适配器、连接装置和供应系统的制作方法

1.本发明涉及一种用于湿法处理模块，特别是喷漆模块的供应系统的液体容器的适配器，用于处理衬底，特别是晶圆的微加工和纳米加工。此外，本发明涉及这种湿法处理模块的连接装置和供应系统。


背景技术：

2.可更换的液体容器容纳处理液体，例如漆或溶剂，其被施加到晶圆上用于晶圆的处理或喷漆。如果液体容器是空的，则必须更换。
3.由于适配器预先组装在液体容器上，并且液体容器连同适配器可以容易地联接到供应系统的连接装置上，所以液体容器与供应系统的附接或分离可以通过适配器简化。
4.然而，对于传统的适配器和连接装置，两个部件的联接不是完全气密的，这导致在排空液体容器时出现问题。
5.此外，不可能对齐适配器、连接装置或液体容器，使得液体容器能够被完全排空。


技术实现要素：

6.本发明的目的是提供一种消除现有技术缺点的适配器、连接装置和供应系统。
7.根据本发明，该目的通过前述类型的适配器来实现，该适配器包括用于紧固到液体容器的容器零件和与容器零件分开的用于紧固到供应系统的通道零件。容器零件具有中心开口和用于将容器零件紧固到液体容器的紧固装置。此外，通道零件包括连续的第一通道部分和连续的第二通道部分，第一和第二通道部分各自通向容器零件的中心开口，特别是其中，因此形成了面向容器零件的中心开口和/或突出到中心开口的嘴部区域。
8.因此，本发明提供了一种多零件的适配器，借助该多零件的适配器，可以确保液体容器与供应系统的其他部件的完全气密联接以及快速、简单且安全的液体容器更换。此外，由于其多零件的设计，适配器可以有助于液体容器的完全排空。
9.在本发明的上下文中，完全气密特别是指适配器在没有气体或液体流动通过通道的状态下已经与供应系统的其他部件气密地联接，因此适配器还没有处于压力下。
10.第一和第二通道部分优选地彼此独立。“彼此独立”意味着通道部分不延伸到彼此中和/或不合并到彼此中。此外或替代地，通道部分至少在通道零件内彼此不流体连接。因此，在通道零件内流动的流体至少在通道零件内不会相互混合。此外，流体相互之间没有影响，比如热传递。
11.根据实施例，容器零件可以设置有用于在液体容器处接合的螺纹，该螺纹例如布置在中心开口的内圆周壁处。这允许在容器零件和液体容器之间实现气密连接。
12.密封件可以设置在容器零件和通道零件之间，其周向围绕中心开口或通道部分的嘴部区域，特别是其中，密封件紧固到容器零件或通道零件。密封件可以进一步改善适配器与液体容器的气密连接。
13.在一个实施例中，通道零件具有浸没管，特别是刚性浸没管，其延伸通过中心开
口，特别是其中，浸没管结合到第一通道部分中。该浸没管允许来自液体容器的液体通过适配器被引导至供应系统的其他部件。当将适配器紧固到液体容器时，浸没管同时紧固在液体容器内。浸没管可以可拆卸地或牢固地连接到通道零件。
14.另一个实施例提供了，中心开口具有中心轴线，其中，通道零件的第一通道部分的至少一部分和/或浸没管相对于中心轴线倾斜地延伸。这样，通道部分和/或浸没管可以相对于液体容器的中心轴线倾斜地定向或延伸，使得通道部分和/或浸没管可以朝向液体容器中的最低点定向。
15.可以想象，第一通道部分平行于中心轴线延伸，并且浸没管具有倾斜部分，其纵向轴线相对于中心轴线倾斜地延伸。当然，浸没管可以相对于中心轴线完全倾斜地延伸。
16.第一通道部分的轴线和中心轴线之间的角度和/或浸没管的纵向轴线和中心轴线之间的角度可以在1
°
到20
°
的范围内，例如5
°
。
17.此外，适配器可以具有紧固零件，该紧固零件包括用于将适配器紧固到供应系统的联接部件。在联接部件的区域中，因此形成联接部分，该联接部分例如是由适配器的联接部分和供应系统侧联接部分形成的快速联接的一部分。因此，联接部件用于液体容器与供应系统的连接装置的快速、容易且安全的联接和分离。
18.特别地，联接部件可以从紧固零件的径向外壁突出，例如以突出的鼻部的形式。这允许形成快速连接，比如卡口(bayonet)连接。
19.例如，通道零件、容器零件和紧固零件被设计成单件。以这种方式，不需要提供单独的紧固元件(比如螺钉或类似物)，以及可能需要的任何额外的密封件。
20.替代地，紧固零件、容器零件和通道零件被设计成彼此分开，特别是形成预组装的单元。
21.一方面提供了，通道零件可在周向方向上旋转和/或被夹紧以紧固在容器零件和紧固零件之间。通道零件的可旋转紧固允许通道零件相对于液体容器、容器零件和紧固零件旋转。例如，通道部分和/或浸没管可以朝向液体容器的最低点定向，特别是在适配器紧固到供应系统的连接零件之前。这允许液体容器被完全排空。这对于具有矩形横截面的液体容器尤其有利。
22.突起可以从通道零件的背离容器零件的一侧突出，第二通道部分通过该突起延伸。通道零件的背离容器零件的一侧同时表示面向供应系统或供应系统的连接零件的一侧。突起用作销，借助该销可以确保通道零件，特别是整个适配器相对于连接零件的预设对齐。
23.具体而言，浸没管的突起和倾斜具有预设的彼此对齐，使得当适配器插入到连接零件中时，浸没管相对于其余的供应系统的倾斜被限定，特别是指向最低点。
24.此外，根据本发明，该目的通过一种用于湿法处理模块，特别是喷漆模块的供应系统的液体容器的连接装置来实现，用于处理衬底，特别是晶圆的微加工和纳米加工。连接装置包括根据本发明的适配器和具有液体入口通道和压力通道的连接零件，其中，适配器的第一通道部分通向液体入口通道，适配器的第二通道部分通向压力通道。公共通道由第一通道部分和液体入口通道形成，并用于从液体容器中取出液体。公共通道由第二通道部分和压力通道形成，并用于液体容器的排气和/或气体供应。
25.根据一个方面，适配器和连接零件各自具有联接部分，联接部分一起形成快速联
接，特别是卡口安装，借助该卡口安装，适配器可以以气密方式联接到连接零件，特别是以不破坏或不使用工具的可拆卸方式。
26.连接零件和适配器各自具有接触侧，连接零件和适配器经由所述接触侧在联接状态下以气密方式彼此抵靠搁置。
27.实施例提供了，连接零件：具有连接基部，特别是圆柱形的连接基部，其包括液体入口通道和压力通道以及接触侧；以及连接紧固件，特别是环形连接紧固件，其周向地围绕连接基部和/或布置在连接基部上，以便能够在周向方向上旋转。因此，连接紧固件表示连接零件的联接部分。连接零件的联接部分可以与适配器的联接部分配合，以形成连接装置的快速联接。
28.例如，连接紧固件被设计为锁紧螺母，其通过旋转将适配器紧固到连接零件。
29.替代地，连接基部和连接紧固件可以是单件。因此，可以节省单独的零件。为了将适配器紧固到连接零件，连接零件相对于适配器旋转，反之亦然。
30.一个方面提供了，在适配器的接触侧(特别是通道零件的接触侧)和连接零件的接触侧(特别是连接基部的接触侧)之间，布置有至少一个密封件，特别是环密封件，其将第一通道部分与液体入口通道的第一接合部和/或第二通道部分与压力通道的第二接合部相对于外部密封，特别是其中，在第一接合部和第二接合部之间布置有另一密封件，其相对于彼此密封接合部。该密封件周向地围绕两个接合部，两个接合部之间的密封件仅周向地围绕接合部中的一个。因此，两个密封件在连接装置的径向方向上彼此间隔开和/或彼此同轴地布置。快速联接的气密性可以通过密封件进一步提高。
31.可以设置密封件被容纳于或附接到连接零件，特别是连接基部，或者适配器，特别是通道零件。因此，在将适配器与连接零件分开之后，密封件保持在其预期的位置，并且不会从适配器或连接零件上脱落。
32.例如，连接零件的连接紧固件，特别是在其径向内壁上的连接紧固件，和/或适配器的紧固零件，特别是在其径向外壁上的紧固零件，具有至少一个联接部件，这些联接部件一起形成快速联接。为了紧固，连接紧固件被推动到适配器的紧固零件上，使得连接紧固件和紧固零件处于共同的径向平面中，并且通过相对于彼此旋转连接紧固件和/或紧固零件来形成卡口安装。
33.为此，连接紧固件的联接部件可以例如具有径向向内突出的鼻部，并且紧固零件可以具有在周向方向上延伸的与鼻部相对的狭槽导向件以作为联接部件，闩锁的鼻部在联接和分离期间沿着狭槽导向件移动到其联接或脱离状态。当然，连接紧固件也可以具有狭槽导向件，并且紧固零件可以具有鼻部。
34.适配器适于通过适配器和/或连接紧固件的旋转紧固到连接零件或与连接零件拆开。简单的快速释放紧固件可以通过转动锁定紧固件(turn-lock fastener)来形成。
35.根据一个方面，连接零件的接触侧，特别是连接基部的接触侧，具有第二通道部分通向其中的细长孔。细长孔表示第二通道部分和气体通道部分的接合部。例如，细长孔可以设计为盲孔，并且可以在连接零件的周向方向上是细长的。
36.特别地，在适配器与连接零件的联接状态下，适配器的突起突出到连接零件的细长孔中。以这种方式，可以实现适配器和连接零件彼此的预设对齐。
37.例如，适配器可以仅利用快速联接连接到连接零件，即当适配器的突起接合在连
接零件的细长孔中时，快速联接可以关闭。
38.特别地，细长孔在周向方向上的尺寸大于突起。因此，仍然确保了突起简单地插入到细长孔中。
39.特别地，细长孔和/或突起可以具有曲率半径。因此，可以确保适配器，特别是通道零件，以及连接零件，特别是连接基部相对于彼此的光滑旋转。
40.此外，根据本发明，该目的通过一种用于湿法处理模块，特别是喷漆模块的供应系统来实现，用于处理基板、特别是晶圆的微加工和纳米加工，该供应系统包括具有支撑表面的基部，支撑表面用于在其上放置液体容器，和根据本发明的连接装置，该连接装置定位成与支撑表面间隔开并与之相对。在供应系统的预期的安装位置，支撑表面相对于水平方向倾斜。由于倾斜的支撑表面，放置在支撑表面上的液体容器的底部表面也相对于水平面倾斜，或者液体容器的纵向轴线相对于竖直方向倾斜地延伸。以这种方式，液体容器具有液体聚集的最低点或最低区域。根据本发明的适配器或连接装置允许适配器的浸没管朝向液体容器的最低点定向，从而确保液体容器的完全排空。
41.一个实施例提供了，供应系统具有工作区域和停放区域，在工作区域中，连接装置被定位成用于联接到液体容器，连接装置在不使用时定位在停放区域中。在停放区域，连接装置，特别是连接零件，可以容易地收纳起来，以便准备好拿取，例如借助紧固机构(比如磁铁)，以助于液体容器插入到工作区域中和从工作区域中移除。
42.例如，停放区域可以布置在保持零件的与支撑表面相对的端部，该保持零件从支撑表面垂直突出，和/或工作区域可以设置在停放区域和支撑表面之间。以这种方式，连接装置，特别是连接零件，可以容易地从顶部附接到液体容器。
43.特别地，连接装置，特别是连接零件，仅借助管线连接到工作区域中的其余的供应系统。因此，连接装置，特别是连接零件，可以在工作区域中至少在竖直方向上自由移动，使得连接装置，特别是连接零件，可以容易地连接到液体容器或从液体容器拆开。
44.这些管线可以具有固有刚性，其基本上防止连接装置、特别是连接零件的扭曲和/或水平运动。这防止了不期望的过度旋转，并确保浸没管朝向最低点定向。
45.例如，在停放区域中布置有排放托盘，当不使用时，连接装置，特别是连接零件位于排放托盘上方，并且通过排放托盘收集从连接装置，特别是从连接零件滴落的任何剩余液体。
46.根据本发明的适配器、连接装置和供应系统的所述优点和特征彼此平等地适用。
附图说明
47.从下面的描述和参考的附图中，本发明的其他优点和特征将变得显而易见，其中：
48.图1示出了根据本发明的供应系统在操作期间的示意性侧视图，其中根据本发明的连接装置和液体容器以截面示出，
49.图2示出了根据发明的图1的液体容器和连接装置的截面视图，
50.图3示出了根据本发明的连接装置的示意性的截面视图iii-iii，以及
51.图4示出了根据发明的图1的供应系统在不操作时的示意性侧视图。
具体实施方式
52.图1示出了用于处理衬底(例如晶圆)的湿法处理模块(例如喷漆模块)的供应系统10。供应系统10特别被设置为用于微加工和纳米加工中的湿法处理模块。
53.供应系统10包括保持装置12和连接装置16，液体容器14可以容纳在保持装置中，液体容器14可以经由连接装置连接到供应系统10。
54.保持装置12包括基部18，该基部具有支撑表面20和从支撑表面20基本上垂直突出的保持零件22。
55.当供应系统10被正确安装时，支撑表面20相对于水平面h倾斜。
56.保持零件22在与基部18和支撑表面20相对的端部处分别具有紧固机构24和排放托盘26。
57.紧固机构24例如是磁体。
58.排放托盘26上方布置有紧固机构24的区域构成了停放区域28，排放托盘下方的区域，更准确地说排放托盘26和支撑表面20之间的区域，构成了工作区域30。
59.液体容器14容纳用于操作湿法处理模块的介质，特别是液体。
60.例如，介质(特别是液体)是漆，因此，液体容器14是漆瓶。
61.液体容器14包括开口32，液体容器14的内部空间34通过该开口通向外部，并且在颈部上具有螺纹100。
62.当液体容器14放置在倾斜的支撑表面20上，液体容器14向侧面倾斜，使得液体容器14的纵向轴线l相对于竖直方向倾斜地延伸。因此产生了内部空间34中液体聚集的最低点36。
63.连接装置16被设计成若干零件，并且在容器侧具有适配器38，在供应系统侧具有连接零件40。
64.适配器38在液体容器14的开口32的区域中附接到液体容器14，例如拧紧在液体容器14上。因此，适配器38以紧密的、特别是气密的方式封闭开口32。
65.适配器38具有第一通道部分42和第二通道部分44。通道部分42、44是连续的，并且每个从面向液体容器14一侧延伸到面向连接零件40的接触侧46。在操作期间，液体流动通过第一通道部分42，第二通道部分44引导气体。因此，第一通道部分42构成液体通道部分，第二通道部分44构成气体通道部分。
66.浸没管48从适配器38向下突出，并通过开口32延伸到液体容器14的内部空间34中。浸没管48相对于液体容器14的纵向轴线l倾斜地定向，以便朝向最低点36延伸。
67.浸没管48在适配器侧上邻接第一通道部分42。
68.连接零件40在其外侧或者更准确地说在其周向上具有紧固机构49，例如以磁体形式的紧固机构。
69.此外，管线连接件51、53设置在外侧上。
70.液体入口通道50和压力通道52从连接零件40的外侧连续地延伸到与适配器38的接触侧46相对的接触侧54。
71.朝向外侧，液体入口通道50通向管线连接件51，压力通道52通向管线连接件53。管线连接件51因此构成液体管线连接，管线连接件53构成气体管线连接。
72.此外，多个管线55、57连接到连接零件40，其中一个管线是液体管线55，另一个管
线是气体管线57，特别是压缩气体管线。
73.液体管线55连接到液体管线连接件51，气体管线57连接到气体管线连接件53。
74.管线55、57连接到其余的供应系统10，例如，保持装置12。
75.例如，管线55、57是柔性软管，其允许连接零件40从停放区域28到工作区域30以及返回的至少竖直运动。
76.然而，管线55、57，特别是管线55，具有限制或防止连接零件40旋转的固有刚性。
77.适配器38和连接零件40经由快速联接56，特别是经由卡口固定件，以气密且可拆卸的方式彼此紧固。
78.适配器38的接触侧46和连接零件40的接触侧54以气密方式彼此抵靠搁置，使得适配器38的第一通道部分42和第二通道部分44与连接零件40的液体入口通道50或压力通道52对齐，或者换句话说，使得适配器38的第一通道部分42和第二通道部分44合并到连接零件40的液体入口通道50或压力通道52中。
79.在接触侧46、54处，第一通道部分42和液体入口通道50形成第一接合部58，第二通道部分44和压力通道52形成第二接合部60。
80.图2详细示出了连接装置16。适配器38和连接零件40各自由若干零件制成。
81.适配器38包括容器零件62、紧固零件64和通道零件66。
82.容器部件62具有连续的中心开口68，该中心开口在其内周壁上具有螺纹。
83.中心开口68的中心轴线基本上对应于纵向轴线l。
84.在连接零件侧，紧固零件64例如通过螺钉70附接到容器零件62。当然，容器零件62和紧固零件64也可以以不同的方式彼此附接。
85.紧固零件64基本上形成为环。
86.紧固零件64具有l形轮廓，从而在容器零件62和紧固零件64之间形成接收空间。
87.在径向外壁上，紧固零件64具有多个联接部件71，这些联接部件例如被构造成突出的鼻部。
88.通道部件66可旋转地布置在容器零件62和紧固零件64之间(即在接收空间中)。容器零件62、紧固零件64和通道零件66形成预组装的单元。
89.替代地，容器零件62、紧固零件64和通道零件66被构造成单一部件。
90.通道零件66被紧固零件64周向地围绕，使得紧固零件64的上侧和通道零件66的上侧彼此齐平或对齐，从而形成接触侧46。
91.因此，通道零件66和紧固零件64各自形成接触侧46的一部分。
92.第一通道部分42和第二通道部分44延伸穿过通道零件66，其中，两个通道部分42、44通向公共嘴部区域72。嘴部区域72与液体容器14的开口32相对，并且部分地延伸到液体容器14中。
93.密封件74布置在通道零件66和容器零件62之间，并且周向地围绕嘴部区域72。密封件74构成例如扁平密封件。
94.密封件74紧固到通道零件66或容器零件62，并且可旋转地夹紧在通道零件66和容器零件62之间。
95.在所示的示例性实施例中，第一通道部分42具有较薄区段76和较宽区段78，其中，较薄区段76的直径小于较宽区段78的直径。
96.较宽区段78相对于液体容器14的纵向轴线l倾斜地延伸，其同时形成中心开口68的纵向轴线。
97.一方面的通道轴线k和/或浸没管48的纵向轴线与另一方面的中心轴线l之间的角度α在1
°
至20
°
的范围内。例如，角度α为5
°
。通道轴线k同时构成浸没管48的纵向轴线。
98.浸没管48牢固地或可拆卸地接收在较宽区段78中，使得浸没管48的内壁80与界定较薄区段76的内壁82齐平。
99.当然，第一通道部分42也可以具有连续恒定的直径，使得浸没管48的内壁80不与第一通道部分42的内壁82齐平。
100.此外，整个第一通道部分42也可以相对于纵向轴线l倾斜地延伸。
101.替代地，整个第一通道部分42也可以平行于纵向轴线l延伸。为了确保浸没管48至少部分地以倾斜方式延伸，则浸没管48可以在第一通道部分42外侧具有曲率。
102.通道零件66具有突起84，该突起在通道零件66的接触侧46上在连接零件40的方向上背离容器零件62延伸。
103.第二通道部分44的一部分穿过该突起84，第二通道部分44的与中心开口68相对的端部在突起84的表面处向外敞开。
104.连接零件40包括圆柱形的连接基部86和环形的连接紧固件88。
105.液体入口通道50和压力通道52从相应的管线连接件51、53延伸，通过连接基部86到达接触侧54上的相应的接合部58、60。
106.两个密封件92、94，特别是环密封件，布置在通道零件66的接触侧46和连接基部86的接触侧54之间，密封件92、94相对于彼此同轴，并且密封件92径向地设置在内侧，密封件94径向地设置在外侧。径向外部密封件94周向地包围径向内部密封件92。
107.径向内部密封件92周向地包围第一接合部58，径向外部密封件94周向地包围第一接合部58和第二接合部60。
108.第二接合部60布置在径向内部密封件92和径向外部密封件94之间。
109.在这里所示的实施例中，两个密封件92、94被部分地容纳并紧固在连接基部86中。
110.在接触侧54上，连接基部86具有细长孔90，其构造成盲孔的形式。
111.压力通道52的与管线连接件53相对的端部通向细长孔90。
112.细长孔90例如在周向方向上伸展，并且具有绕纵向轴线l为中心的半径。
113.连接紧固件88周向地围绕连接基部86，并且可旋转地附接到连接基部86。
114.例如，连接紧固件88被设计成一种锁紧螺母。
115.在径向内壁上，连接紧固件88具有联接部件96，其被构造成例如凹槽，并且限定导轨。
116.凹槽具有多个朝向底部(即朝向适配器38)开口的区域98。开口区域98的数量对应于紧固零件64的联接部件71的数量。
117.当然，连接紧固件88可以在径向内壁上具有突出的鼻部，并且紧固零件64可以在径向外壁上具有凹槽。
118.利用新的液体容器14使供应系统10投入操作，适配器38连同浸没管48一起附接到液体容器14。浸没管48插入到液体容器14中，适配器38以气密方式封闭开口32。然后，液体容器14连同适配器38一起被放置在保持装置12的支撑表面20上的工作区域30中。
119.为了将适配器38紧固到液体容器14，适配器38被拧紧到液体容器14的螺纹100上，中心开口68的螺纹结构和螺纹100的螺纹结构彼此接合。
120.容器零件62和紧固零件64然后牢固地附接到液体容器14。
121.在液体容器14不具有圆形基部区域的情况下，可旋转地接收在容器零件62和紧固零件64之间的通道零件66允许浸没管48被定向成延伸到最低点36。
122.例如，在液体容器14具有矩形基部区域的情况下，浸没管48可以通过通道零件66的旋转来定向，使得浸没管48延伸到基部区域的拐角区域。然后，液体容器14可以放置在基部18的支撑表面20上，使得浸没管48延伸的区域中的基部的拐角区域形成最低点。在这种情况下，突起84应该被定向成使得它已经处于其最终位置，它也将占据在细长孔90中。
123.在液体容器14具有例如圆形基部区域的情况下，没有必要通过旋转通道零件66来定向浸没管48，因为不存在具有不均匀的、增加的液体积聚的点，比如在矩形基部区域的情况下的拐角。因此，液体容器14和适配器38一起可以旋转，使得最低点36形成在浸没管48处。然而，突起84应该被定向成使得它已经处于其最终位置，它也将占据在细长孔90中。
124.对于专门的圆形液体容器，适配器38可以设计成单件部件，因为通道零件66相对于容器零件62和紧固零件64的可旋转性不是必需的。
125.通过将浸没管48定位在液体容器14中，使得它总是延伸到最低点36，在供应系统10的操作期间，可以确保液体容器14基本上完全排空。
126.为了将适配器38联接到连接零件40，适配器38和连接零件40被放置成使它们的接触侧46、54彼此抵靠，从而突起84突出到细长孔90中。
127.由于突起84的周向延伸比细长孔90短，例如短至少三分之一，所以突起84在细长孔90中具有间隙。由于这种间隙，突起84可以插入到细长孔90中，即使它没有完全准确地朝细长孔90定向。
128.只有当突起84接合到细长孔90中时，连接紧固件88才能够在紧固零件64上滑动。
129.联接部件71(即鼻部)，可以经由部分地打开的连接紧固件88的区域98插入到联接部件96(即导向凹槽)中。
130.通过在周向方向上旋转连接紧固件88，联接部件96在周向方向上旋转并且在径向方向上在联接部件71上移动，因此，联接部件71接合在联接部件96中并且被紧固。联接部件71、96因此形成快速联接56。
131.由于柔性管线55、57，连接零件40至少在竖直方向上可自由移动，并被放置在适配器38上。适配器38和连接零件40经由快速联接56以气密方式彼此联接。
132.处于一定压力的气体经由气体管线57、连接零件侧上的压力通道52和适配器侧上的第二通道部分44被供给到液体容器14中。由于在液体容器14中形成的过压，液体容器14中的液体经由浸没管48、适配器侧上的第一通道部分42、连接零件侧上的液体入口通道50和液体管线55被引导至供应系统10的其他部件，借助这些部件进行衬底的喷漆。
133.当更换液体容器14时，快速联接56被释放，并且连接零件40从工作区域30放置到停放区域28，如图4所示。保持零件22或连接零件40的紧固机构24、49彼此相对，由于这样，连接零件40例如借助于磁力紧固到保持零件22。
134.连接零件40放置在排放托盘26上方的停放区域28中，使得连接零件40上的多余液体会滴落到排放托盘26中。
135.一旦连接零件40被接收在停放区域28中，液体容器14就可以容易地从工作区域30移除。然后，适配器38连同浸没管48可以从液体容器14移除，并附接到新的液体容器14。