一种基于扫描电镜可抵消磁场干扰的原位加热器的制作方法

技术特征：
1.一种基于扫描电镜可抵消磁场干扰的原位加热器，安装在扫描电镜的样品台上，其特征在于，包括：底板，所述底板包括依次平行固定的底板一(1)、底板二(2)以及底板三(3)，所述底板一(1)远离所述底板二(2)的一侧板面通过多个氧化锆陶瓷柱(4)与所述样品台平行固定；屏蔽管，所述屏蔽管包括一端均与所述底板三(3)固定的屏蔽管一(5)、屏蔽管二(6)以及屏蔽管三(7)，所述屏蔽管一(5)内部依次同轴布置有所述屏蔽管二(6)和所述屏蔽管三(7)；盖板，所述盖板包括盖板一(8)、盖板二(9)以及盖板三(10)，所述屏蔽管一(5)、所述屏蔽管二(6)以及所述屏蔽管三(7)远离所述底板三(3)的一端各自扣设有所述盖板一(8)、所述盖板二(9)以及所述盖板三(10)，所述盖板一(8)、所述盖板二(9)以及所述盖板三(10)的板面上各自开设有通孔一(80)、通孔二(90)以及通孔三(100)，所述通孔一(80)、所述通孔二(90)以及所述通孔三(100)位置对应；坩埚(11)，所述坩埚(11)整体呈柱形且其一端开设有样品放置槽(110)，另一端安装有支撑架(12)，所述坩埚(11)同轴布置在所述屏蔽管三(7)内部，所述支撑架(12)远离所述坩埚(11)的一端穿过所述底板三(3)后与所述底板二(2)固定，所述样品放置槽(110)与所述通孔一(80)位置对应，所述坩埚(11)外壁呈螺旋状盘设有加热钨丝(13)，所述加热钨丝(13)外侧呈螺旋状盘设有屏蔽线(14)，所述加热钨丝(13)与所述屏蔽线(14)的旋向相反且二者通电时产生的电磁场相反；控制器(15)，所述控制器(15)安装在所述扫描电镜上，所述加热钨丝(13)和所述屏蔽线(14)均与所述控制器(15)电性连接。2.根据权利要求1所述的一种基于扫描电镜可抵消磁场干扰的原位加热器，其特征在于，还包括测温组件，所述测温组件包括固定架(16)和热电偶(17)，所述固定架(16)整体呈倒置的“l”形且其一端与所述底板二(2)固定，另一端在依次穿过所述屏蔽管一(5)、所述屏蔽管二(6)以及所述屏蔽管三(7)的侧壁后布置在所述屏蔽管三(7)内部，所述热电偶(17)布置在所述屏蔽管三(7)内部，所述热电偶(17)的接线端穿过所述固定架(16)后布置在所述屏蔽管一(5)的外侧并与所述控制器(15)电性连接，所述坩埚(11)远离所述支撑架(12)的一端开设有热电偶固定槽(111)，所述热电偶固定槽(111)与所述样品放置槽(110)相邻布置，所述热电偶(17)的检测端嵌装在所述热电偶固定槽(111)内。3.根据权利要求1所述的一种基于扫描电镜可抵消磁场干扰的原位加热器，其特征在于，还包括接线柱(18)，所述接线柱(18)平行设置有两个，两个所述接线柱(18)的轴心线共同限定的平面与所述底板三(3)的板面平行，两个所述接线柱(18)通过一个安装块(19)固定在一起，两个所述接线柱(18)一端布置在所述屏蔽管三(7)内部并与所述加热钨丝(13)的两端连接，另一端在依次穿过所述屏蔽管三(7)、所述屏蔽管二(6)以及所述屏蔽管一(5)后与所述控制器(15)通过导线连接。4.根据权利要求1所述的一种基于扫描电镜可抵消磁场干扰的原位加热器，其特征在于，所述底板一(1)、所述底板二(2)以及所述底板三(3)的截面均为矩形，所述底板二(2)靠近所述底板一(1)的一侧板面上垂直固定有多个支撑柱(20)，多个所述支撑柱(20)远离所述底板二(2)的一端与所述底板一(1)的一侧板面固定。5.根据权利要求3所述的一种基于扫描电镜可抵消磁场干扰的原位加热器，其特征在
于，还包括冷却管(21)，所述冷却管(21)固定在所述底板一(1)靠近所述底板二(2)的一侧板面上，所述冷却管(21)的形状与所述底板二(2)的外轮廓适配，所述底板二(2)的外侧壁与所述冷却管(21)的外壁紧密抵接，所述冷却管(21)一端为进水端，另一端为回水端，所述进水端与所述回水端分别与外部冷却水源接通，所述安装块(19)的外侧壁与所述冷却管(21)的外壁固定。6.根据权利要求1所述的一种基于扫描电镜可抵消磁场干扰的原位加热器，其特征在于，还包括偏压线陶瓷管(22)，所述屏蔽管一(5)、所述屏蔽管二(6)以及所述屏蔽管三(7)的外侧壁上开孔并共同支撑有两个互相平行的所述偏压线陶瓷管(22)，两个所述偏压线陶瓷管(22)的管中心线共同限定的平面与所述底板三(3)的板面平行，所述坩埚(11)限位在两个所述偏压线陶瓷管(22)之间，在两个所述偏压线陶瓷管(22)内部各自穿设有一根偏压线(23)，两根所述偏压线(23)均与所述控制器(15)电性连接。

技术总结
本实用新型公开了一种基于扫描电镜可抵消磁场干扰的原位加热器，包括：底板一与样品台固定，屏蔽管包括一端均与底板三固定的屏蔽管一、屏蔽管二以及屏蔽管三；坩埚一端开设有样品放置槽，另一端固定有支撑架，坩埚布置在屏蔽管三内部，支撑架远离坩埚的一端与底板二固定，坩埚外壁呈螺旋状盘设有加热钨丝，加热钨丝外侧呈螺旋状盘设有屏蔽线，加热钨丝与屏蔽线的旋向相反且二者通电时产生的电磁场相反，加热钨丝和屏蔽线均与控制器电性连接。本实用新型通过设置依次同轴布置的屏蔽管一、屏蔽管二以及屏蔽管三，坩埚布置在屏蔽管三内，该设置克服了在扫描电镜内加热的过程中难以成像的问题，在对样品进行高温性能测试时能够取得良好成像。取得良好成像。取得良好成像。


技术研发人员：佟翔宇 张跃飞 唐亮 王晋 张宜旭 程晓鹏 王永峰 刘陵恩
受保护的技术使用者：北京工业大学
技术研发日：2021.10.12
技术公布日：2022/3/16