背压控制阀的制作方法

技术特征：
1.一种背压控制阀，包括：本体部，具有内部空间；阀体，配置于所述本体部的所述内部空间内，并且具有与所述内部空间的一面相向的相向面；驱动部，使所述阀体以所述阀体的所述相向面与所述内部空间的所述一面之间的距离发生变化的方式移动；以及树脂被膜，形成于所述内部空间内的所述一面及所述阀体的所述相向面中的其中一个面上，所述本体部具有第一流路及第二流路，所述第一流路将流体引导至形成于所述一面及所述阀体的所述相向面中的另一个面与所述树脂被膜之间的压力控制空间，所述第二流路从所述压力控制空间排出流体。2.根据权利要求1所述的背压控制阀，其中，所述本体部由第一材料形成，所述阀体由比所述第一材料软质的第二材料形成，所述树脂被膜形成于所述内部空间的所述一面上。3.根据权利要求2所述的背压控制阀，其中，所述第一材料是金属材料，所述第二材料是树脂材料，所述树脂被膜具有比所述金属材料低的硬度。4.根据权利要求1至3中任一项所述的背压控制阀，其中，所述树脂被膜由酮系树脂形成。5.根据权利要求1至3中任一项所述的背压控制阀，其中，所述树脂被膜由聚醚醚酮形成。6.根据权利要求1至3中任一项所述的背压控制阀，其中，所述树脂被膜具有50μm以下的厚度。

技术总结
背压控制阀包括：本体部，具有内部空间；阀体，配置于所述本体部的所述内部空间内，并且具有与所述内部空间的一面相向的相向面；驱动部，使所述阀体以所述阀体的所述相向面与所述内部空间的所述一面之间的距离发生变化的方式移动；以及树脂被膜，形成于所述内部空间内的所述一面及所述阀体的所述相向面中的其中一个面上，所述本体部具有第一流路及第二流路，所述第一流路将流体引导至形成于所述一面及所述阀体的所述相向面中的另一个面与所述树脂被膜之间的压力控制空间，所述第二流路从所述压力控制空间排出流体。所述压力控制空间排出流体。所述压力控制空间排出流体。


技术研发人员：高良智寻
受保护的技术使用者：株式会社岛津制作所
技术研发日：2019.06.11
技术公布日：2022/2/6