技术特征：
1.一种大面积氧化物阴极等离子体源阴极，包括保护罩(1)和保护块(4)，其特征在于：所述保护罩(1)的内部活动连接有固定座(2)，且固定座(2)的上方固定连接有阳极栅网(3)，所述保护块(4)位于阳极栅网(3)的右侧，且阳极栅网(3)的上方水平安设有安装槽(5)，所述安装槽(5)的内部开设有凹槽(6)，且凹槽(6)的前端活动连接有连接板(7)，所述连接板(7)的上方固定连接有金属板(8)，所述保护罩(1)的上方垂直安设有连接柱(9)，且连接柱(9)的内部开设有卡槽(10)，所述卡槽(10)的前端活动连接有卡块(11)，且卡块(11)的内部开设有螺纹槽(12)，所述螺纹槽(12)的内部活动连接有螺杆(13)，所述安装槽(5)的上方垂直安设有电连片(14)，且电连片(14)的上方固定连接有固定板(15)，所述固定板(15)的上方活动连接有阴极板(16)，且阴极板(16)的内部固定连接有触片(17)，所述阴极板(16)的下方固定连接有定位块(18)，且定位块(18)的后端开设有定位槽(19)。2.根据权利要求1所述的一种大面积氧化物阴极等离子体源阴极，其特征在于：所述保护罩(1)的内表面与固定座(2)的下表面之间紧密贴合，且阳极栅网(3)呈水平状安置于固定座(2)的上表面。3.根据权利要求1所述的一种大面积氧化物阴极等离子体源阴极，其特征在于：所述安装槽(5)的中轴线与金属板(8)的中轴线相重合，且金属板(8)的下表面与连接板(7)的上表面之间紧密贴合。4.根据权利要求1所述的一种大面积氧化物阴极等离子体源阴极，其特征在于：所述卡块(11)的下表面与保护罩(1)的上表面之间紧密贴合，且保护罩(1)通过卡块(11)与卡槽(10)构成滑动结构。5.根据权利要求1所述的一种大面积氧化物阴极等离子体源阴极，其特征在于：所述螺纹槽(12)呈水平状贯穿于卡块(11)内部，且螺纹槽(12)的内部尺寸与螺杆(13)的外部尺寸相吻合。6.根据权利要求1所述的一种大面积氧化物阴极等离子体源阴极，其特征在于：所述电连片(14)呈等距状安置于固定板(15)的下表面，且固定板(15)的上表面与触片(17)的下表面之间紧密贴合。7.根据权利要求1所述的一种大面积氧化物阴极等离子体源阴极，其特征在于：所述阴极板(16)的下表面与定位块(18)的上表面之间紧密贴合，且阴极板(16)通过定位块(18)与定位槽(19)构成滑动结构。
技术总结
本实用新型涉及氧化物阴极等离子体源技术领域，尤其为一种大面积氧化物阴极等离子体源阴极，包括保护罩和保护块，所述保护罩的内部活动连接有固定座，且固定座的上方固定连接有阳极栅网，所述保护块位于阳极栅网的右侧，且阳极栅网的上方水平安设有安装槽，所述安装槽的内部开设有凹槽，且凹槽的前端活动连接有连接板，所述保护罩的上方垂直安设有连接柱，且连接柱的内部开设有卡槽，所述卡槽的前端活动连接有卡块，且卡块的内部开设有螺纹槽，所述螺纹槽的内部活动连接有螺杆，该装置结构简单，使得能够均匀的产生大面积等离子体源，并且便于使用者对装置的内部进行清洁与维修，从而不仅使得结构稳定，而且提高装置使用的寿命。命。命。
技术研发人员：李冰妍
受保护的技术使用者：富时精工（南京）有限公司
技术研发日：2021.09.02
技术公布日：2022/3/8
再多了解一些
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