直接连接，也可以是通过中间媒介的间接连接，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
51.还需要说明的是：
52.以下的具体实施例可以相互结合，对于其中相同或相似的概念或过程可能在某些实施例中不再赘述。
53.下面，以具体的实施例对本实用新型的技术方案进行详细说明。
54.实施例
55.本实施例提供一种前开式晶圆传送盒。
56.如图1本实用新型实施例提供的一种前开式晶圆传送盒的立体分解结构示意图、图2本实用新型实施例提供的一种前开式晶圆传送盒的立体结构示意图所示：
57.一种前开式晶圆传送盒，包括前开式晶圆传送盒本体10以及连接在前开式晶圆传送盒本体10其底面11上的运输盘20，前开式晶圆传送盒本体10的开口12位于前开式晶圆传送盒本体10其底面11的一侧，底面11其靠近开口12一侧的边线内侧设置有前开式晶圆传送盒保护气体出口13，底面11其靠近前开式晶圆传送盒本体10的底部边线内侧设置有前开式晶圆传送盒保护气体进口(图中未示出)，其中：
58.前开式晶圆传送盒本体10的底面11上还设置有螺纹柱14，运输盘20上设置有与螺纹柱14对应匹配的螺孔21，运输盘20通过其螺孔21套装在螺纹柱14中使之位于前开式晶圆传送盒本体10的底面11上，在螺孔21中穿出的螺纹柱14上旋上螺帽30，通过螺帽30将运输盘20与前开式晶圆传送盒本体10的底面11进行连接固定使之成为一体。
59.从上述描述中，可以看出：
60.首先，本实施例提供的前开式晶圆传送盒中，其前开式晶圆传送盒本体的底面上设置有螺纹柱，其运输盘上设置有与螺纹柱对应匹配的螺孔，运输盘通过其螺孔套装在螺纹柱中使之位于前开式晶圆传送盒本体的底面上，在螺孔中穿出的螺纹柱上旋上螺帽，通过螺帽就可将运输盘与前开式晶圆传送盒本体的底面进行连接固定使之成为一体；
61.其次，本实施例提供的前开式晶圆传送盒，由于其运输盘与前开式晶圆传送盒本体是通过螺纹柱与螺孔的配合，再通过螺帽连接固定在一起的，因而，大大简化了前开式晶圆传送盒本体与运输盘的连接方式，不仅极大地提高了连接的效率，而且安装不需要依赖其他设备，且能保证连接的有效性和可靠性，进而能够充分保证前开式晶圆传送盒本体的传送安全。
62.进一步的，从图1及图2中还可以看出：
63.螺纹柱14有多个，且多个螺纹柱14分别沿组成前开式晶圆传送盒本体10其底面11的边缘线进行分布。
64.其中，作为一种可选的实施方式，从图1及图2中可以看出，本实施例中：
65.螺纹柱14有六个，其中：
66.两个螺纹柱14分布在前开式晶圆传送盒本体10其底面11靠近前开式晶圆传送盒本体10其开口12一侧的边线内侧；
67.另外两个螺纹柱14分别布置在前开式晶圆传送盒本体10其底面11靠近前开式晶圆传送盒本体10其底部的边角上；
68.还有两个螺纹柱14分别布置在前开式晶圆传送盒本体10其底面11上位于前开式晶圆传送盒本体10其开口12两侧的边线中部的内侧。
69.螺纹柱这样分布，数量不多，却能够与运输盘进行有效的连接，受力面较大，受力均匀，安装方便快捷且安全可靠。
70.优选的，如图1及图2所示，本实施例中：
71.螺纹柱14为外螺纹管状柱，其中：
72.两个外螺纹管状柱分别设置在前开式晶圆传送盒本体10其底面11靠近前开式晶圆传送盒本体10其开口12一侧的前开式晶圆传送盒保护气体出口13上，外螺纹管状柱其管口即为前开式晶圆传送盒保护气体的出气阀门口15；
73.另外两个外螺纹管状柱分别布置在前开式晶圆传送盒本体10其底面靠近前开式晶圆传送盒本体10其底部边角的前开式晶圆传送盒保护气体进口(图中未示出)上，设置在前开式晶圆传送盒保护气体进口(图中未示出)上的外螺纹管状柱其管口即为前开式晶圆传送盒保护气体的进气阀门口16。
74.将螺纹柱设置外螺纹管状柱，且分别安装在前开式晶圆传送盒保护气体出口和前开式晶圆传送盒保护气体进口上，不仅可以简化结构、兼容更多的晶圆生产设备，而且对现有前开式晶圆传送盒生产设备的改动较小，可以节约现有设备的改进成本，获得更好的经济效益和社会效益。
75.进一步的，从图1、以及图3本实用新型实施例附图1中a部的局部放大示意图、图4本实用新型实施例提供的一种前开式晶圆传送盒其螺帽的立体结构示意图中，可以看到：
76.螺孔21为下凹式台阶孔，且下凹式台阶孔的台阶上均匀分布有凸起(图中未示出)或凹槽22；
77.螺帽30的底部设置有与凸起(图中未示出)对应匹配的凹坑(图中未示出)或与凹槽22对应匹配的凸点31，当螺帽30旋在螺纹柱14上将运输盘20与前开式晶圆传送盒本体10的底面11进行连接固定时，凸起(图中未示出)卡入对应的凹坑(图中未示出)之中或凸点31卡入对应的凹槽22之中。
78.当螺孔中设置有凸起或凹槽，同时，在螺帽的底部设置有与凸起对应匹配的凹坑或与凹槽对应匹配的凸点后，当螺帽旋在螺纹柱上将运输盘与前开式晶圆传送盒本体的底面进行连接固定时，凸起就能卡入对应的凹坑之中或凸点卡入对应的凹槽之中，使得螺帽在没有外力的情况下，不会因为前开式晶圆传送盒的震动而导致松动、掉落，从而有效保证运输盘与前开式晶圆传送盒本体连接的可靠，进而保证前开式晶圆传送盒的传送安全。
79.进一步的，从图1及图2中还能看到，本实施例提供的前开式晶圆传送盒中：
80.前开式晶圆传送盒本体10的底面11上还设置有定位柱17，运输盘20上设置有与定位柱17对应匹配的定位孔23，运输盘20通过其定位孔23套装在定位柱17中，以此可以确定运输盘20在前开式晶圆传送盒本体10的底面11上应处的位置，为运输盘20与前开式晶圆传送盒本体10的连接提供方便。
81.可选的，从图1中能够看出，本实施例提供的前开式晶圆传送盒中：
82.定位柱17有两个，两个定位柱17分别位于前开式晶圆传送盒本体10其底面11的中
部。
83.综上所述，可以看出：
84.本实用新型提供的前开式晶圆传送盒，通过前开式晶圆传送盒本体上的螺纹柱与运输盘上螺孔的配合，再通过螺帽进行连接固定，极大地简化了前开式晶圆传送盒本体与运输盘的连接，不仅提高了连接的效率，而且安装不需要其他辅助设备，且能保证连接的有效性和可靠性，能够充分保证前开式晶圆传送盒本体的传送安全；
85.由于本实用新型提供的前开式晶圆传送盒，其前开式晶圆传送盒本体与运输盘的连接机制新颖独特、结构简单紧凑、连接方便、工作可靠，因此，极具推广和应用价值。
86.在上述说明书的描述过程中：
87.术语“本实施例”、“本实用新型实施例”、“如
……
所示”、“进一步的”、“进一步改进的技术分方案”等的描述，意指该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中，在本说明书中，对上述术语的示意性表述不是必须针对相同的实施例或示例，而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点等可以在任意一个或者多个实施例或示例中以合适的方式结合或组合；
88.此外，在不产生矛盾的前提下，本领域的普通技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合或组合。
89.最后应说明的是，以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非是对其的限制，尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换，而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围，本领域技术人员根据本说明书内容所做出的非本质改进和调整或者替换，均属本实用新型所要求保护的范围。