可清洗喷嘴的分配装置的制作方法

1.本发明涉及一种可清洗喷嘴的分配(dispensing)装置，更详细来说涉及一种具有可利用清洗液对分配粘性溶液的装置的喷嘴进行清洗的功能的可清洗喷嘴的分配装置。


背景技术：

2.在半导体工艺或制造半导体零件的工艺中广泛使用分配粘性溶液的工艺。
3.在这种分配工艺中使用的粘性溶液的种类非常多样。在分配这种粘性溶液的情况下，会常常产生粘性溶液在喷嘴末端部分固化而对分配工艺的品质造成影响的情况。
4.特别是在将硬化速度非常快的粘着液作为粘性溶液进行分配的情况下，在进行粘着液涂布工艺时粘着液固化在喷嘴的下表面或侧面而产生硬化现象的概率变高。
5.如上所述，当粘着液在喷嘴固化而发生硬化时会出现粘着液涂布工艺的品质下降的问题。为了防止这种问题的发生，需要一种可有效地清洗并擦拭固化在喷嘴的粘着液的装置。
6.[现有技术文献]
[0007]
[专利文献]
[0008]
注册专利公报第10-1806033号(2018.1.11.)


技术实现要素：

[0009]
[发明所要解决的问题]
[0010]
本发明是为了解决如上所述的必要性而提出的，其目的在于提供一种在有效地清洗喷嘴的同时可容易地管理清洗液的可清洗喷嘴的分配装置。
[0011]
[解决问题的技术手段]
[0012]
为了解决如上所述的目的，本发明的可清洗喷嘴的分配装置是可对涂布液相树脂材质的粘性溶液的喷嘴进行清洗的分配装置，其特征在于包括：分配泵，通过喷嘴分配所述粘性溶液；泵移送单元，移送所述分配泵；清洗单元，具有：浸渍(dipping)部，喷出清洗液以使通过所述泵移送单元移送的所述分配泵的喷嘴浸入所述清洗液，浸渍储存部，接收容纳从所述浸渍部喷出流动的所述清洗液，储存罐，储存将由所述浸渍部供应的所述清洗液，供应流路，连接所述储存罐与浸渍部，供应泵，设置在所述供应流路以便能够将储存在所述储存罐的所述清洗液供应到所述浸渍部，以及回收流路，连接所述浸渍储存部与所述储存罐以便能够将所述浸渍储存部容纳的所述清洗液传递到所述储存罐；以及控制部，对所述分配泵、泵移送单元以及清洗单元的作动进行控制。
[0013]
[发明的效果]
[0014]
本发明的可清洗喷嘴的分配装置具有在有效地清洗可能固化在喷嘴的粘性溶液的同时可平稳地供应并管理清洗液的效果。
附图说明
[0015]
图1是根据本发明一实施例的可清洗喷嘴的分配装置的平面图。
[0016]
图2是图1所示的可清洗喷嘴的分配装置的主视图。
[0017]
图3是关于图1所示的可清洗喷嘴的分配装置的清洗单元的立体图。
[0018]
图4是关于图3所示的清洗单元的左侧视图。
[0019]
图5是用于说明图3所示的清洗单元的作动的概略图。
[0020]
[符号的说明]
[0021]
100：分配泵
[0022]
110：喷嘴
[0023]
200：泵移送单元
[0024]
300：清洗单元
[0025]
310：浸渍部
[0026]
320：浸渍储存部
[0027]
330：供应泵
[0028]
340：供应流路
[0029]
350：流量调节阀
[0030]
351：调节部
[0031]
360：回收流路
[0032]
361：补充流路
[0033]
363：再填充辅助部件
[0034]
370：储存罐
[0035]
381：液位传感器
[0036]
382：泄漏传感器
[0037]
390：警报单元
[0038]
400：控制部
具体实施方式
[0039]
以下，将参照附图详细地对根据本发明的可清洗喷嘴的分配装置进行说明。
[0040]
图1是根据本发明一实施例的可清洗喷嘴的分配装置的平面图，图2是图1所示的可清洗喷嘴的分配装置的主视图。
[0041]
参照图1及图2，本实施例的可清洗喷嘴的分配装置包括分配泵100、泵移送单元200及清洗单元300构成。
[0042]
分配泵100具有喷嘴110。分配泵100通过喷嘴110涂布如粘着剂等液相树脂材质的粘性溶液。通过分配泵100将粘性溶液涂布到半导体零件、电子装置、封装等。
[0043]
涂布粘性溶液的分配泵100可使用已知的各种结构的泵。
[0044]
泵移送单元200以移送分配泵100的方式构成。本实施例的泵移送单元200在水平方向及垂直方向上移送分配泵100。在分配泵100的下侧排列搁置在托盘20的多个材料10。泵移送单元200依序移送分配泵100，以将粘性溶液依序涂布到各个材料10。泵移送单元200使用如线性马达等已知的构成，且可根据需要以各种方式构成。
[0045]
清洗单元300清洗分配泵100的喷嘴110或防止喷嘴110末端部分的粘性溶液硬化。固化或粘在喷嘴110末端部分的粘性溶液可与空气或空气中的水分接触而硬化。清洗单元300通过使用清洗液来防止发生如上所述的现象。
[0046]
当清洗单元300产生如乙醇等清洗液流时，泵移送单元200移送分配泵100以将喷嘴110浸入流动的清洗液中，从而清洗喷嘴110或防止粘性溶液的硬化。在预定的时间间隔或预定次数的分配作业之后，泵移送单元200将分配泵100移送到清洗单元300以清洗喷嘴110。
[0047]
参照图3至图5，在本实施例的可清洗喷嘴的分配装置中，清洗单元300包括浸渍部310、浸渍储存部320、储存罐370及供应泵330。
[0048]
清洗液储存在储存罐370。将储存在储存罐370的清洗液供应到浸渍部310。供应流路340连接储存罐370与浸渍部310。在供应流路340中设置供应泵330。供应泵330通过供应流路340将储存在储存罐370的清洗液供应到浸渍部310，并通过浸渍部310喷出清洗液。在本实施例的情况下，作为供应泵330，使用薄膜泵(membrane pump)形态的泵。
[0049]
浸渍部310以喷出通过供应流路340供应的清洗液并流动的方式形成。分配泵100的喷嘴110在配置成浸入到在浸渍部310中流动的清洗液的状态下进行清洗。在本实施例的情况下，浸渍部310以向上侧喷出清洗液的方式形成。
[0050]
如图2所示，浸渍储存部320形成为围绕浸渍部310的外侧的容器形态。从浸渍部310喷出以清洗喷嘴110的清洗液向下侧流动并被收集在浸渍储存部320。浸渍储存部320与储存罐370相比配置在上侧。
[0051]
回收流路360连接浸渍储存部320与储存罐370。储存在浸渍储存部320的清洗液通过回收流路360流到下侧的储存罐370。由于这种结构，使清洗液通过供应流路340与回收流路360进行循环。即，通过供应流路340从储存罐370供应到浸渍部310的清洗液流到浸渍储存部320，并通过回收流路360再次传递到储存罐370同时通过供应泵330进行循环。
[0052]
在供应泵330与浸渍部310之间的供应流路340中设置流量调节阀350。流量调节阀350以如下方式构成：可手动调节浸渍部310供应的清洗液的流量。本实施例的情况，如图3所示，流量调节阀350以如下方式形成：通过手动操作螺栓形态的调节部351来调节供应流路340的流路的大小。即，以在拧紧调节部351时流量减少而在松开调节部351时流量增加的方式操作流量调节阀350。
[0053]
清洗单元300还包括补充流路361。本实施例的情况，如图4所示，补充流路361以与回收流路360连接的方式形成。补充流路361通常被塞子覆盖并堵塞。在需要对储存罐370补充清洗液的情况下，打开塞子并通过补充流路361额外供应清洗液。通过补充流路361供应的清洗液通过回收流路360流到储存罐370。
[0054]
根据情况，可通过浸渍储存部320补充或供应清洗液。为此，如图3所示，清洗单元300包括可拆卸地设置在浸渍储存部320的再填充(refill)辅助部件363。再填充辅助部件363形成为漏斗形态。在需要补充清洗液的情况下，将再填充辅助部件363嵌置在浸渍储存部320，借助再填充辅助部件363将清洗液倒入浸渍储存部320进行补充。供应到浸渍储存部320的清洗液通过回收流路360流到储存罐370。除了补充清洗液的情况外，再填充辅助部件363从浸渍储存部320分离并单独保管。
[0055]
控制部400对分配泵100、泵移送单元200及清洗单元300的作动进行控制。
[0056]
在清洗单元300的储存罐370设置液位传感器381。液位传感器381检测储存在储存罐370的清洗液的液位。当储存罐370的清洗液的液位低于预定水平以下时，液位传感器381检测到此情况并传递到控制部400。
[0057]
本实施例的情况，清洗单元300具有扬声器形态的警报单元390。当控制部400监测到根据液位传感器指示储存罐370的清洗液的量不足的信号时，控制部400使警报单元390作动，通过产生警报声的方法将这一事实通知用户。
[0058]
清洗单元300还包括泄漏传感器382。泄漏传感器382检测清洗液是否泄漏并传递到控制部400。本实施例的情况，泄漏传感器382配置在流量调节阀350的下侧。各种种类的传感器可用作泄漏传感器382。本实施例的情况，使用光学检测清洗液的漏出来掌握是否存在泄漏的传感器。当从泄漏传感器382产生清洗液漏出的信号并传递到控制部400时，控制部400使警报单元390作动以产生警报声。通过如上所述的方法，控制部400将清洗液的漏出通知用户。
[0059]
另一方面，控制部400通过各种方法使清洗单元300的供应泵330作动。如上所述，当控制部400以比较高的频率使薄膜泵形态的供应泵330作动时，清洗液以均匀的流量在浸渍部310中流动。根据需要，控制部400也可以在浸渍部310中按照固定周期脉冲式流动清洗液的方式使供应泵330作动。例如，当通过泵移送单元200将分配泵100的喷嘴110配置在浸渍部310时，控制部400使清洗液在浸渍部310中进行脉冲式流动。即，控制部400可以按照固定周期增大以及减少从浸渍部310喷出的清洗液的流量的方式来控制供应泵330的作动。
[0060]
如上所述通过控制部400使供应泵330作动，可更有效地实现清洗喷嘴110的功能或防止粘性溶液固化的功能。
[0061]
以下，对如上所述构成的本实施例的可清洗喷嘴的分配装置的作动进行说明。
[0062]
首先，对清洗单元300的储存罐370填充清洗液。对储存罐370填充清洗液的方法可存在两种方法。第一，可使用补充流路361将清洗液供应到储存罐370。当将清洗液供应管连接到补充流路361来供应清洗液时，清洗液流入储存罐370并填充储存罐370。也可根据需要打开补充流路361来供应清洗液，也可通过将清洗液供应管连接到补充流路的方式构成装置，利用开闭阀门的方法来供应清洗液。第二，如图3所示，也可使用再填充辅助部件363来供应清洗液。当将再填充辅助部件363安装在浸渍储存部320并倒入清洗液时，清洗液沿着回收流路360流动并储存在储存罐370。控制部400可通过液位传感器381来掌握清洗液是否充分填充储存罐370。
[0063]
当清洗液被充分填充到储存罐370时，控制部400使清洗单元300的供应泵330作动。当供应泵330作动时，储存罐370的清洗液通过供应流路340传递到浸渍部310并喷出。用户操作设置在供应流路340的流量调节阀350的调节部351来精细调节由浸渍部310喷出的清洗液的流量。当用户拧紧以螺栓形态形成的调节部351时，使供应流路340变窄的同时减少清洗液的流量，而当用户松开调节部351时，使供应流路340变宽的同时增大清洗液的流量。根据周围温度、清洗液的粘性以及储存罐370中剩余的清洗液的容量等因素，即使在相同条件下清洗液的流量也可能会有微小变化，用户通过操作流量调节阀350可容易地调节清洗液的流量。
[0064]
控制部400以固定时间间隔或在完成对预定个数的材料10的分配作业时使泵移送单元200作动，以将分配泵100移送到浸渍部310。当分配泵100的喷嘴110接近浸渍部310时，
喷嘴110的粘性溶液被清洗液清洗或防止硬化。如上所述，控制部400根据需要以通过脉冲波动等各种模式从浸渍部310喷出清洗液的方式控制供应泵330的作动。另外，即使在分配泵处于不执行分配作业的空闲状态时，控制部400也通过泵移送单元200将分配泵100移送到浸渍部310以将喷嘴110浸渍到清洗液中。
[0065]
如上所述，通过浸渍部310喷出的清洗液流到浸渍储存部320，并通过回收流路360再次流到储存罐370。因此，清洗液在储存罐370与浸渍部310之间连续循环并继续使用。
[0066]
本实施例的可清洗喷嘴的分配装置通过将设置在浸渍部310下部的浸渍储存部320与储存罐370单独构成而具有各种优点。由于清洗液因其特性使用如乙醇等挥发性溶液的情况居多，因此在使用中会蒸发到空气中而使量减少。本实施例的可清洗喷嘴的分配装置由于将浸渍储存部320与储存罐370单独配备，因此具有可在储存罐中存储并使用比较大量的清洗液的优点。因此，即使清洗液蒸发并逐渐减少，也具有可在较长时间内使用清洗液而无需重新填充的优点。即，具有以下优点：可使为了再填充清洗液而建造设备所产生的损失最小化。另外，如果控制部400在未执行分配作业时停止供应泵330的作动，则浸渍部310周边的清洗液会流到储存罐370并停留在储存罐370中。因此，可减小清洗液与空气接触的空间或面积，从而阻止清洗液的损失。
[0067]
另一方面，如上所述，当储存罐370的清洗液的液位低于液位传感器381时，控制部400检测到此情况。控制部400使警报单元390作动以将清洗液的不足状态通知用户。
[0068]
另外，设置在流量调节阀350的下侧的泄漏传感器382检测清洗液是否泄漏。如上所述，由于由具有螺栓形态的调节部351的结构形成的流量调节阀350的结构特性，在流量调节阀350的周边可能存在发生泄漏的可能性，泄漏传感器382是为这种情况而准备的构成。当从流量调节阀350或其周围的构成泄漏清洗液时，泄漏传感器382检测到此情况并传递到控制部400。当检测到泄漏时，控制部400使警报单元390作动以通知用户清洗液的泄漏情况。
[0069]
以上，关于本发明列举优选实例进行说明并图示，但本发明的范围不限于上述说明并图示说明的形态。
[0070]
例如，虽然图中未示出，但为了擦拭浸渍在清洗液中的分配泵100的喷嘴110上固化的清洗液，也可构成还包括使用无纺布、清洁片、刷子等构成的单独构成的可清洗喷嘴的分配装置。
[0071]
另外，还可在储存罐370的外壁额外设置垂直配置的透明流路，以可用肉眼确认清洗液的剩余量。
[0072]
另外，根据情况，还可构成不包括流量调节阀350的结构的可清洗喷嘴的分配装置。
[0073]
另外，供应泵330也可使用除薄膜泵以外的其他各种结构的泵。
[0074]
另外，还可构成不包括液位传感器381、泄漏检测传感器、警报单元390等构成的一部分或全部的结构的可清洗喷嘴的分配装置。
[0075]
另外，在前文中，补充流路361被说明为以连接到回收流路360的方式构成，但是还可构成补充流路361直接连接到储存罐370的结构的可清洗喷嘴的分配装置。还可构成不包括补充流路361的结构的可清洗喷嘴的分配装置。