图像处理程序、图像处理装置以及图像处理方法与流程

技术特征：
1.一种图像处理程序，其用于使用试样的基准数据和与所述试样相关的输入数据对该试样进行检查，其特征在于，所述图像处理程序执行以下步骤：接收所述基准数据；基于所述基准数据计算与所述试样有关的特征量；以及基于所述特征量，计算用于表示该输入数据可取得的值的概率分布的统计量。2.根据权利要求1所述的图像处理程序，其特征在于，所述图像处理程序还执行以下步骤：判断对用于计算所述特征量的参数和用于计算所述统计量的参数进行学习的必要性，在判断为需要进行所述学习的情况下，所述图像处理程序执行以下步骤：接收所述输入数据；将所述统计量与所述输入数据进行比较；以及根据所述比较的结果来变更用于计算所述特征量的参数以及用于计算所述统计量的参数，在判断为不需要进行所述学习的情况下，所述图像处理程序执行以下步骤：将用于计算所述特征量的参数以及用于计算所述统计量的参数作为模型数据进行保存。3.根据权利要求1所述的图像处理程序，其特征在于，所述图像处理程序还执行以下步骤：接收所述输入数据；将所述统计量与所述输入数据进行比较；以及使用所述比较的结果来进行所述试样的评价。4.根据权利要求3所述的图像处理程序，其特征在于，所述试样的评价是针对所述试样的缺陷检查或者与过程变动相伴的所述试样的形状偏差评价。5.根据权利要求1～4中的任意一项所述的图像处理程序，其特征在于，表示所述输入数据的值是表示所述试样的形状或物理性质的值。6.根据权利要求3或4所述的图像处理程序，其特征在于，所述图像处理程序还执行显示所述统计量或所述评价的结果的步骤。7.一种图像处理装置，其用于使用试样的基准数据和与所述试样相关的输入数据对该试样进行检查，其特征在于，具备：接收所述基准数据的单元；基于所述基准数据计算与所述试样有关的特征量的单元；以及基于所述特征量，计算用于表示该输入数据可取得的值的概率分布的统计量的单元。8.根据权利要求7所述的图像处理装置，其特征在于，所述图像处理装置还具有以下单元：判断对用于计算所述特征量的参数和用于计算所述统计量的参数进行学习的必要性的单元；接收所述输入数据的单元；
将所述统计量与所述输入数据进行比较的单元；以及变更用于计算所述特征量的参数以及用于计算所述统计量的参数并进行保存的单元，在判断为需要进行所述学习的情况下，进行所述比较的单元将所述统计量与所述输入数据进行比较，变更所述参数的单元变更用于计算所述特征量的参数以及用于计算所述统计量的参数，在判断为不需要进行所述学习的情况下，保存所述参数的单元将用于计算所述特征量的参数和用于计算所述统计量的参数作为模型数据进行保存。9.根据权利要求8所述的图像处理装置，其特征在于，所述图像处理装置还具备：接收所述输入数据的单元；将所述统计量与所述输入数据进行比较的单元；以及使用所述比较的结果进行所述试样的评价的单元。10.根据权利要求9所述的图像处理装置，其特征在于，所述试样的评价是针对所述试样的缺陷检查或者与过程变动相伴的所述试样的形状偏差评价。11.根据权利要求7～10中的任意一项所述的图像处理装置，其特征在于，表示所述输入数据的值是表示所述试样的形状或物理性质的值。12.根据权利要求9或10所述的图像处理装置，其特征在于，所述图像处理装置还具有显示所述统计量或所述评价的结果的单元。13.一种图像处理方法，其用于使用试样的基准数据和与所述试样相关的输入数据对该试样进行检查，其特征在于，所述图像处理方法具备以下步骤：接收所述基准数据；基于所述基准数据计算与所述试样有关的特征量；以及基于所述特征量，计算用于表示该输入数据可取得的值的概率分布的统计量。14.根据权利要求13所述的图像处理方法，其特征在于，所述图像处理方法还具有以下步骤：判断对用于计算所述特征量的参数和用于计算所述统计量的参数进行学习的必要性，在判断为需要进行所述学习的情况下，所述图像处理方法具有以下步骤：接收所述输入数据；将所述统计量与所述输入数据进行比较；以及根据所述比较的结果来变更用于计算所述特征量的参数以及用于计算所述统计量的参数，在判断为不需要进行所述学习的情况下，所述图像处理方法具有以下步骤：将用于计算所述特征量的参数以及用于计算所述统计量的参数作为模型数据进行保存。15.根据权利要求13所述的图像处理方法，其特征在于，所述图像处理方法还具有以下步骤：接收所述输入数据；
将所述统计量与所述输入数据进行比较；以及使用所述比较的结果来进行所述试样的评价。16.根据权利要求15所述的图像处理方法，其特征在于，所述试样的评价是针对所述试样的缺陷检查或者与过程变动相伴的所述试样的形状偏差评价。17.根据权利要求13～16中的任意一项所述的图像处理方法，其特征在于，表示所述输入数据的值是表示所述试样的形状或物理性质的值。18.根据权利要求15或16所述的图像处理方法，其特征在于，所述图像处理方法还具有显示所述统计量或所述评价的结果的步骤。

技术总结
本发明的目的在于提供一种用于实现高速且虚报少的芯片对数据库检查的计算机程序以及使用该计算机程序的半导体检查装置。为了实现上述目的，提出了一种计算机程序以及使用了该计算机程序的半导体检查装置，该计算机程序具备：编码器层(S302)，其构成为决定设计数据图像的特征；以及解码器层(S303)，其根据编码器层输出的特征量，基于对检查对象图案进行拍摄而得到的图像(检查对象图像)的变化，生成各像素的亮度值的统计量，将从解码器层得到的与亮度值相关的统计量与检查对象图像进行比较，检测图像上的缺陷区域，由此能够实现虚报少的芯片对数据库检查。芯片对数据库检查。芯片对数据库检查。


技术研发人员：大内将记 筱田伸一 丰田康隆 弓场龙 新藤博之
受保护的技术使用者：株式会社日立高新技术
技术研发日：2019.06.13
技术公布日：2022/1/28