气体泄漏检测装置、检测的设定方法、检测方法、以及程序与流程

技术特征：
1.一种气体泄漏检测装置，其特征在于，具有：恒流量控制阀，其控制恒流量气体的供给；加压控制阀，其控制测试压气体的供给；供给侧气体回路，其与所述恒流量控制阀和所述加压控制阀连接；基准件侧气体回路，其与基准件连接；工件侧气体回路，其与工件连接；等压阀，其进行所述供给侧气体回路与所述基准件侧气体回路之间的开闭、以及所述供给侧气体回路与所述工件侧气体回路之间的开闭；排气阀，其只进行所述工件侧气体回路与外部之间的开闭；测试压传感器，其对所述供给侧气体回路内的压力进行检测；压差传感器，其对所述基准件侧气体回路与所述工件侧气体回路的压差进行检测。2.一种气体泄漏检测装置，其特征在于，具有：恒流量控制阀，其控制恒流量气体的供给；加压控制阀，其控制测试压气体的供给；供给侧气体回路，其与所述恒流量控制阀和所述加压控制阀连接；基准件侧气体回路，其与基准件连接；工件侧气体回路，其与工件连接；等压阀，其进行所述供给侧气体回路与所述基准件侧气体回路之间的开闭、以及所述供给侧气体回路与所述工件侧气体回路之间的开闭；排气阀，其能够在保持所述基准件侧气体回路与外部之间为关闭的状态下进行所述工件侧气体回路与外部之间的开闭；测试压传感器，其对所述供给侧气体回路内的压力进行检测；压差传感器，其对所述基准件侧气体回路与所述工件侧气体回路的压差进行检测。3.如权利要求1所述的气体泄漏检测装置，其特征在于，使用音速喷嘴供给所述恒流量气体。4.如权利要求1所述的气体泄漏检测装置，其特征在于，所述排气阀为常开式气动阀。5.如权利要求4所述的气体泄漏检测装置，其特征在于，所述等压阀为常闭式气动阀。6.如权利要求2所述的气体泄漏检测装置，其特征在于，使用音速喷嘴供给所述恒流量气体。7.如权利要求2所述的气体泄漏检测装置，其特征在于，所述排气阀为常开式气动阀。8.如权利要求7所述的气体泄漏检测装置，其特征在于，所述等压阀为常闭式气动阀。9.一种气体泄漏检测的设定方法，使用权利要求1或2所述的气体泄漏检测装置，该气体泄漏检测的设定方法的特征在于，作为将合格工件与所述工件侧气体回路连接，使所述等压阀为打开，并使所述排气阀为关闭的状态，
根据在第一规定时间内打开所述恒流量控制阀供给气体时由所述测试压传感器检测的压力，求出等效内容积，作为大泄漏用基准容积，基于所述等效内容积求出连接有所述合格工件的所述工件侧气体回路的等效内容积，作为工件侧基准容积。10.一种气体泄漏检测方法，使用权利要求1所述的气体泄漏检测装置，该气体泄漏检测方法的特征在于，将合格工件与所述工件侧气体回路连接，在使所述等压阀打开，并使所述排气阀关闭的状态下，将通过在第一规定时间内打开所述恒流量控制阀供给气体来求出的等效内容积作为大泄漏用基准容积，将被检工件与所述工件侧气体回路连接，执行如下的步骤：第一泄漏检测步骤，在所述第一泄漏检测步骤中，在使所述等压阀打开，并使所述排气阀关闭的状态下，在第一规定时间内打开所述恒流量控制阀供给气体，之后关闭，由所述测试压传感器对压力进行检测，将基于检测出的压力求出的等效内容积与所述大泄漏用基准容积进行比较，由此来检测有无泄漏；第二泄漏检测步骤，在所述第二泄漏检测步骤中，在使所述等压阀打开，并使所述排气阀关闭的状态下，在第二规定时间内打开所述加压控制阀供给气体，然后关闭，由所述测试压传感器对压力进行检测，确认检测出的压力的变化是否在预先确定的正常范围内，由此来检测有无泄漏；第三泄漏检测步骤，在所述第三泄漏检测步骤中，在所述第二泄漏检测步骤结束后，在使所述等压阀关闭，并使所述排气阀关闭的状态下，在预先确定的时间内由所述压差传感器对压力差进行检测，确认检测出的压力差；压差传感器灵敏度确认步骤，在所述压差传感器灵敏度确认步骤中，在打开所述等压阀，打开所述排气阀，并打开所述恒流量控制阀供给气体的状态下，确认由所述压差传感器检测出的压力差是否在正常的范围内。11.一种气体泄漏检测方法，使用权利要求2所述的气体泄漏检测装置，其特征在于，将合格工件与所述工件侧气体回路连接，在打开所述等压阀，关闭了所述排气阀的状态下，将通过在第一规定时间内打开所述恒流量控制阀供给气体来求出的等效内容积作为大泄漏用基准容积，将被检工件与所述工件侧气体回路连接，执行如下的步骤：第一泄漏检测步骤，在所述第一泄漏检测步骤中，在打开所述等压阀，关闭了所述排气阀的状态下，在第一规定时间内打开所述恒流量控制阀供给气体，然后关闭，由所述测试压传感器对压力进行检测，将基于检测出的压力求出的等效内容积与所述大泄漏用基准容积进行比较，由此来检测有无泄漏；第二泄漏检测步骤，在所述第二泄漏检测步骤中，在打开所述等压阀，关闭了所述排气阀的状态下，在第二规定时间内打开所述加压控制阀供给气体，然后关闭，由所述测试压传感器对压力进行检测，确认检测出的压力的变化是否在预先确定的正常范围内，由此来检测有无泄漏；
第三泄漏检测步骤，在所述第三泄漏检测步骤中，在所述第二泄漏检测步骤结束后，在关闭所述等压阀，关闭了所述排气阀的状态下，在预先确定的时间内由所述压差传感器对压力差进行检测，确认检测出的压力差；压差传感器灵敏度确认步骤，在所述压差传感器灵敏度确认步骤中，在打开所述等压阀，保持所述基准件侧气体回路与外部之间为关闭的状态下打开所述排气阀，以使所述工件侧气体回路与外部之间打开，在打开所述恒流量控制阀供给气体的状态下，确认由所述压差传感器检测出的压力差是否在正常的范围内。12.如权利要求10或11所述的气体泄漏检测方法，其特征在于，将连接合格工件时所述工件侧气体回路的等效内容积作为工件侧基准容积，在所述第三泄漏检测步骤中，将由所述压差传感器检测出的压力差作为所述工件侧气体回路的压力的变化，利用所述工件侧基准容积，求出假设温度恒定时设想的泄漏流量q2，基于设想的泄漏流量q2检测有无泄漏。13.一种程序，其特征在于，用于使权利要求9所述的气体泄漏检测的设定方法、或权利要求10至12中所述的气体泄漏检测方法的任一方法在计算机中执行。

技术总结
本发明提供一种气体泄漏检测装置、气体泄漏检测的设定方法、气体泄漏检测方法、以及程序。本发明的气体泄漏检测装置具有：恒流量控制阀、加压控制阀、供给侧气体回路、基准件侧气体回路、工件侧气体回路、等压阀、排气阀、测试压传感器、以及压差传感器。恒流量控制阀控制恒流量气体的供给。加压控制阀控制测试压气体的供给。供给侧气体回路与恒流量控制阀和加压控制阀连接。在基准件侧气体回路连接有基准件。在工件侧气体回路连接有工件。等压阀进行供给侧气体回路与基准件侧气体回路之间的开闭、以及供给侧气体回路与工件侧气体回路之间的开闭。排气阀进行工件侧气体回路与外部之间的开闭。测试压传感器对供给侧气体回路内的压力进行检测。压差传感器对基准件侧气体回路与工件侧气体回路的压差进行检测。工件侧气体回路的压差进行检测。工件侧气体回路的压差进行检测。


技术研发人员：古瀬昭男 佐佐木理
受保护的技术使用者：株式会社科思莫计器
技术研发日：2021.07.30
技术公布日：2022/3/15