一种半导体废气处理用进气系统及控制方法与流程

技术特征：
1.一种半导体废气处理用进气系统，包括废气进气管路，废气进气管路的出口端与废气处理装置连接，其特征在于，所述废气进气管路的出口端设有第一压力传感器，所述进气系统还包括气体缓存罐和用于将废气进气管路中的废气导向气体缓存罐且对气体缓存罐的出气调压后回流向废气进气管路出口端的气体缓存进气管路。2.根据权利要求1所述半导体废气处理用进气系统，其特征在于，所述废气进气管路包括第一废气进气管、第二废气进气管和连接第一废气进气管与第二废气进气管的第一开关阀，所述第二废气进气管的出口端与废气处理装置连接，所述第一压力传感器设于第二废气进气管的出口端。3.根据权利要求2所述半导体废气处理用进气系统，其特征在于，所述气体缓存进气管路包括缓存输送管和第一回流管，所述缓存输送管上设有第二开关阀，所述第一回流管上设有调节阀，所述缓存输送管的进口端与第一废气进气管连接，缓存输送管的出口端与气体缓存罐的进气口连接，所述气体缓存罐的第一出气口通过第一回流管与第二废气进气管的出口端连接。4.根据权利要求3所述半导体废气处理用进气系统，其特征在于，所述进气系统还包括用于检测气体缓存罐内部压力的第二压力传感器。5.根据权利要求4所述半导体废气处理用进气系统，其特征在于，所述废气进气管路还包括设于第一废气进气管上的三通阀，三通阀的排气口与排气管路连接，所述缓存输送管的进口端与三通阀的出气口连通，所述进气系统还包括第二回流管和设于第二回流管上的第三开关阀，所述第二回流管的一端与气体缓存罐的第二出气口连接，第二回流管的另一端与第一废气进气管的进口端连接。6.根据权利要求5所述半导体废气处理用进气系统，其特征在于，所述第一废气进气管的进气端设有第三压力传感器。7.根据权利要求6所述半导体废气处理用进气系统，其特征在于，所述进气系统还包括控制器，所述第一开关阀、第二开关阀、第三开关阀、第一压力传感器、第二压力传感器、第三压力传感器、调节阀和三通阀均与控制器电连接。8.根据权利要求1-7任一项所述半导体废气处理用进气系统的控制方法，其特征在于，包括：当进气正常运行时，三通阀打开以处于进气直通状态，并打开第一开关阀，关闭第二开关阀和第三开关阀，调节阀的开度为零；当第一压力传感器检测进气压力高于预设范围值时，打开第二开关阀，关闭第一开关阀，控制调节阀的开度使废气处理装置进气口的压力p1在最大设定值p
max
和最小设定值p
min
之间；控制器根据设定的检查间隔时间t，当到达设定的间隔时间后，打开第一开关阀，关闭第二开关阀，调节阀开度为零，通过第一压力传感器检测废气处理装置的进气压力，若压力p1恢复正常使p
min
<p1<p
max
，则控制继续调节调节阀的开度，使压力保持在p
min
<p1<p
max
，直至调节阀安全打开，若压力p1未恢复正常，则返回上级指令以打开第二开关阀，关闭第一开关阀，控制调节阀开度以调节压力p1恢复正常；当第一压力传感器检测的压力和第二压力传感器检测的压力相等时，控制调节阀完全关闭，切换回进气正常运行模式。9.根据权利要求8所述半导体废气处理用进气系统的控制方法，其特征在于，还包括当废气进入气体缓存罐后，气体尚未完全排空时设备产生故障报警停机后，三通阀旁通排气，
同时关闭第一开关阀、第二开关阀和调节阀，打开第三开关阀，当第三压力传感器检测的压力p3和第二压力传感器检测的压力p2相等时，则控制第三开关阀完全关闭。

技术总结
本发明提供了一种半导体废气处理用进气系统及控制方法，进气系统包括废气进气管路，废气进气管路的出口端与废气处理装置连接，所述废气进气管路的出口端设有第一压力传感器，所述进气系统还包括气体缓存罐和用于将废气进气管路中的废气导向气体缓存罐且对气体缓存罐的出气调压后回流向废气进气管路出口端的气体缓存进气管路。本发明通过合理设置进气系统，当废气处理装置进气口气量过大导致压力瞬间升高时，启动气体缓存进气管路，保证设备的正常运行。当进气压力恢复正常后自动切换回原进气管路。原进气管路。原进气管路。


技术研发人员：杨春水 张坤 杨春涛
受保护的技术使用者：安徽京仪自动化装备技术有限公司
技术研发日：2021.10.08
技术公布日：2022/2/28