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一种气体保护的扫描电镜样品盒的制作方法

2022-03-02 09:01:25 来源:中国专利 TAG:

技术特征:
1.一种气体保护的扫描电镜样品盒,其特征在于:该样品盒包括盒体(1)、样品杆(2)和连接臂(3),其中:所述的盒体(1),为圆形或者矩形;盒体高度在2mm-200mm;长度在10mm-200mm之间,盒体(1)内有圆形或者矩形的空腔,分样品区和密封区,盒体一端为封闭端,另一端为开口能够插入样品杆(2);所述的样品杆(2)分样品区,密封区和固定区;样品杆(2)的样品区用于承载和固定样品,能够插入盒体样品区的空间中;密封区横截面大小和形状与盒体(1)的密封区一致,样品杆(2)插入盒体(1)后两者密封区能够实现样品区与外界的气体隔绝;固定区与扫描电镜交换仓(4)中的样品台基座(6)通过螺丝连接固定;所述的连接臂(3)的一端与盒盖加工成一体或者通过粘贴实现与盒盖的连结,所述连结是固定连接或可拆卸连接,另一端通过粘贴或者螺丝固定直接与所述交换仓(4)实现连结,所述连结是固定连接或可拆卸连接,但连接臂(3)两端不能同时为固定连接;连接臂(3)长度在5mm~500mm之间。2.根据权利要求1所述的一种气体保护的扫描电镜样品盒,其特征在于:样品杆(2)插入盒体(1)后,密封区能够对样品区进行密封,实现样品与外界气体隔绝,同时通过在密封区增加密封o圈或者在密封区两端增加密封垫增强密封效果。3.根据权利要求1所述的一种气体保护的扫描电镜样品盒,其特征在于:样品台基座(6)与推杆(7)固定连接为一体,扫描电镜交换仓(4)真空度到达后,打开所述交换仓(4)与扫描电镜样品仓(5)的通道阀门,推动推杆(7),盒体(1)由于与交换仓仓体通过连接臂(3)固定不能随推杆(7)平移,在推动过程中,样品杆(2)逐渐从盒体中被拉出直至分离。

技术总结
本实用新型公开了一种气体保护的扫描电镜样品盒,包括盒体、样品杆和连接臂:盒体为圆形或者矩形,在盒体内有圆形或者矩形的空腔,空腔分为样品区和密封区;样品杆分为样品区,密封区和固定区,其中样品杆的样品区用于承载和固定样品,可插入盒体样品区的空间中,样品杆插入盒体后两者密封区可以实现样品区与外界的气体隔绝;连接臂一端与盒体连接,另一端与扫描电镜交换仓连接。样品区通过气体保护,实现了样品与空气的隔绝。在样品盒置于扫描电镜交换仓后,连接臂两端分别与盒体和交换仓连接固定,待交换仓到达扫描电镜设定的真空度后,打开扫描电镜通道阀门将样品推入样品仓。本实用新型使用气体保护的样品盒工艺简单,易于制作且成本低廉。于制作且成本低廉。于制作且成本低廉。


技术研发人员:周宏敏 付圣权 李明
受保护的技术使用者:中国科学技术大学
技术研发日:2021.05.28
技术公布日:2022/3/1
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