一种微阴极电弧推力器导电薄膜的电阻计算方法与流程

技术特征：
1.一种微阴极电弧推力器导电薄膜的电阻计算方法，其特征在于，包括如下步骤：根据微阴极电弧推力器的尺寸，将圆环形的导电薄膜由内到外分为阳极覆盖区i、一般放电区ii和阴极接触区iii三个区域；将每个区域按照不同厚度分为若干个区块；计算每个区块的电阻；按照并联电阻的计算方法分别计算阳极覆盖区i、一般放电区ii和阴极接触区iii三个区域的电阻；按照串联电阻的计算方法计算微阴极电弧推力器导电薄膜的电阻。2.根据权利要求1所述的微阴极电弧推力器导电薄膜的电阻计算方法，其特征在于，每个区块的电阻采用如下公式计算：其中，θ为各个区块所对应的扇形角度，r1为各个区块的内径，r2为各个区块的外径，d为各个区块的厚度，ρ则是当前厚度对应的电阻率。3.根据权利要求2所述的微阴极电弧推力器导电薄膜的电阻计算方法，其特征在于，θ以及r1和r2通过直接测量的方式获得。4.根据权利要求2所述的微阴极电弧推力器导电薄膜的电阻计算方法，其特征在于，θ以及r1和r2通过图像分析获得。5.根据权利要求2-4中任一项所述的微阴极电弧推力器导电薄膜的电阻计算方法，其特征在于，当前厚度对应的电阻率ρ采用如下方法得到：首先，使用四探针方阻仪测试与待测导电薄膜同一批次的设置于矩形陶瓷片上的薄膜的电阻率；其次，对不同厚度的导电薄膜电阻率进行测量，最后，对电阻率和厚度数据进行拟合建立电阻率与厚度的关系。6.根据权利要求5所述的微阴极电弧推力器导电薄膜的电阻计算方法，其特征在于，所述厚度包括10nm、20nm、50nm、100nm、200nm、500nm、1μm、2μm、5μm、10μm。7.根据权利要求5所述的微阴极电弧推力器导电薄膜的电阻计算方法，其特征在于，每个厚度取3-5个不同位置测量求平均值。

技术总结
本发明涉及一种微阴极电弧推力器导电薄膜的电阻计算方法，包括如下步骤：根据微阴极电弧推力器的尺寸，将圆环形的导电薄膜由内到外分为阳极覆盖区I、一般放电区II和阴极接触区III三个区域；将每个区域按照不同厚度分为若干个区块；计算每个区块的电阻；按照并联电阻的计算方法分别计算阳极覆盖区I、一般放电区II和阴极接触区III三个区域的电阻；按照串联电阻的计算方法计算微阴极电弧推力器导电薄膜的电阻。本发明的计算方法能够建立起不均匀导电薄膜的厚度和电阻的关系；通过电阻表征样机的工作状态，建立了导电薄膜厚度和推力器寿命的关系，有助于完善微阴极电弧推力器寿命评估体系；对于其他领域中存在的圆环形的且厚度不均匀的电阻同样适用。度不均匀的电阻同样适用。度不均匀的电阻同样适用。


技术研发人员：刘向阳 赵子靖 王帅 郭浩然 张晋尚
受保护的技术使用者：北京理工大学
技术研发日：2022.01.05
技术公布日：2022/2/6