致动器及其形成方法、驱动方法、电子设备与流程

技术特征：
1.一种致动器，其特征在于，包括：基板；上拉机构，设置于所述基板上，所述上拉机构包括用于上拉的移动端和与基板固定的固定端，所述移动端悬浮于所述基板上，所述固定端与所述基板连接；拨动结构，悬置于所述基板上，所述拨动结构的一端与所述上拉机构的移动端连接；第一固定台和第二固定台，固定于所述基板上，位于所述拨动结构的两侧，且所述第一固定台与所述上拉机构的固定端连接；伸缩结构，位于所述拨动结构两侧的所述基板上，所述拨动结构一侧的所述伸缩结构将所述第一固定台和所述拨动结构远离上拉机构的一端连接，所述拨动结构一侧的所述伸缩结构将所述第二固定台和所述拨动结构远离上拉机构的一端连接；步进轨道，悬浮设置于所述基板上，且与所述拨动结构远离上拉机构的一端相啮合。2.如权利要求1所述的致动器，其特征在于，所述拨动结构包括：连接臂，悬置于所述基板上，所述连接臂的一端与所述移动端连接；所述拨动结构远离上拉机构的一端包括两个拨动杆，两个所述拨动杆悬置于所述基板上，所述两个拨动杆与所述连接臂相对应，两个所述拨动杆呈分叉状；所述第一固定台和第二固定台，位于所述连接臂的两侧；所述伸缩结构，位于所述连接臂两侧的所述基板上，所述连接臂一侧的所述伸缩结构将所述第一固定台和所述拨动杆连接，所述连接臂一侧的所述伸缩结构将所述第二固定台和所述拨动杆连接。3.如权利要求1所述的致动器，其特征在于，所述上拉机构为电致伸缩结构。4.如权利要求1所述的致动器，其特征在于，所述上拉机构包括锁位电容，所述锁位电容包括相对设置的上拉电极和吸合电极，且所述上拉电极与基板连接，所述吸合电极悬置于所述基板上，所述移动端为所述吸合电极延伸方向的第一端，所述固定端为所述吸合电极延伸方向的第二端；所述第一固定台与所述吸合电极延伸方向的第二端连接。5.如权利要求1所述的致动器，其特征在于，所述步进轨道的一侧的所述上拉机构的数量为两个，两个所述上拉机构间隔设置在同一延伸方向上，且两个所述上拉机构的所述固定端连接；所述拨动结构的数量为两个。6.如权利要求5所述的致动器，其特征在于，所述致动器包括：连接部，将所述第一固定台和两个所述上拉机构的所述固定端连接。7.如权利要求1所述的致动器，其特征在于，所述伸缩结构包括固定电极板和与所述固定电极板相对设置的可动电极板，所述可动电极板与第一固定台或者第二固定台连接；所述固定电极板，固定在所述基板上；所述可动电极板，悬置于所述基板上。8.如权利要求1任一项所述的致动器，其特征在于，所述致动器还包括：弹性部件，所述弹性部件将伸缩结构与所述第一固定台连接，将所述拨动结构与所述伸缩结构连接，将伸缩结构与第二固定台连接。9.如权利要求8所述的致动器，其特征在于，所述弹性部件包括：弹簧。
10.如权利要求1任一项所述的致动器，其特征在于，所述致动器还包括：封盖，位于所述步进轨道上，且与所述步进轨道连接，所述封盖中具有滑槽，所述滑槽的延伸方向与所述步进轨道的延伸方向相同；滑轨锁位帽，所述滑轨锁位帽包括小径端和位于所述小径端上方的大径端，所述小径端与所述滑槽滑动配合，且与所述基板连接，在所述封盖表面的法线方向上，所述大径端以及所述封盖有重叠。11.如权利要求1任一项所述的致动器，其特征在于，所述步进轨道中具有通槽，所述通槽的延伸方向与所述步进轨道的延伸方向相同；所述致动器还包括：轨道固定柱，位于所述基板上，所述轨道固定柱与所述通槽滑动配合。12.如权利要求4所述的致动器，其特征在于，所述上拉电极和吸合电极在第一方向上相间隔，所述连接臂沿第一方向延伸；所述吸合电极沿第二方向延伸，所述步进轨道沿第二方向延伸，所述第二方向与所述第一方向相垂直。13.如权利要求1所述的致动器，其特征在于，所述上拉机构、拨动结构、第一固定台、第二固定台以及伸缩结构构成的传动结构设置在所述步进轨道的两侧。14.如权利要求1所述的致动器，其特征在于，所述上拉机构、拨动结构、第一固定台、第二固定台以及伸缩结构构成的传动结构设置在所述步进轨道的一侧或两侧，且每侧所述传动结构为多个。15.一种如权利要求1至14任一项所述致动器的驱动方法，其特征在于，包括：执行初始驱动处理，使得致动器处于浮接状态，所述伸缩结构处于初始状态，所述拨动结构与所述步进轨道相啮合；在所述初始驱动处理后，执行一次或多次位移处理，所述位移处理包括拨动步骤、上拉步骤、回位步骤以及锁位步骤，所述拨动步骤使拨动结构一侧的所述伸缩结构相对于初始状态伸长，使所述拨动结构另一侧的所述伸缩结构相对于初始状态收缩，两个所述伸缩结构驱动所述拨动结构发生偏转，使所述步进轨道发生位移；执行上拉步骤，用于使所述上拉机构的所述移动端带动所述拨动结构朝向远离所述步进轨道的方向移动；执行回位步骤，用于使所述伸缩结构不发生伸缩，所述拨动结构处于不偏转状态；执行锁位步骤，用于使所述上拉机构的移动端带动所述拨动结构朝向所述步进轨道移动，所述拨动结构与步进轨道相啮合，使所述拨动结构将步进轨道固定。16.如权利要求15所述的致动器的驱动方法，其特征在于，所述致动器中所述上拉机构的数量为两个，两个所述上拉机构间隔设置在同一延伸方向上，且两个所述上拉机构的所述固定端连接，一个所述上拉机构作为第一上拉机构，另一个上拉机构作为第二上拉机构；所述拨动结构的数量为两个，与所述第一上拉机构连接的所述拨动结构作为第一拨动结构，与所述第二上拉机构连接的所述拨动结构作为第二拨动结构；在所述初始驱动处理中，所述第一上拉机构和所述第二上拉机构均处于未移动状态；在所述初始驱动处理后，对所述第二上拉机构执行所述上拉步骤，用于使所述第二上
拉机构的移动端带动所述第二拨动结构朝向远离所述步进轨道的方向移动；对所述第二上拉机构执行所述上拉步骤后，对所述第一拨动结构执行所述拨动步骤，使第一拨动结构一侧的所述伸缩结构相对于初始状态伸长，使所述第一拨动结构另一侧的所述伸缩结构相对于初始状态收缩，两个所述伸缩结构驱动第一拨动结构发生偏转，以驱动所述步进轨道发生位移；对所述第一拨动结构执行所述拨动步骤后，对所述第二上拉机构执行所述锁位步骤中，使所述第二上拉机构的移动端带动所述第二拨动结构朝向所述步进轨道移动，所述第二拨动结构与步进轨道相啮合，使所述第二拨动结构将步进轨道固定；对所述第二上拉机构执行所述锁位步骤后，对所述第一上拉机构执行所述上拉步骤，用于使所述第一上拉机构的移动端带动所述第一拨动结构朝向远离所述步进轨道的方向移动；对所述第一上拉机构执行所述上拉步骤后，对所述第一拨动结构执行所述回位步骤，用于使所述伸缩结构不发生伸缩，第一拨动结构处于不偏转状态；对所述第一拨动结构执行所述回位步骤后，对所述第二拨动结构执行所述拨动步骤，使第二拨动结构一侧的所述伸缩结构相对于初始状态伸长，使所述第二拨动结构另一侧的所述伸缩结构相对于初始状态收缩，两个所述伸缩结构驱动第二拨动结构发生偏转，以驱动所述步进轨道发生位移；对所述第二拨动结构执行所述拨动步骤后，对所述第一上拉机构执行所述锁位步骤，使所述第一上拉机构的移动端带动所述第一拨动结构朝向所述步进轨道移动，所述第一拨动结构与步进轨道相啮合，使所述第一拨动结构将步进轨道固定；对所述第一上拉机构执行所述锁位步骤后，对所述第二上拉机构执行所述上拉步骤，用于使所述第二上拉机构的移动端带动所述第二拨动结构朝向远离所述步进轨道的方向移动；对所述第二上拉机构执行所述上拉步骤后，对所述第二拨动结构执行所述回位步骤，用于使所述伸缩结构不发生伸缩，第二拨动结构对应的所述拨动结构处于不偏转状态。17.如权利要求15所述的致动器的驱动方法，其特征在于，所述拨动结构包括：连接臂，所述连接臂的一端与所述移动端连接；所述拨动结构远离上拉机构的一端包括两个拨动杆，两个所述拨动杆悬置于所述基板上，所述两个拨动杆与所述连接臂相对应，两个所述拨动杆呈分叉状；所述伸缩结构，所述连接臂一侧的所述伸缩结构将第一固定台和所述拨动杆连接，所述连接臂一侧的所述伸缩结构将第二固定台和所述拨动杆连接；所述上拉机构包括锁位电容，所述锁位电容包括相对设置的上拉电极和吸合电极，且所述上拉电极与所述基板连接，所述吸合电极悬置于所述基板上，所述移动端为所述吸合电极延伸方向的第一端，所述固定端为所述吸合电极延伸方向的第二端；所述致动器中所述锁位电容的数量为两个，两个所述锁位电容间隔设置在同一延伸方向上，且两个所述吸合电极的所述第二端连接，一个所述锁位电容作为第一锁位电容，所述第一锁位电容包括第一上拉电极和第一吸合电极，另一个锁位电容作为第二锁位电容，所述第二锁位电容包括第二上拉电极和第二吸合电极；所述拨动结构的数量为两个，与所述第一吸合电极连接的所述连接臂作为第一连接
臂，与所述第二吸合电极连接的所述连接臂作为第二连接臂；在所述初始驱动处理中，所述第一锁位电容中的第一上拉电极和第一吸合电极处于浮接状态，所述第二锁位电容中的第二上拉电极和第二吸合电极处于浮接状态；在所述初始驱动处理后，对所述第二锁位电容执行所述上拉步骤，用于使所述第二锁位电容中的第二上拉电极吸合所述第二吸合电极，使所述第二吸合电极带动所述第二连接臂和第二连接臂对应的两个拨动杆朝向远离所述步进轨道的方向移动；对所述第二锁位电容执行所述上拉步骤后，对所述第一连接臂执行所述拨动步骤，使第一连接臂一侧的所述伸缩结构相对于初始状态伸长，使所述第一连接臂另一侧的所述伸缩结构相对于初始状态收缩，两个所述伸缩结构驱动第一连接臂对应的两个所述拨动杆发生偏转，以驱动所述步进轨道发生位移；对所述第一连接臂执行所述拨动步骤后，对所述第二锁位电容执行所述锁位步骤中，使所述第二锁位电容中的第二上拉电极和第二吸合电极处于浮接状态，所述第二上拉电极与所述第二吸合电极断开，所述第二连接臂对应的拨动杆与步进轨道相啮合，使所述拨动杆将步进轨道固定；对所述第二锁位电容执行所述锁位步骤后，对所述第一锁位电容执行所述上拉步骤，用于使所述第一锁位电容中的第一上拉电极吸合所述第一吸合电极，使所述第一吸合电极带动所述第一连接臂和第一连接臂对应的两个拨动杆朝向远离所述步进轨道的方向移动；对所述第一锁位电容执行所述上拉步骤后，对所述第一连接臂执行所述回位步骤，用于使所述伸缩结构不发生伸缩，第一连接臂对应的所述拨动杆处于不偏转状态；对所述第一连接臂执行所述回位步骤后，对所述第二连接臂执行所述拨动步骤，使第二连接臂一侧的所述伸缩结构相对于初始状态伸长，使所述第二连接臂另一侧的所述伸缩结构相对于初始状态收缩，两个所述伸缩结构驱动第二连接臂对应的两个所述拨动杆发生偏转，以驱动所述步进轨道发生位移；对所述第二连接臂执行所述拨动步骤后，对所述第一锁位电容执行所述锁位步骤，使所述第一锁位电容中的第一上拉电极和第一吸合电极处于浮接状态，所述第一上拉电极与所述第一吸合电极断开，所述拨动杆与步进轨道相啮合，使所述拨动杆将步进轨道固定；对所述第一锁位电容执行所述锁位步骤后，对所述第二锁位电容执行所述上拉步骤，用于使所述第二锁位电容中的第二上拉电极吸合所述第二吸合电极，使所述第二吸合电极带动所述第二连接臂和第二连接臂对应的两个拨动杆朝向远离所述步进轨道的方向移动；对所述第二锁位电容执行所述上拉步骤后，对所述第二连接臂执行所述回位步骤，用于使所述伸缩结构不发生伸缩，第二连接臂对应的所述拨动杆处于不偏转状态。18.一种致动器的形成方法，其特征在于，包括：提供基板，所述基板包括上拉区、第一固定台区、第二固定台区、传动区以及轨道区，所述传动区位于所述上拉区一侧且与所述第一固定台区相间隔，所述第一固定台区和第二固定台区分别位于所述传动区的两侧，轨道区位于所述传动区远离所述上拉区的一侧；在所述基板上形成第一柱体，所述第一柱体分立于所述上拉区、第一固定台区、第二固定区和传动区中；在所述第一柱体露出的所述基板上形成第一牺牲层；在所述第一柱体上以及第一牺牲层上形成第二柱体，所述上拉区中的所述第一柱体和
第二柱体作为上拉机构，所述上拉机构包括用于上拉的移动端和与基板固定的固定端，所述移动端悬浮于所述基板上，所述固定端与所述基板连接；所述传动区中，所述第一牺牲层上的第二柱体作为拨动结构，所述拨动结构的一端与所述上拉机构的移动端连接；将所述第一柱体和位于所述第一柱体正上方的第二柱体作为叠层结构，所述第一固定台区中的所述叠层结构作为第一固定台，所述第一固定台与所述上拉机构的固定端连接；所述第二固定台区中的所述叠层结构为第二固定台；位于所述传动区的所述第一柱体和第二柱体作为伸缩结构，所述伸缩结构，位于所述拨动结构两侧的所述基板上，所述拨动结构一侧的所述伸缩结构将所述第一固定台和所述拨动结构远离上拉机构的一端连接，所述拨动结构一侧的所述伸缩结构将所述第二固定台和所述拨动结构远离上拉机构的一端连接；所述轨道区中，在所述第一牺牲层正上方的所述第二柱体上形成第三柱体，所述轨道区中，所述第二柱体和第三柱体的叠层结构作为步进轨道，所述步进轨道和所述拨动结构远离上拉机构的一端相啮合；形成所述第三柱体后，去除所述第一牺牲层。19.如权利要求18所述的致动器的形成方法，其特征在于，形成所述第二柱体的步骤中，所述上拉机构包括锁位电容，所述锁位电容包括上拉电极和吸合电极，所述上拉区中的叠层结构作为所述上拉电极，所述上拉区中，所述第一牺牲层上的第二柱体作为所述吸合电极，所述移动端为所述吸合电极延伸方向的第一端，所述固定端为所述吸合电极延伸方向的第二端，所述第一固定台与所述吸合电极延伸方向的第二端连接；形成所述第二柱体的步骤中，所述拨动结构包括连接臂，所述连接臂，位于所述吸合电极背向所述上拉电极的一侧，且所述连接臂的一端与所述吸合电极的延伸方向的第一端连接；所述拨动结构远离所述上拉机构的一端包括两个所述拨动杆，所述两个拨动杆与所述连接臂相对应，两个所述拨动杆呈分叉状，位于所述连接臂远离所述锁位电容的一端；所述第一固定台与所述吸合电极的延伸方向的第二端连接。20.如权利要求19所述的致动器的形成方法，其特征在于，提供所述基板的步骤中，所述上拉区、第二固定台区以及传动区的数量为两个，两个所述上拉区间隔设置在同一延伸方向上，所述上拉区、第一固定台区、第二固定台区、传动区位于所述轨道区的同一侧；形成所述第二柱体的步骤中，两个所述吸合电极的所述第二端连接；形成所述第二柱体的步骤中，所述拨动结构的数量为两个。21.如权利要求20所述的致动器的形成方法，其特征在于，形成所述第一柱体的步骤中，所述第一柱体还形成在所述上拉区和所述第一固定台区之间；形成所述第二柱体的步骤中，在所述上拉区和所述第一固定台区之间的所述第一柱体上形成第二柱体，所述上拉区和所述第一固定台之间的所述叠层结构作为连接部，所述连接部将所述第一固定台和两个所述吸合电极的所述第二端连接。22.如权利要求19或20所述的致动器的形成方法，其特征在于，形成所述第二柱体的步骤中，所述伸缩结构包括：固定电极板和与所述固定电极板相对设置的可动电极板，所述可动电极板与第一固定台或者第二固定台连接，所述固定电极板由所述叠层结构构成，所述可动电极板由所述第一牺牲层上的所述第二柱体构成。23.如权利要求19或20所述的致动器的形成方法，其特征在于，形成所述第二柱体的步
骤中，还形成弹性部件，所述弹性部件将拨动杆和伸缩结构连接，将连接第一固定台和伸缩结构连接，将连接第二固定台和伸缩结构连接。24.如权利要求20所述的致动器的形成方法，其特征在于，形成所述第一柱体的步骤中，所述第一柱体还形成在所述轨道区中；形成所述第二柱体的步骤中，所述轨道区中的所述叠层结构作为轨道固定柱；形成所述第二柱体的步骤中，所述轨道区中，所述第一牺牲层上的所述第二柱体相间隔的位于所述轨道固定柱的两侧。25.如权利要求20所述的致动器的形成方法，其特征在于，提供基板的步骤中，所述基板还包括固定滑动区；所述致动器的形成方法还包括：形成所述第二柱体后，在所述第二柱体露出的所述第一牺牲层上形成第二牺牲层；在所述第三柱体露出的所述第二牺牲层和第二柱体上形成第三牺牲层；在所述第三牺牲层和所述第三柱体上形成第四柱体，所述第三牺牲层和所述第三柱体正上方的所述第四柱体作为封盖，所述封盖中具有露出所述固定滑动区中第五柱体的滑槽，所述滑槽的延伸方向与所述步进轨道的延伸方向相同；在去除所述第一牺牲层的步骤中，还去除所述第二牺牲层，在所述步进轨道中形成通槽，所述通槽的延伸方向与步进轨道的延伸方向相同，所述轨道固定柱位于所述通槽内。26.如权利要求25所述的致动器的形成方法，其特征在于，形成所述第一柱体的步骤中，所述第一柱体还形成在所述固定滑动区；形成所述第二柱体的步骤中，所述第二柱体还形成在所述固定滑动区的所述第一柱体上；形成所述第三柱体的步骤中，还在所述固定滑动区的所述叠层结构的正上方形成第五柱体；形成所述第四柱体的步骤中，还在所述第五柱体上形成第六柱体；在所述第四柱体和第六柱体之间的第三牺牲层上形成第四牺牲层；形成第四牺牲层后，在所述第六柱体上形成第七柱体，所述固定滑动区中的所述叠层结构、第五柱体、第六柱体以及第七柱体作为小径端；在所述第七柱体露出的所述第四牺牲层和第四柱体上形成第五牺牲层；形成所述第五牺牲层后，在所述第七柱体上形成第八柱体，所述第八柱体作为大径端，所述小径端和大径端作为滑轨锁位帽，所述大径端在所述基板上的投影与所述封盖在所述基板上的投影有重叠。27.如权利要求26所述的致动器的形成方法，其特征在于，去除所述第一牺牲层的步骤中，还去除所述第二牺牲层、第三牺牲层、第四牺牲层以及第五牺牲层。28.如权利要求19所述的致动器的形成方法，其特征在于，形成所述第二柱体的步骤中，所述上拉电极和吸合电极在第一方向上相间隔，所述连接臂沿第一方向延伸；所述吸合电极沿第二方向延伸，所述步进轨道沿第二方向延伸，所述第二方向与所述第一方向相垂直。29.一种电子设备，其特征在于，包括：如权利要求1至14任一项所述的致动器；
与所述致动器连接的被移动部件。30.如权利要求29所述的电子设备，其特征在于，所述被移动部件包括图像传感器、射频发生器、镜片、棱镜、光栅或波导。

技术总结
一种致动器及其形成方法、驱动方法、电子设备，致动器包括：基板；上拉机构，设置于基板上，上拉机构包括移动端和固定端；拨动结构，悬置于基板上，拨动结构的一端与上拉机构的移动端连接；第一固定台和第二固定台，固定于基板上，位于拨动结构的两侧，且第一固定台与上拉机构的固定端连接；伸缩结构，位于拨动结构两侧的基板上，拨动结构一侧的伸缩结构将第一固定台和拨动结构远离上拉机构的一端连接，拨动结构一侧的伸缩结构将第二固定台和拨动结构远离上拉机构的一端连接；步进轨道，悬浮设置于基板上。本发明能够将拨动结构的偏转转变成步进轨道的微小位移，使拨动结构发生周期性的偏转累积成步进轨道的位移，有行程大、移动精度高的优点。度高的优点。度高的优点。


技术研发人员：韩凤芹
受保护的技术使用者：中芯集成电路（宁波）有限公司
技术研发日：2020.07.30
技术公布日：2022/2/18