一种放电腔位置调节装置及准分子激光组件的制作方法

1.本实用新型涉及准分子激光技术领域，尤其是涉及一种放电腔位置调节装置及准分子激光组件。


背景技术：

2.准分子激光器是以准分子为工作物质的一类气体激光器件。由于准分子激光器的放电腔本身和设备框架本身定位后往往位置精度不够，需要进行二次微调。目前，调试过程的常规操作手段是采用手摇轮，即手动旋转手轮从而带动放电腔移动至合适位置，然后松开手轮。
3.目前的手摇轮调节方式由人工手动操作，其精度粗糙，无法精确地控制位移毫米以下量级，人为操作差异性也较大。同时，手动驱动无法准确记录位置信息，粗略估计导致无法提供可靠的数据支撑后续调整。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种放电腔位置调节装置及准分子激光组件，以解决现有技术中存在的上述技术问题。
5.为解决上述技术问题，本实用新型提供一种放电腔位置调节装置，其包括支撑件、电机直线驱动件以及调节件；所述电机直线驱动件固定在所述支撑件上；所述电机直线驱动件与所述调节件连接，用于驱动所述调节件相对所述支撑件做直线运动；所述调节件用于与准分子激光器的放电腔固定。
6.进一步地，所述电机直线驱动件包括电机和丝杠螺母机构；所述电机固定在所述支撑件上；所述电机的动力输出轴与所述丝杠螺母机构的丝杠同轴固定，用于驱动丝杠旋转；所述丝杠螺母机构的螺母与所述调节件固定，用于驱动调节件直线运动。
7.进一步地，所述支撑件上设置有用于检测所述调节件运动位置的限位开关；所述限位开关与所述电机电连接；当所述调节件运动至预设的极限位置时，所述限位开关控制所述电机断电停止工作。
8.进一步地，所述丝杠螺母机构的螺母上固定有限位件，所述限位开关用于检测所述限位件的运动位置。
9.进一步地，所述支撑件上设置有引导结构，所述引导结构用于引导所述调节件沿预设的方向运动。
10.进一步地，所述引导结构为导柱和滑环；所述导柱固定在所述支撑件上，所述滑环滑动套设在所述导柱上，并且所述滑环与所述丝杠螺母机构的螺母固定。
11.进一步地，所述滑环为直线轴承。
12.进一步地，所述调节件为调节筒，所述调节筒的轴线与所述导柱平行；所述导柱为三个，三个所述导柱平行且呈三角形布置，所述滑环套在其中一个所述导柱上；所述调节件放置在三个所述导柱形成的三角形内。
13.进一步地，所述支撑件为支撑筒；所述电机直线驱动件位于所述支撑筒外，所述调节件位于所述支撑筒内。
14.本实用新型还提供一种准分子激光组件，其包括准分子激光器以及上述的放电腔位置调节装置；所述准分子激光器包括框架以及位于所述框架上的放电腔；所述支撑件与所述框架固定，所述调节件与所述放电腔固定。
15.采用上述技术方案，本实用新型具有如下有益效果：
16.本实用新型提供的放电腔位置调节装置，电机直线驱动件以电机作为动力源驱动调节件相对支撑件直线运动，调节件驱动准分子激光器的放电腔直线移动从而调节放电腔的位置。采用电动驱动方式可预设调节距离接收指令并按照指令驱动调节件的运动，与现有技术中手摇轮调节方式相比，作为主动力源的电机可进行闭环控制，使其运动有精确地反馈，便于系统使用，精度大大提高，可精确地控制位移毫米以及量级，也不受人为影响，同时电动驱动方式可准确记录位置信息，为后续调整提供可靠的数据。
附图说明
17.为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
18.图1为本实用新型实施例提供的放电腔位置调节装置的主视图；
19.图2为图1所示的放电腔位置调节装置的另一结构示意图；
20.图3为图1所示的放电腔位置调节装置的剖视图；
21.图4为本实用新型实施例提供的电机直线驱动件的结构示意图；
22.图5为本实用新型实施例提供的准分子激光组件的主视图；
23.图6为图5所示的准分子激光组件的左视图。
24.附图标记：
25.1-调节件；2-限位开关；3-限位件；
26.4-支撑件；5-电机支架；6-轴承座；
27.7-锁紧钉；8-丝杠螺母机构；9-电机；
28.10-导柱；11-支撑轴承；12-滑环；
29.13-电机压块；14-放电腔；15-框架。
具体实施方式
30.下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
31.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定
的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
32.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
33.下面结合具体的实施方式对本实用新型做进一步的解释说明。
34.图1为本实用新型实施例提供的放电腔位置调节装置的主视图，图2为图1所示的放电腔位置调节装置的另一结构示意图，图3为图1所示的放电腔位置调节装置的剖视图，图4为本实用新型实施例提供的电机直线驱动件的结构示意图，如图1至图4所示，本实用新型实施例一方面提供一种放电腔位置调节装置，其包括支撑件4、电机直线驱动件以及调节件1；电机直线驱动件固定在支撑件4上；电机直线驱动件与调节件1连接，用于驱动调节件1相对支撑件4做直线运动；调节件1用于与准分子激光器的放电腔14固定。
35.本实用新型实施例提供的放电腔位置调节装置，电机直线驱动件以电机9作为动力源驱动调节件1相对支撑件4做直线运动，调节件1驱动准分子激光器的放电腔14直线移动从而调节放电腔14的位置。采用电动驱动方式可预设调节距离接收指令并按照指令驱动调节件1的运动，与现有技术中手摇轮调节方式相比，作为主动力源的电机9可进行闭环控制，使其运动有精确地反馈，便于系统使用，精度大大提高，可精确地控制位移毫米以及量级，也不受人为影响，同时电动驱动方式可准确记录位置信息，为后续调整提供可靠的数据。
36.现有技术中的手摇轮形式具体包括手轮和腔体连接筒，手轮为筒状且设置有内螺纹，腔体连接筒外壁设置有外螺纹，手轮套在腔体连接筒外进行螺纹连接，腔体连接筒与准分子激光器的放电腔固定。调节时用手旋转手轮驱动腔体连接筒直线运动从而带动放电腔前后移动位置，移动至合适位置时，松开后轮即可。手轮外圈设置有便于手动调节的花纹。在腔体连接筒和手轮之间设置弹簧，弹簧一侧顶在手轮内壁上，另一侧顶在腔体连接筒内壁，从而起到腔体连接筒与手轮之间的防松作用。该种方式精度粗糙，无法精确地控制位移毫米以下量级，人为操作差异性大，无法准确记录位置信息，并提供可靠的数据支撑后续调整。
37.其中，电机直线驱动件的结构形式可以为多种，只要能够实现以电机作为动力源，其输出为直线运动即可。例如：可以直接采用直线电机输出直线运动驱动力，也可以采用动力输出为旋转驱动力的电机9，通过转向机构将旋转运动转化为直线运动再驱动调节件1直线运动。转向机构可以为多种实现方式，例如：转向机构为圆柱凸轮机构，该圆柱凸轮机构包括圆柱杆、移动杆以及固定架；所述圆柱杆转动设置在固定架上，电机的动力输出轴与圆柱杆连接，用于驱动圆柱杆旋转；圆柱杆的外壁上沿其周向设置有曲线形滑槽，移动杆一端位于曲线形滑槽内，且移动杆与固定架滑动连接。电机动力输出轴驱动圆柱杆在固定架上做旋转运动，圆柱杆旋转的同时移动杆在圆柱杆上的曲线形滑槽内做直线运动。又如：转向机构为齿轮齿条结构，电机动力输出轴与齿轮同轴固定，齿轮与齿条啮合，齿条与调节件1固定，电机驱动齿轮旋转，齿轮驱动齿条直线运动，齿条驱动调节件1直线运动。还如：转向
机构为带轮结构，电机动力输出轴与带轮同轴固定，驱动带轮旋转，同时带轮上的皮带做直线运动。皮带可以直接卡紧在带轮上，也可以通过齿轮结构与带轮啮合进行动力传输。转向机构还可以为蜗轮蜗杆机构，电机动力输出轴与蜗轮同轴固定，驱动蜗轮旋转，同时蜗轮驱动蜗杆做直线运动。
38.当然上述方式并不是最优的方式，电机直线驱动件最优的方式为采用电机9和丝杠螺母机构8配合，即电机直线驱动件包括电机9和丝杠螺母机构8；电机9固定在支撑件4上；电机9的动力输出轴与丝杠螺母机构8的丝杠同轴固定，用于驱动丝杠旋转；丝杠螺母机构8的螺母与调节件1固定，用于驱动调节件1直线运动。丝杠螺母机构8为现有成熟技术，即丝杠上设有螺纹结构，螺母套在丝杠上，动力源驱动丝杠旋转，螺母在丝杠上做直线运动，从而将旋转运动转化为直线运动。本实施例中，电机9驱动丝杠旋转，同时丝杠上的螺母做直线运动，螺母驱动调节件1做直线运动。丝杠螺母机构8结构简单，成本低，便于安装使用。
39.优选地，电机直线驱动机构还包括固定在支撑件4上的支撑轴承11，丝杠螺母机构8的丝杠前端位于支撑轴承11内，支撑轴承11为丝杠提供转动支撑。支撑轴承11通过锁紧钉7固定在轴承座6，轴承座6固定在支撑件4上。电机压块13将丝杠压紧在电机9的输出轴上，并在电机压块13上安装螺栓固定。电机9通过电机支架5固定在支撑件4上。
40.其中，支撑件4的结构形式可以为多种，例如：支撑件4为架体结构，或者支撑件4为块体结构。优选地，支撑件4为支撑筒；电机直线驱动件位于支撑筒外，调节件1位于支撑筒内。具体地，支撑筒的外壁固定有支撑板，通过支撑板将本装置固定在准分子激光器的框架15上，使得调节件1驱动准分子激光器的放电腔14，支撑板的设置便于本装置安装在准分子激光器上。支撑板可以与支撑筒一体加工形成，也可以将支撑板与支撑筒分别加工，再通过螺栓将支撑板与支撑筒固定。支撑板可以为环形，支撑筒的端部与支撑板的内圈固定，支撑筒的端部可以与支撑板的内圈焊接或者卡接固定。支撑板还可以为方形，支撑板的一侧边缘为弧形，该弧形与支撑筒的外壁配合，将支撑板固定在支撑筒的一侧。
41.在一些实施例中，支撑件4上设置有用于检测调节件1运动位置的限位开关2；限位开关2与电机9电连接；当调节件1运动至预设的极限位置时，限位开关2控制电机9断电停止工作。限位开关2用于控制调节件1的极限位置，防止意外发生。优选地，在前后运动的两端分别设置一个限位开关2，从而可检测两端运动极限位置。限位开关2可以直接检测调节件1的位置，也可以通过检测丝杠螺母机构8的螺母位置来间接检测调节件1的位置。优选地，丝杠螺母机构8的螺母上固定有限位件3，限位开关2用于检测限位件3的运动位置，即通过设置限位件3检测丝杠螺母机构8的螺母位置。限位件3可以为限位块或者限位螺钉等，优选地，限位件3为限位螺钉，限位螺钉固定在丝杠螺母机构8的螺母上，同螺母一起做直线运动。
42.在一些实施例中，支撑件4上设置有引导结构，引导结构用于引导调节件1沿预设的方向运动。引导结构的结构形式可以为多种，例如：在支撑件4上设置引导槽，在调节件1或者丝杠螺母机构8的螺母上设置引导块，引导块在引导槽内运动。或者，在支撑件4上设置引导块，在调节件1或者丝杠螺母机构8的螺母上设置引导槽，引导块在引导槽内运动。又或者，在调节件1或者丝杠螺母机构8上设置滚轮，在支撑件4上设置滑轨，滚轮在滑轨内运动，滑轨起到引导作用，同时滚轮滑轮配合方式可以减小运动摩擦，减少动力损耗。当然，引导结构可以为一个，也可以为多个，可以为一种，也可以包含多种不同结构，使用者根据实际
需要进行设置以满足需求即可。
43.上述方式并不是最优选的实施方式，优选地，引导结构为导柱10和滑环12；导柱10固定在支撑件4上，滑环12滑动套设在导柱10上，并且滑环12与丝杠螺母机构8的螺母固定。本实用新型中的滑环12是指套在导柱10上且能够在导柱10上滑动的环状结构，只要能够实现滑动功能均可。具体地，导柱10的两端固定在支撑件4上，当支撑件4为支撑筒时，导柱10的两端固定在支撑筒两端内壁上。丝杠螺母机构8的螺母直线运动的同时，滑环12随螺母运动，并且导柱10对滑环12的运动起到定向移动引导的作用，使得调节件1也沿导柱10做直线运动，提高调节件1运动稳定性。其中，滑环12与导柱10之间的摩擦力尽量小，减少两者接触造成的动力损耗。滑环12可以为简单的套筒结构。
44.优选地，滑环12为直线轴承，直线轴承的外壁与螺母固定，内壁套在导柱10上，采用直线轴承摩擦力小，运动比较稳定，可以提供精度高的平稳直线运动，从而也提高调节件1运动稳定性，直线轴承为成品，可直接使用，成本低，方便加工制造。
45.其中，调节件1的结构形式可以为多种，优选地，调节件1为调节筒，调节筒的轴线与导柱10平行；导柱10为三个，三个导柱10平行且呈三角形布置，滑环12套在其中一个导柱10上；调节件1放置在三个导柱10形成的三角形内。导柱10对调节筒起到引导作用，同时筒状调节件1重量较轻且对放电腔14的作用面积较大，使得调节件1稳定推动放电腔14。
46.图5为本实用新型实施例提供的准分子激光组件的主视图，图6为图5所示的准分子激光组件的左视图，如图5和图6所示，本实用新型实施例另一方面还提供一种准分子激光组件，其包括准分子激光器以及上述的放电腔位置调节装置；准分子激光器包括框架15以及位于框架15上的放电腔14；支撑件4与框架15固定，调节件1与放电腔14固定。使用时通过直线驱动件驱动调节件1在支撑件4上做直线运动，调节件1驱动放电腔14直线运动，从而实现对准分子激光器的放电腔14的位置调节。
47.本实用新型实施例提供的准分子激光组件，电机直线驱动件以电机9作为动力源驱动调节件1相对支撑件4做直线运动，调节件1驱动准分子激光器的放电腔14直线移动从而调节放电腔14的位置。采用电动驱动方式可预设调节距离接收指令并按照指令驱动调节件1的运动，与现有技术中手摇轮调节方式相比，作为主动力源的电机9可进行闭环控制，使其运动有精确地反馈，便于系统使用，精度大大提高，可精确地控制位移毫米以及量级，也不受人为影响，同时电动驱动方式可准确记录位置信息，为后续调整提供可靠的数据。
48.其放电腔位置调节装置的具体结构和实施方式同上述内容，在此不再赘述。
49.由于放电腔14相对框架15运动，两者之间的摩擦力要尽量减小，因此，可以在框架15上设置滑轨，在放电腔14的底部设置滑轮，滑轮沿滑轨运动，从而减小了放电腔14运动时的摩擦力。可以在框架15的两端设置相互平行的两条滑轨，放电腔14的底部两侧均设置一个滑轮，两个滑轮分别沿两条滑轨运动，减小摩擦的同时滑轮可稳定支撑放电腔14，使得放电腔14在运动时的稳定性。当然，滑轨可以为三条以上的多个，相应地，滑轮也设置三条以上的多个，多个滑轮与多个滑轮一一配合。使用者可根据放电腔的尺寸以及实际需求悬着设置滑轨和滑轮的数量，以满足不同情形下的需求。或者将滑轮滑轨结构替换为滑块滑槽结构，即在框架15上设置滑槽，在放电腔14的底部设置滑块，滑块在滑槽内滑动，也可起到引导放电腔14的移动的作用。
50.在一些实施例中，放电腔位置调节装置为多个，优选地，放电腔位置调节装置为两
个，两个放电腔位置调节装置间隔设置，同时作用于放电腔14上驱动放电腔14运动，使得放电腔14移动更加稳定。当然，也可以设置三个以上的多个放电腔位置调节装置，多个放电腔位置调节装置沿放电腔的长度方向依次间隔设置，多个放电腔位置调节装置同时驱动放电腔14运动，使用者可根据实际需要选择放电腔位置调节装置的数量。
51.优选地，在框架15上竖直设置安装板，放电腔位置调节装置的支撑件4固定在安装板上，电机9和螺母丝杠机构8位于下方，调节件1位于上方。当放电腔位置调节装置为多个时，多个放电腔位置调节装置依次间隔固定在安装板上，安装板便于将放电腔位置调节装置安装在框架15上。优选地，安装板的上端与框架15的上端固平齐且固定，电机9和螺母丝杠机构8的高度位于安装板的上边沿，使得调节件1刚好与框架15上的放电腔14连接以驱动放电腔14移动，结构紧凑。
52.最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。