一种基板后处理装置的制作方法

技术特征：
1.一种基板后处理装置，其特征在于，包括设置基板后处理模块的槽体，所述槽体的底板通过调节组件固定于基座；所述调节组件包括第一连接板，所述底板通过第一连接板设置于基座的上侧；所述第一连接板的端部设置有竖向贯通的螺纹孔，所述螺纹孔的内部配置有调节螺母；所述调节螺母能够抵接所述基座使得第一连接板与基座分离，以在两者之间的间隙放置垫片实现槽体水平度的调节。2.如权利要求1所述的基板后处理装置，其特征在于，所述调节组件还包括第二连接板，其通过螺栓固定于底板的下侧；所述第二连接板配置有腰形的纵向调节孔，其通过螺栓穿过纵向调节孔固定于第一连接板的上侧。3.如权利要求2所述的基板后处理装置，其特征在于，所述底板的角部配置有腰形的横向调节孔，螺栓穿过横向调节孔将底板与第二连接板固定。4.如权利要求3所述的基板后处理装置，其特征在于，所述第二连接板的顶面配置有销轴，所述底板的对应位置配置有销孔，所述底板能够以销轴为中心沿所述横向调节孔左右摆动，以调节底板及其上槽体的位置。5.如权利要求2所述的基板后处理装置，其特征在于，所述第一连接板的端面配置有纵向调节座，所述纵向调节座设置有纵向调节螺栓，所述纵向调节螺栓转动连接于纵向调节座并与所述第二连接板螺纹连接，以带动第二连接板及其上侧的槽体沿纵向调节孔移动。6.如权利要求1所述的基板后处理装置，其特征在于，所述调节螺母的中心设置有竖向的连接孔，螺栓穿过所述连接孔将第一连接板与基座连接。7.如权利要求4所述的基板后处理装置，其特征在于，所述底板的端面配置有限位块，第二连接板的端面设置有一对横向调节座，所述横向调节座位于所述限位块的两侧；横向调节座配置有沿底板的宽度方向设置的横向调节螺栓，旋转横向调节螺栓以抵接所述限位块，驱动所述底板沿销轴摆动。8.如权利要求1所述的基板后处理装置，其特征在于，所述调节组件设置于所述槽体的操作端，所述第一连接板连接于所述底板长度方向的端部。9.如权利要求4所述的基板后处理装置，其特征在于，所述销轴的外周面配置有防护层，所述防护层由聚四氟乙烯制成，配置有防护层的销轴与销孔间隙配合。10.一种基板后处理方法，其特征在于，使用权利要求1至9任一项所述的基板后处理装置，其包括以下步骤：s1，根据搬运机械手的移动轨迹，旋转调节螺母，视需改变第一连接板与基座之间的垫片厚度，以调整槽体的水平度；s2，根据搬运机械手的移动轨迹，旋转纵向调节座的纵向调节螺栓，以调整槽体的纵向位置；s3，根据搬运机械手的移动轨迹，旋转横向调节座的横向调节螺栓，使得底板能够以销轴为中心沿横向调节孔摆动，以调节槽体的位置；s4，搬运机械手将基板放置于槽体，以完成基板的后处理。

技术总结
本发明公开了一种基板后处理装置，其包括设置基板后处理模块的槽体，所述槽体的底板通过调节组件固定于基座；所述调节组件包括第一连接板，所述底板通过第一连接板设置于基座的上侧；所述第一连接板的端部设置有竖向贯通的螺纹孔，所述螺纹孔的内部配置有调节螺母；所述调节螺母能够抵接所述基座使得第一连接板与基座分离，以在两者之间的间隙放置垫片实现槽体水平度的调节。槽体水平度的调节。槽体水平度的调节。


技术研发人员：王剑 王同庆
受保护的技术使用者：华海清科股份有限公司
技术研发日：2021.10.22
技术公布日：2022/1/28