一种晶圆生产用切割装置的制作方法

技术特征：
1.一种晶圆生产用切割装置，包括加工台（1）、切割刀片（3）、夹块（5），其特征在于：所述加工台（1）背面滑动连接有滑杆（2），所述滑杆（2）底端转动连接有切割刀片（3），所述加工台（1）上表面靠近中心处两侧均设置有夹块（5），所述加工台（1）正面靠近底部处开设有滑轨槽（6），所述滑轨槽（6）内壁中滑动连接有回收盒（7），所述加工台（1）一侧中部固定连接有电机（8），所述电机（8）动力输出端通过联轴器固定连接有丝杆（9），两个所述夹块（5）内侧中部分别固定连接有第一缓冲块（11）、第二缓冲块（110），所述滑杆（2）靠近加工台（1）中心处一端外围套接有集尘罩（13），所述集尘罩（13）顶部固定安装有负压装置（12）。2.根据权利要求1所述的一种晶圆生产用切割装置，其特征在于：所述加工台（1）上表面中部开设有活动槽（4），两个所述夹块（5）底部均通过滑块滑动连接于所述活动槽（4）内壁两侧，且两个滑块均通过螺纹转动连接于所述丝杆（9）外壁两侧。3.根据权利要求2所述的一种晶圆生产用切割装置，其特征在于：所述加工台（1）上表面靠近中心处开设有落料孔（10），所述落料孔（10）与所述滑轨槽（6）相互垂直贯穿。4.根据权利要求3所述的一种晶圆生产用切割装置，其特征在于：所述第一缓冲块（11）与所述第二缓冲块（110）尺寸相等，所述第一缓冲块（11）靠近第二缓冲块（110）一端开设有矩形槽，且矩形槽内壁中固定连接有减震弹簧，所述第二缓冲块（110）靠近第一缓冲块（11）一端固定连接有矩形块，且矩形块正视于所述矩形槽。5.根据权利要求4所述的一种晶圆生产用切割装置，其特征在于：所述集尘罩（13）为中空圆盘形结构，且集尘罩（13）正视于两个所述夹块（5）中心处。6.根据权利要求5所述的一种晶圆生产用切割装置，其特征在于：所述集尘罩（13）底面靠近中心处贯穿开设有贯穿孔（14），所述落料孔（10）直径值为所述贯穿孔（14）直径值的两倍。

技术总结
本实用新型公开了一种晶圆生产用切割装置，包括加工台、切割刀片、夹块，所述加工台背面滑动连接有滑杆，所述滑杆底端转动连接有切割刀片，所述加工台上表面靠近中心处两侧均设置有夹块，所述滑杆靠近加工台中心处一端外围套接有集尘罩，所述集尘罩顶部固定安装有负压装置；本实用新型通过电机带动丝杆在活动槽内壁中转动，两个夹块底部通过滑块滑动连接于活动槽内壁两侧，从而使得两个夹块在丝杆上同向滑动，第一缓冲块通过一端的矩形块与第二缓冲块一端的矩形槽中减震弹簧贴合时起到缓冲减震效果，避免了待切割晶圆放置在第一缓冲块与第二缓冲块之间上方时被两个夹块挤压变形导致挤压损坏边料的问题。致挤压损坏边料的问题。致挤压损坏边料的问题。


技术研发人员：王长东
受保护的技术使用者：苏州军科域光电科技有限公司
技术研发日：2021.10.09
技术公布日：2022/2/8