半导体加工设备的制作方法

1.本技术属于半导体加工设备技术领域，更具体地说，是涉及一种半导体加工设备。


背景技术：

2.在半导体器件的生产过程中，需要采用半导体加工设备对引线进行焊接，从芯片中引线到管脚，也就是将引线的两端焊到芯片引出电极和管脚上，引线一般采用铝丝、铜丝或金丝等，固定芯片和管脚的基板框架一般采用铜框架。在一些半导体器件中，需要焊接不同规格的线材，现有的半导体加工设备通常是在一种线材焊接完毕后，再将基板框架收集起来转移到另一个半导体加工设备上，进行另一种线材的焊接，这种半导体加工设备的自动化程度低，需要人工转移基板框架，人工作业量大，且基板框架易在转移过程中污染，影响产品质量。


技术实现要素：

3.本技术实施例的目的在于提供一种半导体加工设备，以解决现有技术中存在的半导体加工设备自动化程度低的技术问题。
4.为实现上述目的，本技术采用的技术方案是：提供一种半导体加工设备，包括：
5.机柜；
6.上料装置，用于供应板件，所述上料装置安装于所述机柜的一侧；
7.至少两个焊接装置，各所述焊接装置包括用于传输所述板件的输送机构、用于将所述板件夹持固定的夹持平台、用于在所述板件上焊接线材的焊接机构和用于向所述焊接机构供应所述线材的放线机构，所述输送机构、所述夹持平台和所述焊接机构安装于所述机柜中，所述放线机构安装于所述机柜上，各所述输送机构沿所述板件的传输路径设置；以及，
8.下料装置，用于收纳所述板件，所述下料装置安装于所述机柜的另一侧。
9.在一个实施例中，所述上料装置包括：
10.第一料仓，所述第一料仓与所述机柜相连，所述第一料仓中开设有第一输入通道、与所述第一输入通道并排设置的第一输出通道和连接所述第一输入通道的一端与所述第一输出通道的相应一端的第一上料通道；
11.第一输入机构，所述第一输入机构用于将所述第一输入通道中存放的料盒传输至所述第一上料通道，所述第一输入机构安装于所述第一料仓上；
12.第一上料机构，用于沿所述第一上料通道传输所述料盒；
13.推板机构，用于将所述料盒中的板件推入所述输送机构，所述推板机构安装于所述第一料仓上；以及，
14.第一输出机构，用于驱动所述第一上料机构将所述料盒传输至所述第一输出通道，所述第一输出机构安装于所述第一料仓上，所述第一上料机构安装于所述第一输出机构上。
15.在一个实施例中，所述第一上料机构包括第一夹臂、用于驱动所述第一夹臂升降的第一驱动组件、用于与所述第一夹臂配合夹持所述料盒的第二夹臂和用于驱动所述第二夹臂升降的第二驱动组件，所述第一夹臂安装于所述第一驱动组件上，所述第一驱动组件安装于所述机柜上，所述第二夹臂安装于所述第二驱动组件上，所述第二驱动组件安装于所述第一夹臂上。
16.在一个实施例中，所述推板机构包括推杆、用于驱动所述推杆移动的第一推进组件和支撑所述第一推进组件的支架，所述推杆安装于所述第一推进组件上，所述支架与所述第一料仓相连。
17.在一个实施例中，所述第一推进组件包括第一主动齿轮、转动安装于所述支架上的第一从动齿轮、连接所述第一主动齿轮与所述第一从动齿轮的第一同步带和用于驱动所述第一主动齿轮转动的第一电机，所述第一主动齿轮与所述第一电机相连，所述第一电机安装于所述支架上，所述推杆与所述第一同步带相连。
18.在一个实施例中，所述下料装置包括：
19.第二料仓，所述第二料仓与所述机柜相连，所述第二料仓中开设有第二输入通道、与所述第二输入通道并排设置的第二输出通道和连接所述第二输入通道的一端与所述第二输出通道的相应一端的第二上料通道；
20.第二输入机构，所述第二输入机构用于将所述第二输入通道中存放的料盒传输至所述第二上料通道，所述第二输入机构安装于所述第二料仓上；
21.第二上料机构，用于沿所述第二上料通道传输所述料盒；以及，
22.第二输出机构，用于驱动所述第二上料机构将所述料盒传输至所述第二输出通道，所述第二输出机构安装于所述第二料仓上，所述第二上料机构安装于所述第二输出机构上。
23.在一个实施例中，所述第二料仓与所述第一料仓的结构相同，所述第二输入机构与所述第一输入机构的结构相同，所述第二上料机构与所述第一上料机构的结构相同，所述第二输出机构与所述第一输出机构的结构相同。
24.在一个实施例中，所述输送机构包括导轨组、用于沿所述导轨组长度方向推动所述板件的拨杆、用于驱动所述拨杆升降的升降驱动组件和用于驱动升降驱动组件平移的第二推进组件，所述拨杆安装于所述升降驱动组件上，所述升降驱动组件安装于所述第二推进组件上，所述第二推进组件及所述导轨组安装于所述机柜上。
25.在一个实施例中，所述导轨组包括第一传输轨和与所述第一传输轨并列设置的第二传输轨，所述第一传输轨上开设有用于供所述板件的一侧滑动置入的第一滑槽，所述第二传输轨上开设有用于供所述板件的另一侧滑动置入的第二滑槽；所述第二传输轨于所述第二滑槽内安装有用于朝向所述第一传输轨顶推所述板件的弹性件。
26.在一个实施例中，多个所述导轨组呈直线排列状设置，所述上料装置和所述下料装置分别处于多个所述导轨组的两端。
27.本技术提供的半导体加工设备的有益效果在于：与现有技术相比，本技术的半导体加工设备采用多个焊接装置，能够通过各输送机构将板件依次输送至相应夹持平台，然后通过相应的焊接机构将对应的线材焊接在板件上，能够是实现多种线材的连续焊接，有利于提高焊接的自动化程度，提高焊接效率；且能够减少板件的转移，有利于降低人工作业
量，避免在板件转移过程中污染等，有利于保障板件的焊接质量。
附图说明
28.为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
29.图1为本技术实施例提供的半导体加工设备的立体结构示意图；
30.图2为本技术实施例提供的半导体加工设备的内部结构视图；
31.图3为图1中上料装置的立体结构示意图；
32.图4为图1中上料装置的爆炸图；
33.图5为图4中推板机构的立体结构示意图；
34.图6为图2中下料装置的立体结构示意图；
35.图7为图2中输送机构和夹持平台的结构示意图；
36.图8为图7中导轨组的立体结构示意图；
37.图9为图7拨杆、升降驱动组件和第二推进组件的结构示意图；
38.图10为图9中夹持平台的立体结构示意图；
39.图11为图10中夹持平台的爆炸图；
40.图12为图2中焊接机构的立体结构示意图；
41.图13为微升降组件和焊头的立体结构示意图；
42.图14为图2中放线机构的立体结构示意图。
43.其中，图中各附图标记：
44.100-机柜；
45.200-上料装置；
46.21-第一料仓；2101-第一输入通道；2102-第一输出通道；2103-第一上料通道；211-基架；212-第一侧板；2121-第一开口；213-第二侧板；2131-第二开口；
47.22-第一输入机构；
48.23-第一上料机构；231-第一夹臂；232-第一驱动组件；233-第二夹臂；234-第二驱动组件；235-立架；236-第一滑轨；237-第一滑块；238-第二滑块；
49.24-第一输出机构；241-第三滑块；242-第二滑轨；243-直线驱动组件；
50.25-推板机构；251-推杆；252-第一推进组件；2521-第一主动齿轮；2522-第一从动齿轮；2523-第一同步带；2524-第一电机；253-支架；
51.300-焊接装置；
52.31-输送机构；
53.311-导轨组；3111-第一传输轨；3112-第二传输轨；3113-弹性件；3114-第一滑槽；3115-第二滑槽；312-拨杆；313-升降驱动组件；314-第二推进组件；
54.32-夹持平台；
55.321-固定框；
56.322-第一升降组件；3221-第一定位台；3222-第一滑座；3223-第一抵接座；
57.323-第二升降组件；3231-第二定位台；3232-第二滑座；3233-第二抵接座；
58.325-第三驱动组件；3251-第三电机；3252-第一转轴；3253-第一偏心轮；3254-第二偏心轮；3255-第一拉簧；
59.33-焊接机构；
60.331-移动平台；332-旋转组件；333-微升降组件；3331-第一基座；3332-导轨组件；3333-第二基座；3334-直线驱动器；
61.334-焊头；
62.34-放线机构；
63.341-立板；342-放线轴；343-放线组件；3431-主动轮；3432-从动轮；3433-放线驱动器；344-检测组件；3441-限位架；3442-传感器；345-计量组件；3451-第一滚轮；3452-第二滚轮；
64.400-下料装置；
65.41-第二料仓；4101-第二输入通道；4102-第二输出通道；4103-第二上料通道；42-第二输入机构；43-第二上料机构；44-第二输出机构；
66.6-料盒；61-板件；
67.7-线卷；71-线材。
具体实施方式
68.为了使本技术所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
69.需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。
70.需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
71.此外，术语“第一”、“第二”、“第三”、“第四”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”、“第三”、“第四”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
72.请一并参阅图1、图2及图3，现对本技术实施例提供的半导体加工设备进行说明。半导体加工设备包括机柜100、上料装置200、至少两个焊接装置300和下料装置400，上料装置200和下料装置400分别安装于机柜100的两侧，各焊接装置300沿板件61传输路径依次设置，各焊接装置300位于上料装置200与下料装置400之间，在板件61由上料装置200依次经过各焊接装置300时，各焊接装置300均可将板件61夹持固定，并在板件61上焊接线材71。焊接装置300用于在板件61上焊接线材71，焊接装置300包括输送机构31、夹持平台32、焊接机构33和放线机构34，上料装置200用于向输送机构31供应板件61，将板件61传输给输送机构
31；输送机构31用于传输板件61，输送机构31安装于机柜100中，输送机构31将板件61输出机柜100，传送至下料装置400，下料装置400用于收纳板件61；输送机构31位于上料装置200与下料装置400之间，上料装置200、多个输送机构31和下料装置400形成板件61的传输路径，多个输送机构31将板件61由上料装置200传输至下料装置400，实现板件61的连续传输；夹持平台32安装于机柜100中，各夹持平台32位于相应输送机构31的输送路径上，夹持平台32用于将输送机构31上的板件61夹持固定，在输送机构31输送的板件61经过夹持平台32时，夹持平台32可将板件61夹持固定，以便焊接线材71，多个夹持平台32为线材71的焊接提供了多个工位，以便焊接多种线材71。放线机构34安装于机柜100上，放线机构34用于释放线卷7，以向焊接机构33供应线材71，多个放线机构34能够分别释放不同种类的线卷7，以向对应焊接机构33提供相应的线材71。焊接机构33安装于机柜100中，焊接机构33位于夹持平台32的上方，焊接机构33用于将放线机构34提供的线材71焊接在夹持平台32固定的板件61上，在夹持平台32将板件61夹紧时，焊接机构33即可在板件61上焊接线材71。
73.本实施例中，板件61经上料装置200，输送至机柜100内的输送机构31，输送机构31依次朝向下料装置400传输板件61，使得板件61依次经过多个夹持平台32。在板件61经过夹持平台32时，夹持平台32可将板件61夹持固定，以便相应焊接机构33将对应的线材71焊接到板件61上；然后，夹持平台32释放板件61，输送机构31向下一输送机构31传输板件61，这样可以通过多个焊接装置300将不同种类的线材71焊接到板件61上，而避免了在一种线材71焊接完毕后，收纳板件61，然后转移板件61再进行下一种线材71的焊接。这样有利于提高焊接的自动化程度，提高焊接效率；且能够减少板件61的转移，有利于降低人工作业量，避免在板件61转移过程中污染等，有利于保障板件61的焊接质量。
74.进一步地，上料装置200、放线机构34和下料装置400位于机柜100外，这样便于更换料盒6和线卷7，避免机柜100开启，有利于保障机柜100内焊接的质量。
75.在一个实施例中，请一并参阅图2至图4，上料装置200包括第一料仓21、第一输入机构22、第一上料机构23、推板机构25和第一输出机构24，第一料仓21与机柜100相连，第一料仓21中开设有第一输入通道2101、第一输出通道2102和第一上料通道2103，第一输入通道2101用于存放料盒6，第一输出通道2102用于存放料盒6，第一输入通道2101与第一输出通道2102并排设置，第一上料通道2103连通第一输入通道2101的一端与第一输出通道2102的相应一端。第一输入机构22用于沿第一输入通道2101传送料盒6，以将第一输入通道2101中存放的料盒6传输至第一上料通道2103，第一输入机构22安装于第一料仓21上。第一上料机构23用于沿第一上料通道2103传输料盒6，以使料盒6中板件61的位置与输送机构31的位置对应。推板机构25安装于第一料仓21上，推板机构25用于将料盒6中的板件61推入输送机构31，在料盒6中板件61位置与输送机构31位置对应时，即可推动板件61，使板件61进入输送机构31。第一输出机构24安装于第一料仓21上，第一上料机构23安装于第一输出机构24上，第一输出机构24用于驱动第一上料机构23沿第一输出通道2102的长度方向移动，以将料盒6传输至第一输出通道2102。可以将多个料盒6装入第一输入通道2101中，通过第一输入机构22实现料盒6的自动传送，通过第一上料机构23移动料盒6，实现料盒6中板件61与输送机构31位置的对位，通过推板机构25将板件61推入到输送机构31，实现板件61的自动上料，然后第一输出机构24将空料盒6传送至第一输出通道2102存放。这样可以实现料盒6的自动传输和板件61的自动上料，可减少料盒6的更换频次，减少人工作业频率，有利于减少
人工。
76.在一个实施例中，请参阅图2至图4，第一上料机构23包括第一夹臂231、第二夹臂233、第一驱动组件232和第二驱动组件234，第一驱动组件232用于驱动第一夹臂231升降，第一夹臂231安装于第一驱动组件232上，第二夹臂233用于与第一夹臂231配合夹持料盒6，第二夹臂233与第一夹臂231相对设置，第二驱动组件234用于驱动第二夹臂233升降，第二夹臂233安装于第二驱动组件234上，第二驱动组件234安装于第一夹臂231上，第一驱动组件232与第一输出机构24相连。这样既可夹持料盒6，也可实现料盒6的上下移动。第一驱动组件232可以是通过电机驱动滚珠丝杆实现直线移动，第二驱动组件234可以是通过电机驱动滚珠丝杆实现直线移动。
77.在一个实施例中，请参阅图2至图4，第一上料机构23还包括立架235、第一滑轨236、第一滑块237和第二滑块238，立架235与第一输出机构24相连，立架235支撑第一驱动组件232，第一滑轨236设于立架235上，第一滑轨236竖立设置，第一滑块237和第二滑块238分别滑动设于第一滑轨236上，第一滑块237与第一夹臂231固定相连，第二滑块238与第二夹臂233固定相连。这样通过第一滑轨236与第一滑块237和第二滑块238配合，能够提高第一上料机构23的稳定性，减小第一驱动组件232和第二驱动组件234转动的阻力。
78.在一个实施例中，第一输入机构22可以是采用电机驱动滚轮转动，以带动皮带运动，利用皮带实现料盒6的传输。
79.在一个实施例中，请参阅图2至图4，第一输出机构24包括第三滑块241、第二滑轨242和直线驱动组件243，第三滑块241与第一上料机构23相连，第二滑轨242滑动支撑第三滑块241，第三滑块241与直线驱动组件243相连，直线驱动组件243及第二滑轨242与第一料仓21相连。这样直线驱动组件243能够将料盒6传递至第一输出通道2102中。可以是通过第一夹臂231前端与第一输出通道2102一端底部交叉结构，实现料盒6的转移。可选地，直线驱动组件243可以是通过电机驱动滚珠丝杆实现直线移动。
80.在一个实施例中，请参阅图2至图4，第一料仓21包括基架211、第一侧板212和第二侧板213，第一侧板212安装于基架211的一侧，基架211与机柜100相连，第二侧板213安装于基架211的另一侧，第一侧板212和第二侧板213相对设置，第一输入通道2101位于第一侧板212和第二侧板213之间，第一输出通道2102位于第一侧板212和第二侧板213之间，第一上料通道2103位于第一侧板212和第二侧板213之间，第一侧板212和第二侧板213用于限位料盒6的两端；第一侧板212上开设有第一开口2121，第一开口2121用于供板件61推出第一上料通道2103，第一开口2121连通第一上料通道2103与输送机构31；第二侧板213上开设有第二开口2131，第二开口2131用于供推杆251伸入第一上料通道2103，第二开口2131位于第二侧板213上对应第一开口2121的位置；第一输入机构22、第一输出机构24和第一上料机构23分别安装于基架211上。这样通过第一侧板212和第二侧板213能够限位料盒6的两端，防止料盒6沿板件61长度方向移动，保障料盒6位置的稳定，防止第一上料机构23在板件61进出料盒6时偏转。
81.在一个实施例中，请一并参阅图4及图5，推板机构25包括推杆251、第一推进组件252和支架253，推杆251可伸入第二开口2131，第一推进组件252驱动推杆251移动，以将料盒6中的板件61从第一开口2121推入到输送机构31中，支架253支撑第一推进组件252，这样即可将板件61由料盒6传送至输送机构31中。
82.可选地，请一并参阅图4及图5，第一推进组件252包括第一主动齿轮2521、第一从动齿轮2522、第一同步带2523和第一电机2524，第一从动齿轮2522转动安装于支架253上，第一同步带2523连接第一主动齿轮2521与第一从动齿轮2522，第一电机2524用于驱动第一主动齿轮2521转动，第一主动齿轮2521与第一电机2524相连，第一电机2524安装于支架253上，推杆251与第一同步带2523相连。通过第一电机2524驱动第一主动齿轮2521转动能够准确控制推杆251移动的距离，且便于对推杆251行程的调整。当然，第一推进组件252也可采用气缸或直线电机等。
83.在一个实施例中，请参阅图2、图7至图9，输送机构31包括导轨组311、拨杆312、升降驱动组件313和第二推进组件314，导轨组311安装于机柜100上，拨杆312安装于升降驱动组件313上，升降驱动组件313用于驱动拨杆312升降，使得拨杆312能够与导轨组311中的板件61接触或分开；升降驱动组件313安装于第二推进组件314上，第二推进组件314用于驱动升降驱动组件313平移，第二推进组件314安装于机柜100上，在拨杆312与板件61接触时，可推动板件61平移，在拨杆312上升时，拨杆312可平移复位。
84.在一个实施例中，请参阅图9，第二推进组件314包括第二主动齿轮、第二从动齿轮、第二同步带和第二电机，第二从动齿轮转动安装于机柜100上，第二同步带连接第二主动齿轮与第二从动齿轮，第二主动齿轮与第二电机相连，第二电机驱动第二主动齿轮转动，第二升降驱动组件313与第二同步带相连。在第二电机转动时，第二主动齿轮转动，带动第二同步带移动，第二同步带带动升降驱动组件313平移。可选地，第二同步带上安装有第四滑块，机柜100上安装有第四导轨，第四导轨与第四滑块滑动连接，升降驱动组件313安装于第四滑块上。这样能够通过第四导轨与第四滑块配合，保障升降驱动组件313呈直线移动，采用齿轮传动有利于控制拨杆312平移的距离。
85.在一个实施例中，请参阅图9，升降驱动组件313包括固定座、安装于固定座上的升降驱动器和支撑拨杆312的支臂，支臂与升降驱动器相连，固定座与第二推进组件314相连。这样即可实现拨杆312的升降移动。可选地，固定座与第四滑块相连，固定座与支臂滑动连接，这样有利于拨杆312移动的稳定。升降驱动器可以是音圈电机等。
86.在本技术的一个实施例中，请参阅7图及图8，导轨组311包括第一传输轨3111和第二传输轨3112，第二传输轨3112与第一传输轨3111并列设置，第一传输轨3111上开设有第一滑槽3114，第二传输轨3112上开设有第二滑槽3115，第一滑槽3114用于供板件61的一侧滑动置入，第二滑槽3115用于供板件61的另一侧滑动置入；第二传输轨3112上安装有弹性件3113，弹性件3113伸入第二滑槽3115内，弹性件3113用于朝向第一传输轨3111弹性顶推板件61。这样通过第一传输轨3111上的第一滑槽3114与第二传输轨3112上的第二滑槽3115配合能够引导板件61呈直线移动，通过弹性件3113顶推板件61，能够使得板件61抵靠在第一传输轨3111上。这样便于板件61的定位，且有利于增大第一滑槽3114与第二滑槽3115的横截面积，方便板件61的滑动。可选地，弹性件3113包括抵接头、弹片和连接块，抵接头伸入第二滑槽3115中，弹片连接抵接头与连接块，连接块安装于第二传输轨3112上。抵接头靠近第一传输轨3111的一侧呈弧形。这样能够方便弹性件3113的安装，且能够减小板件61与弹性件3113之间的摩擦。
87.可选地，多个导轨组311呈直线排列状设置，上料装置200和下料装置400分别处于多个导轨组311的两端。这样能够实现板件61的直线传输。
88.可选地，导轨组311还包括调节轨，调节轨安装于机柜100上，第二传输轨3112安装于调节轨上，调节轨垂直第一传输轨3111设置，第二传输轨3112在调节轨上的位置可调，这样便于调整第二传输轨3112与第一传输轨3111之间的距离。
89.在一个实施例中，请参阅图7、图10及图11，夹持平台32包括固定框321、第一升降组件322、第二升降组件323和第三驱动组件325，固定框321安装于机柜100上，第一升降组件322包括第一定位台3221和第一滑座3222，第二升降组件323包括第二定位台3231和第二滑座3232，第二定位台3231与第一定位台3221相对设置，第二定位台3231用于与第一定位台3221配合夹持板件61，第一滑座3222支撑第一定位台3221，第二滑座3232支撑第二定位台3231，第一滑座3222滑动插装于固定框321上，第二滑座3232滑动安装于第一滑座3222上；第三驱动组件325用于驱动第一滑座3222与第二滑座3232相互靠近或远离，第三驱动组件325与第一滑座3222和第二滑座3232相连，第三驱动组件325安装于固定框321上。在第一滑座3222与第二滑座3232相互靠近时，能够带动第一定位台3221与第二定位台3231相互靠近，将位于第一定位台3221与第二定位台3231之间的板件61夹紧；在第一滑座3222与第二滑座3232相互远离时，能够带动第一定位台3221与第二定位台3231相互远离，以避免第一定位台3221和第二定位台3231干扰板件61的传输。通过采用一套第三驱动组件325驱动第一滑座3222和第二滑座3232相互运动，能够减少第三驱动组件325的数量，从而降低设备成本，减少动力消耗，且有利于减少设备维护的作业量。进一步地，由于采用一套第三驱动组件325驱动第一滑座3222与第二滑座3232相互靠近或远离，第三驱动组件325安装在固定框321上，这样便于控制第一滑座3222和第二滑座3232同时移动和停止，有利于提高板件61夹持位置的精度。
90.在一个实施例中，请参阅图7、图10及图11，第三驱动组件325包括第一转轴3252、第一偏心轮3253、第二偏心轮3254和第三电机3251，第一转轴3252转动安装于固定框321上，第一偏心轮3253和第二偏心轮3254设于第一转轴3252上，第三电机3251与第一转轴3252相连，第三电机3251用于驱动第一转轴3252转动，第三电机3251安装于固定框321上；第一偏心轮3253的中心(外接圆的圆心)和第二偏心轮3254的中心(外接圆的圆心)分别偏向第一转轴3252的两侧，第一滑座3222上安装有第一抵接座3223，第一抵接座3223与第一偏心轮3253抵接相连，第二抵接座3233与第二偏心轮3254抵接相连，第一抵接座3223位于第一转轴3252靠近第一定位台3221的一侧，第二抵接座3233位于第一转轴3252的另一侧。在第三电机3251驱动第一转轴3252转动时，第一偏心轮3253和第二偏心轮3254能够分别带动第一抵接座3223和第二抵接座3233同时移动，并使得第一抵接座3223和第二抵接座3233的移动方向相反，这样即可带动第一定位台3221与第二定位台3231夹紧或释放板件61。
91.可选地，第一抵接座3223上转动安装有第一轴承，第一轴承与第一偏心轮3253抵接相连。第一轴承可与第一偏心轮3253滚动配合，能够减小第一转轴3252转动的阻力，有利于减小对第一偏心轮3253表面的磨损。
92.可选地，第二抵接座3233上转动安装有第二轴承，第二轴承与第二偏心轮3254抵接相连。这样通过第二轴承与第二偏心轮3254抵接，第二轴承与第二偏心轮3254滚动配合，能减小第一转轴3252转动的阻力，减小磨损。
93.在一个实施例中，请参阅图7、图10及图11，第三驱动组件325还包括第一拉簧3255，第一拉簧3255用于拉动第一滑座3222与第二滑座3232相互靠近，以使第一抵接座
3223和所述第二抵接座3233分别靠近第一转轴3252，带动第一抵接座3223与第一偏心轮3253抵接，第二抵接座3233和第二偏心轮3254抵接；第一拉簧3255的两端分别与第一滑座3222和第二滑座3232相连。这样够使得第一轴承能够与第一偏心轮3253保持抵接，第二轴承能够与第二偏心轮3254保持抵接，能够使得第一定位台3221与第二定位台3231分离时，第二定位台3231尽量上升，从而避免第二定位台3231对板件61传输产生干扰。可选地，第一拉簧3255的数量可以为多个。
94.在一个实施例中，请一并参阅图2、图12及图13，焊接机构33包括焊头334、微升降组件333、旋转组件332和移动平台331，焊头334用于在板件61上焊接线材71，焊头334安装于微升降组件333上，微升降组件333包括第一基座3331、第二基座3333、导轨组件3332和直线驱动器3334，第一基座3331支撑焊头334，导轨组件3332连接第一基座3331与第二基座3333，可保障第一基座3331与第二基座3333呈直线移动，直线驱动器3334安装于第二基座3333上，第一基座3331与直线驱动器3334相连，直线驱动器3334用于驱动第一基座3331升降，以使焊头334接触或离开焊接位置；旋转组件332用于驱动第二基座3333转动，以使焊头334呈圆弧轨迹移动，线材71移动至板件61上相邻的焊接位置，并调整线材71方向，移动平台331用于驱动旋转组件332移动，以调节焊头334的空间位置，以便于微升降组件333和旋转组件332驱使焊头334与焊接位置接触；第二基座3333安装于旋转组件332上，旋转组件332安装于移动平台331上。导轨组件3332能够避免直线驱动器3334受到水平方向的作用力移位或磨损，能够减小焊头334升降过程中直线驱动器3334受到的阻力，这样有利于提高焊头334移动位置的精度，从而保障焊接质量。
95.可选地，导轨组件3332为交叉滚子导轨，其精度高，阻力小，耐磨性能好，有利于减小直线驱动器3334的摆动幅度。导轨组件3332的数量为两套，两套导轨组件3332分别设置于第一基座3331的相对两侧。可选地，直线驱动器3334可以是音圈电机。
96.在本技术的一个实施例中，请一并参阅图2及图14，放线机构34包括立板341、放线轴342、放线组件343、检测组件344和计量组件345，立板341安装于机柜100上，放线轴342用于支撑线卷7，放线轴342安装于立板341上，放线组件343包括主动轮3431、从动轮3432和放线驱动器3433，从动轮3432用于与主动轮3431配合夹持线材71，放线驱动器3433用于驱动主动轮3431转动，以带动线材71移动，主动轮3431与放线驱动器3433相连，从动轮3432转动安装于立板341上，放线驱动器3433安装于立板341上；检测组件344用于检测放线组件343放出线材71的位置，检测组件344安装于立板341上；计量组件345用于检测线材71长度，计量组件345安装于立板341上；放线轴342、放线组件343、检测组件344和计量组件345依次沿线材71传输方向设置。其中，检测组件344位于放线组件343与计量组件345连线远离放线轴342的一侧，线材71在放线组件343、检测组件344和计量组件345之间呈弧形。采用主动轮3431与从动轮3432配合夹持线材71传输，能够准确控制线材71释放的速度和释放的位置，而计量组件345能够准确控制线材71输出的位置，检测组件344能够控制计量组件345与放线组件343之间线材71的位置，从而能够准确控制线材71在放线组件343与计量组件345之间形成的弧形，准确控制线材71的传输长度，避免由于线材71长度和位置变化导致线材71与设备接触而磨损，有利于防止线材71表面磨损，提高焊接质量。
97.在一个实施例中，请参阅图14，计量组件345包括第一滚轮3451、第二滚轮3452、编码器和安装座，第二滚轮3452用于与第一滚轮3451配合夹持线材71，编码器与第一滚轮
3451相连，安装座支撑编码器，第二滚轮3452转动安装于立板341上，安装座与立板341固定相连。这样即可通过线材71移动带动第一滚轮3451，通过第一滚轮3451带动编码器，实现对线材71输出长度的精确计量。而且，能够使得线材71输出位置保持固定，避免由于线材71输出位置移动而影响线材71释放，导致线材71磨损。
98.在一个实施例中，请参阅图14，检测组件344包括第三基座、传感器3442和限位架3441，第三基座安装于立板341上，传感器3442安装于第三基座上，传感器3442用于感应线材71，限位架3441安装于立板341上，限位架3441用于引导线材71经过传感器3442。限位架3441上开设有第一开槽和第二开槽，第一开槽用于供线材71活动置入，第二开槽用于容置第三基座及传感器3442，第二开槽位于第一开槽的中部，第二开槽沿第一开槽宽度方向贯穿限位架3441的两侧。这样可在传感器3442感应到线材71时控制放线组件343及时放线。
99.在本技术的一个实施例中，请参阅图1和图6，下料装置400包括第二料仓41、第二输入机构42、第二上料机构43和第二输出机构44，第二料仓41与机柜100相连，第二料仓41中开设有第二输入通道4101、第二输出通道4102和第二上料通道4103，第二输入通道4101用于存放料盒6，第二输出通道4102用于存放料盒6，第二输入通道4101与第二输出通道4102并排设置，第二上料通道4103连通第二输入通道4101与第二输出通道4102。第二输入机构42用于沿第二输入通道4101传送料盒6，以将第二输入通道4101中存放的料盒6传输至第二上料通道4103，第二输入机构42安装于第二料仓41上，第二上料机构43用于沿第二上料通道4103传输料盒6，以料盒6中料格的位置与输送机构31的位置相对应，便于输送机构31将板件61传送至料盒6中。第二上料机构43安装于第二输出机构44上，第二输出机构44用于驱动第二上料机构43沿第二输出通道4102的长度方向移动，以将料盒6传输至第二输出通道4102，第二输出机构44安装于第二料仓41上，第二上料机构43安装于第二输出机构44上。这样即可将输送机构31输出的板件61收纳入料盒6中，并将料盒6存入第二输出通道4102。
100.可选地，请参阅图2、图4及图6，第二料仓41的结构与第一料仓21的结构相同，第二输入机构42的结构与第一输入机构22的结构相同，第二上料机构43的结构与第一上料机构23的结构相同。这样可使得下料装置400中的结构能够与上料装置200中的部分结构通用，有利于降低成本，且便于维护。
101.当然，本技术中的半导体加工设备，主要是为了实现在板件61上焊接线材71，因此，也可称为焊接设备。
102.以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。