半导体器件的制备方法及半导体器件与流程

1.本公开涉及半导体技术领域，具体而言，涉及一种半导体器件的制 备方法及半导体器件。


背景技术：

2.在亚微米技术中，浅沟槽隔离(shallow trench isolation，sti)结构 已取代了其它半导体器件隔离方法，例如需要更多宝贵面积的硅局部氧 化隔离(local oxidation of silicon，locos)技术。
3.在浅沟槽隔离工艺中，在半导体有源区(active area，例如可以用 于形成栅极和源极/漏极)之间的半导体衬底中形成浅沟槽，并使 mosfet彼此电隔离。浅沟槽填充有绝缘材料，例如氧化硅，以提供电 绝缘。
4.相关技术中，在形成wl(wordline，字线)沟槽时，由于刻蚀选择 比，导致在有源区与sti中形成的wl沟槽的深度不同，从而使得沉积 形成的wl的金属栅极在wl沟槽的底部的深度不同，导致sti中的金 属栅极容易与有源区以及邻近的栅极发生耦合作用，形成寄生电容，进 而导致漏电流现象的发生。
5.此外，金属栅极的底部深度不同，同样拉长了导线的有效长度，增 加了导线电阻。
6.需要说明的是，在上述背景技术部分公开的信息仅用于加强对本公 开的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现 有技术的信息。


技术实现要素：

7.本公开的目的在于克服上述现有技术的不足，提供一种半导体器件 的制备方法及半导体器件。
8.本公开实施例提供一种半导体器件的制备方法，所述方法包括：提 供半导体衬底，所述半导体衬底包括浅沟槽及所述浅沟槽隔离出的有源 区；在所述浅沟槽及所述有源区暴露的外表面形成含氧层；在表面包括 所述含氧层的所述浅沟槽内填充设定高度的第一隔离层，所述设定高度 低于所述有源区的高度；在所述第一隔离层的上表面形成刻蚀停止层； 在所述浅沟槽中所述刻蚀停止层之上填充第二隔离层，以形成浅沟槽隔 离结构；刻蚀所述有源区和所述浅沟槽隔离结构，以形成字线沟槽，其 中所述浅沟槽隔离结构内的字线沟槽的底部高于所述设定高度。
9.在本公开的一种示例性实施例中，在所述第一隔离层的上表面形成 刻蚀停止层，包括：在所述第一隔离层的上表面和对应所述有源区的所 述含氧层暴露的外表面，形成刻蚀停止层；去除对应所述有源区侧壁的 刻蚀停止层。
10.在本公开的一种示例性实施例中，在所述第一隔离层的上表面形成 刻蚀停止层，包括：使用图形化沉积工艺，选择性地在所述第一隔离层 的上表面形成所述刻蚀停止层。
11.在本公开的一种示例性实施例中，所述刻蚀停止层的厚度处于2nm 至10nm的范围之内。
12.在本公开的一种示例性实施例中，所述浅沟槽隔离结构内的字线沟 槽的底部和所述有源区内的字线沟槽的底部均与所述刻蚀停止层的上表 面齐平。
13.在本公开的一种示例性实施例中，所述含氧层包括线形氧化层，氧 化物层和氮化物层堆叠结构，氧化物层、氮化物层和氧化物层堆叠结构 中的至少一种。
14.在本公开的一种示例性实施例中，所述第一隔离层的材料包括氧化 物、正硅酸乙酯、旋涂有机碳、不定型碳、光刻胶以及含硅高分子材料 中的至少一种。
15.在本公开的一种示例性实施例中，所述第二隔离层包括氧化物层， 氧化物层和氮化物层堆叠结构，氧化物层、氮化物层和氧化物层堆叠结 构中的至少一种。
16.在本公开的一种示例性实施例中，所述方法还包括：在所述字线沟 槽内形成字线结构，所述字线结构包括栅氧化物层、阻挡层、导电层和 字线保护盖层。
17.在本公开的一种示例性实施例中，所述刻蚀停止层的材料包括氮化 硅、碳氮化硅和碳氮氧化硅中的至少一种。
18.在本公开的一种示例性实施例中，所述方法还包括：根据所述有源 区内的字线沟槽的深度设置所述设定高度。
19.本公开实施例提供一种半导体器件，所述半导体器件包括：半导体 衬底，其包括：浅沟槽；以及所述浅沟槽隔离出的有源区。其中，在所 述浅沟槽的底部和所述有源区的表面包括含氧层；所述浅沟槽对应的含 氧层上表面填充有设定高度的第一隔离层，所述设定高度低于所述有源 区的高度；在所述第一隔离层的上表面包括刻蚀停止层；在所述浅沟槽 中所述刻蚀停止层之上包括浅沟槽隔离结构，所述浅沟槽隔离结构由第 二隔离层填充而成；所述浅沟槽隔离结构和所述有源区内包括字线沟槽， 所述浅沟槽隔离结构内的字线沟槽的底部高于所述设定高度。
20.在本公开的一种示例性实施例中，所述刻蚀停止层的厚度处于2nm 至10nm的范围之内。
21.在本公开的一种示例性实施例中，所述浅沟槽隔离结构内的字线沟 槽的底部和所述有源区内的字线沟槽的底部均与所述刻蚀停止层的上表 面齐平。
22.本公开一些实施例提供的半导体器件的制备方法，通过在形成sti 过程中，在浅沟槽内的第一隔离层的设定高度处设置一刻蚀停止层，使 得在后续刻蚀形成wl沟槽时，通过该刻蚀停止层可以阻止wl沟槽在 sti中继续刻蚀，从而使得能够在sti结构内形成一与有源区的wl沟 槽深度接近一致的wl沟槽。一方面，由于形成的wl沟槽在有源区与 sti结构中的深度近似相同，进而可以使得后续在有源区和sti结构内 形成的wl字线的金属栅极的底部在半导体衬底内的深度近似相同，可 以形成一条接近平直的直线，从而可以改善sti结构中的wl与有源区 及邻近的wl之间形成的寄生电容，减小漏电流发生。另一方面，也可 以缩短wl的长度，减小导电电阻。
23.应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解 释性的，并不能限制本公开。
附图说明
24.此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合 本公开的实施例，并与说明书一起用于解释本公开的原理。显而易见地， 下面描述中的附图仅仅是本
公开的一些实施例，对于本领域普通技术人 员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他 的附图。
25.图1示意性示出了根据本公开的一实施例的半导体器件的制备方法 的流程图；
26.图2示意性示出了根据本公开的一实施例的半导体器件的制备方法 的流程图；
27.图3-25示意性示出了根据本公开的一实施例的半导体器件的制备方 法的流程示意图；
28.图26示意性示出了根据本公开的一实施例的半导体器件的制备方 法的流程图。
具体实施方式
29.现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式 能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的实施方式；相反， 提供这些实施方式使得本公开将全面和完整，并将示例实施方式的构思 全面地传达给本领域的技术人员。图中相同的附图标记表示相同或类似 的结构，因而将省略它们的详细描述。此外，附图仅为本公开的示意性 图解，并非一定是按比例绘制。
30.虽然本说明书中使用相对性的用语，例如“上”“下”来描述图标 的一个组件对于另一组件的相对关系，但是这些术语用于本说明书中仅 出于方便，例如根据附图中所述的示例的方向。能理解的是，如果将图 标的装置翻转使其上下颠倒，则所叙述在“上”的组件将会成为在“下
”ꢀ
的组件。当某结构在其它结构“上”时，有可能是指某结构一体形成于 其它结构上，或指某结构“直接”设置在其它结构上，或指某结构通过 另一结构“间接”设置在其它结构上。
31.用语“一个”、“一”、“该”、“所述”和“至少一个”用以表 示存在一个或多个要素/组成部分/等；用语“包括”和“具有”用以表 示开放式的包括在内的意思并且是指除了列出的要素/组成部分/等之外 还可存在另外的要素/组成部分/等；用语“第一”、“第二”仅作为标 记使用，不是对其对象的数量限制。
32.图1示意性示出了根据本公开的一实施例的半导体器件的制备方法 的流程图。
33.如图1所示，本公开实施例提供的方法可以包括以下步骤。
34.在步骤s110中，提供半导体衬底，所述半导体衬底包括浅沟槽及所 述浅沟槽隔离出的有源区。
35.本公开实施例，提供一半导体衬底，可以用于为后续工艺提供操作 平台。半导体衬底可以采用任何用以承载半导体集成电路组成元件的底 材，可以是裸片，也可以是经过外延生长工艺处理后的晶圆。半导体衬 底例如可以是绝缘体上硅(silicon-on-insulator，soi)基底、体硅(bulksilicon)基底、锗基底、锗硅基底、磷化铟(inp)基底、砷化镓(gaas) 基底或者绝缘体上锗基底等中的任意一种或者多种的组合。
36.其中，有源区是用来建立晶体管主体的位置所在，在其上形成源、 漏和栅极，两个有源区之间以sti来做隔离。
37.在步骤s120中，在所述浅沟槽及所述有源区暴露的外表面形成含氧 层。
38.在示例性实施例中，所述含氧层可以包括线形氧化层(liner oxide)， 氧化物层和氮化物层堆叠结构(oxide/nitride)，氧化物层、氮化物层和氧 化物层堆叠结构(ono结构)等中的至少一种。
39.其中，线形氧化层例如可以为在高温炉管中形成的氧化层。氧化物 层和氮化物层堆叠结构是指在一层氧化物层之上堆叠一层氮化物层，在 该层氮化物层之上可以再堆叠另一层氧化物层，以此类推，氧化物层和 氮化物层层层堆叠而成的结构，本公开不对氧化物层、氮化物层的层数 量、层厚度等参数进行限定。氧化物层、氮化物层和氧化物层堆叠结构 是指包括至少一个堆叠的氧化物层、氮化物层和氧化物层结构，每个氧 化物层、氮化物层和氧化物层结构包括依次堆叠的氧化物层、氮化物层 和氧化物层。
40.在步骤s130中，在表面包括所述含氧层的所述浅沟槽内填充设定高 度的第一隔离层，所述设定高度低于所述有源区的高度。
41.在示例性实施例中，所述第一隔离层的材料可以包括氧化物(oxide)、 正硅酸乙酯(tetraethyl orthosilicate，teos)、旋涂有机碳、不定型碳、 光刻胶以及含硅高分子材料等中的至少一种。
42.在示例性实施例中，所述方法还可以包括：根据所述有源区内的字 线沟槽的深度设置所述设定高度。
43.本公开实施例中，从浅沟槽底部起，所述设定高度的取值范围例如 可以是100-160nm，但本公开并不限定于此，设定高度的设置取决于要 在有源区内形成的字线的深度，有源区内字线的深度又取决于有源区内 的字线沟槽的深度。
44.在步骤s140中，在所述第一隔离层的上表面形成刻蚀停止层。
45.在示例性实施例中，所述刻蚀停止层的厚度可以处于2nm至10nm 的范围之内。例如，可以设置刻蚀停止层的厚度为2nm，4nm，5nm，8nm， 9nm或者10nm等中的任意一个。但本公开并不限定于此，可以根据实 际需求进行选择。
46.在示例性实施例中，所述刻蚀停止层的材料可以包括氮化硅(sin)、 碳氮化硅(sicn)和碳氮氧化硅(sicon)中的至少一种。刻蚀停止层 也可以称之为刻蚀终止层。
47.在步骤s150中，在所述浅沟槽中所述刻蚀停止层之上填充第二隔离 层，以形成浅沟槽隔离结构。
48.在示例性实施例中，所述第二隔离层可以包括氧化物层(oxide)，氧 化物层和氮化物层堆叠结构(oxide/nitride)，氧化物层、氮化物层和氧化 物层堆叠结构(ono结构)中的至少一种。
49.在步骤s160中，刻蚀所述有源区和所述浅沟槽隔离结构，以形成字 线沟槽，其中所述浅沟槽隔离结构内的字线沟槽的底部高于所述设定高 度。
50.在示例性实施例中，所述浅沟槽隔离结构内的字线沟槽的底部和所 述有源区内的字线沟槽的底部可以均与所述刻蚀停止层的上表面齐平。
51.本公开实施例中，可以采用光罩刻蚀分别在有源区和sti结构内形 成wl沟槽，由于之前是以字线在有源区的深度为参考来设置第一隔离 层的设定高度的，然后在该设定高度的第一隔离层之上形成刻蚀停止层， 因此，就能够防止因为刻蚀选择比导致在sti结构内的字线沟槽的深度 过深的问题，从而使得在有源区内和sti结构内的字线沟槽的深度接近。 理想情况下，可以使得有源区内和sti结构内的字线沟槽的深度相同， 即有源区内的字线沟槽的底部、sti结构内的字线沟槽的底部均与刻蚀 停止层的上表面齐平，从而使得后续工艺中，在有源区内和sti结构内 的字线的深度相同。
52.本公开实施方式提供的半导体器件的制备方法，通过在形成sti过 程中，在浅沟
槽内的第一隔离层的设定高度处设置一刻蚀停止层，使得 在后续刻蚀形成wl沟槽时，通过该刻蚀停止层可以阻止wl沟槽在 sti中继续刻蚀，从而使得能够在sti结构内形成一与有源区的wl沟 槽深度接近一致的wl沟槽。一方面，由于形成的wl沟槽在有源区与 sti结构中的深度近似相同，进而可以使得后续在有源区和sti结构内 形成的wl字线的金属栅极的底部在半导体衬底内的深度近似相同，可 以形成一条接近平直的直线，从而可以改善sti结构中的wl与有源区 及邻近的wl之间形成的寄生电容，减小漏电流发生。另一方面，也可 以缩短wl的长度，减小导电电阻。
53.图2示意性示出了根据本公开的一实施例的半导体器件的制备方法 的流程图。如图2所示，本公开实施例提供的方法可以包括以下步骤。
54.在步骤s110中，提供半导体衬底，所述半导体衬底包括浅沟槽及所 述浅沟槽隔离出的有源区。
55.如图3-5所示，半导体衬底包括浅沟槽1以及浅沟槽隔离出的有源 区2。
56.在图3实施例中，在半导体衬底表面所在的平面内，可以预先定义 有相互垂直的纵向(即俯视图图3中的aa延伸方向)及横向(未图示， 即沿俯视图图3中从左至右的水平方向)，例如当浅沟槽隔离结构用于定 义存储阵列中的存储单元对应的有源区时，可以定义纵向是与字线的延 伸方向(未图示)或位线的延伸方向(如俯视图图3中的bb延伸方向)呈 一定夹角的方向，横向是和纵向垂直相交的方向。当然，在本公开的其 他实施例中，也可以定义纵向是与字线的延伸方向或位线的延伸方向相 同的方向，横向和纵向垂直相交的方向。
57.图4为图3沿aa方向的剖面图，图5为图3沿bb方向的剖面图， bb方向与aa方向相交，可以是有源区的延伸方向。
58.在步骤s120中，在所述浅沟槽及所述有源区暴露的外表面形成含氧 层。
59.如图6-8所示，在浅沟槽1及有源区2暴露的外表面形成含氧层3， 例如liner oxide、oxide/nitride或ono结构。其中，图6为俯视图，图7 为图6的剖面图，图8为图6的剖面图。
60.在步骤s130中，在表面包括所述含氧层的所述浅沟槽内填充设定高 度的第一隔离层，所述设定高度低于所述有源区的高度。
61.如图9-11所示，在表面包括含氧层3的浅沟槽1内填充设定高度的 第一隔离层4，第一隔离层4例如可以采用oxide、teos、旋涂有机碳、 不定型碳、光刻胶及含硅高分子材料等中的任意一种或者多种材料制成。 其中，图9为俯视图，图10为图9沿aa方向的剖面图，图11为图9 沿bb方向的剖面图。
62.在步骤s141中，在所述第一隔离层的上表面和对应所述有源区的所 述含氧层暴露的外表面，形成刻蚀停止层。
63.如图12-14所示，在第一隔离层4的上表面和对应有源区2的含氧 层3暴露的外表面，形成刻蚀停止层5。刻蚀停止层5例如可以采用sin、 sicn、sicon等中的任意一种或者多种材料制成。其中，图12为俯视 图，图13为图12的剖面图，图14为图12的剖面图。
64.在步骤s142中，去除对应所述有源区侧壁的刻蚀停止层。
65.如图15和16所示，去除对应有源区2侧壁的刻蚀停止层5，保留 第一隔离层4表面上的刻蚀停止层5，并保留有源区2的上表面对应的 含氧层3上的刻蚀停止层5。其中，图15
和图16的俯视图与图12相 同，图15为沿aa方向的剖面图，图16为沿bb方向的剖面图。
66.在步骤s150中，在所述浅沟槽中所述刻蚀停止层之上填充第二隔离 层，以形成浅沟槽隔离结构。
67.如图17-19所示，在浅沟槽1中刻蚀停止层5之上填充第二隔离层 6，以形成sti结构，第二隔离层6例如可以通过沉积oxide或者 oxide/nitride或ono结构形成。其中，图17为俯视图，图18为图17沿 aa方向的剖面图，图19为图17沿bb方向的剖面图。
68.在步骤s160中，刻蚀所述有源区和所述浅沟槽隔离结构，以形成字 线沟槽，其中所述浅沟槽隔离结构内的字线沟槽的底部高于所述设定高 度。
69.如图20-22所示，光罩刻蚀有源区2和浅沟槽隔离结构，以分别在 有源区和sti结构内形成字线沟槽7，由于sti结构的底部存在刻蚀停 止层5，从而使得浅沟槽隔离结构内的字线沟槽7的底部高于上述设定 高度，即刻蚀形成sti结构内的字线沟槽7时，由于刻蚀停止层5的存 在，使得sti结构内的字线沟槽7的深度不会超过刻蚀停止层5，使得 字线沟槽在sti结构内和有源区内的深度近似相同。其中，图20为俯视 图，图21为图20沿aa方向的剖面图，图22为图20沿bb方向的剖 面图。
70.在步骤s210中，在所述字线沟槽内形成字线结构，所述字线结构包 括栅氧化物层、阻挡层、导电层和字线保护盖层。
71.如图23-25所示，可以在有源区内和sti结构内的字线沟槽内，形 成栅氧化层8、阻挡层9(例如可以采用锡tin材料制成，但本公开并不 限定于此)、导电层10(例如可以采用金属钨w材料制成，但本公开并 不限定于此)和字线保护盖层(例如可以采用nitride)，以用于形成有源 区内和sti结构内的wl结构。其中，图23为俯视图，图24为图23沿 aa方向的剖面图，图25为图23沿bb方向的剖面图。
72.可以理解的是，本公开对如何在字线沟槽内形成字线沟槽的工艺、 组成结构等均不做限定。
73.本公开实施方式提供的半导体器件的制备方法，通过在形成sti过 程中，在浅沟槽内填充设定高度的第一隔离层，该设定高度根据所需的 有源区内的字线的深度设置，并在第一隔离层的上表面和对应有源区的 含氧层暴露的外表面形成一刻蚀停止层，之后去除对应有源区侧壁的刻 蚀停止层，从而使得在后续刻蚀形成有源区和sti结构内的wl沟槽时， 通过该sti结构底部保留的刻蚀停止层可以阻止wl沟槽在sti中继续 刻蚀，从而使得能够在sti结构内形成一与有源区的wl沟槽深度接近 一致的wl沟槽。一方面，由于形成的wl沟槽在有源区与sti结构中 的深度近似相同，进而可以使得后续在有源区和sti结构内形成的wl 字线的金属栅极的底部在半导体衬底内的深度近似相同，可以形成一条 接近平直的直线，从而可以改善sti结构中的wl与有源区及邻近的 wl之间形成的寄生电容，减小漏电流发生。另一方面，也可以缩短 wl的长度，减小导电电阻。
74.图26示意性示出了根据本公开的一实施例的半导体器件的制备方 法的流程图。如图26所示，本公开实施例提供的方法可以包括以下步骤。
75.在步骤s110中，提供半导体衬底，所述半导体衬底包括浅沟槽及所 述浅沟槽隔离出的有源区。
76.在步骤s120中，在所述浅沟槽及所述有源区暴露的外表面形成含氧 层。
77.在步骤s130中，在表面包括所述含氧层的所述浅沟槽内填充设定高 度的第一隔
离层，所述设定高度低于所述有源区的高度。
78.图26实施例中的步骤s110-s130可以参照上述图1-25实施例的描 述。
79.在步骤s143中，使用图形化沉积工艺，选择性地在所述第一隔离层 的上表面形成所述刻蚀停止层。
80.与上述实施例的不同之处在于，例如可以将上述图12-图16代替为， 直接使用图形化沉积工艺，选择只在第一隔离层的上表面形成刻蚀停止 层，这样可以进一步简化工艺，不需要后续去除有源区侧壁的刻蚀停止 层。
81.在步骤s150中，在所述浅沟槽中所述刻蚀停止层之上填充第二隔离 层，以形成浅沟槽隔离结构。
82.在步骤s160中，刻蚀所述有源区和所述浅沟槽隔离结构，以形成字 线沟槽，其中所述浅沟槽隔离结构内的字线沟槽的底部高于所述设定高 度。
83.在步骤s210中，在所述字线沟槽内形成字线结构，所述字线结构包 括栅氧化物层、阻挡层、导电层和字线保护盖层。
84.图26实施例中的步骤s150、s160和s210可以参照上述图1-25实 施例的描述。
85.本公开实施方式提供的半导体器件的制备方法，通过在形成sti过 程中，在浅沟槽内填充设定高度的第一隔离层，该设定高度根据所需的 有源区内的字线的深度设置，并选择性地只在第一隔离层的上表面形成 一刻蚀停止层，从而省掉了去除对应有源区侧壁的刻蚀停止层的工艺步 骤，使得工艺流程更为简单。同时，使得在后续刻蚀形成有源区和sti结 构内的wl沟槽时，通过该sti结构底部的刻蚀停止层可以阻止wl沟 槽在sti中继续刻蚀，从而使得能够在sti结构内形成一与有源区的wl 沟槽深度接近一致的wl沟槽。此外，由于形成的wl沟槽在有源区与 sti结构中的深度近似相同，进而可以使得后续在有源区和sti结构内 形成的wl字线的金属栅极的底部在半导体衬底内的深度近似相同，可 以形成一条接近平直的直线，从而可以改善sti结构中的wl与有源区 及邻近的wl之间形成的寄生电容，减小漏电流发生。另一方面，也可 以缩短wl的长度，减小导电电阻。
86.本公开实施例提供的半导体器件的制备方法可以应用于具有埋入式 的栅极结构的半导体器件的制备。
87.进一步地，本公开实施方式还提供了一种半导体器件，该半导体器 件可以包括半导体衬底。该半导体衬底可以进一步包括浅沟槽以及所述 浅沟槽隔离出的有源区。
88.其中，在所述浅沟槽的底部和所述有源区的表面可以包括含氧层。 所述浅沟槽对应的含氧层上表面填充有设定高度的第一隔离层，所述设 定高度低于所述有源区的高度。在所述第一隔离层的上表面可以包括刻 蚀停止层。在所述浅沟槽中所述刻蚀停止层之上包括浅沟槽隔离结构， 所述浅沟槽隔离结构由第二隔离层填充而成。所述浅沟槽隔离结构和所 述有源区内包括字线沟槽，所述浅沟槽隔离结构内的字线沟槽的底部高 于所述设定高度。
89.本公开实施方式提供的半导体器件，在浅沟槽内的第一隔离层的设 定高度处包括一刻蚀停止层，通过该刻蚀停止层可以阻止wl沟槽在sti 中继续刻蚀，从而使得能够在sti结构内包括一与有源区的wl沟槽深 度接近一致的wl沟槽。一方面，由于形成的wl沟槽在有源区与sti 结构中的深度近似相同，进而可以使得后续在有源区和sti结构内形成 的wl字线的金属栅极的底部在半导体衬底内的深度近似相同，可以形 成一条接近平直的直
线，从而可以改善sti结构中的wl与有源区及邻 近的wl之间形成的寄生电容，减小漏电流发生。另一方面，也可以缩 短wl的长度，减小导电电阻。
90.在示例性实施例中，所述含氧层可以包括线形氧化层，氧化物层和 氮化物层堆叠结构，氧化物层、氮化物层和氧化物层堆叠结构等中的至 少一种。
91.在示例性实施例中，所述第一隔离层的材料可以包括氧化物、正硅 酸乙酯、旋涂有机碳、不定型碳、光刻胶以及含硅高分子材料等中的至 少一种。
92.在示例性实施例中，所述第二隔离层可以包括氧化物层，氧化物层 和氮化物层堆叠结构，氧化物层、氮化物层和氧化物层堆叠结构等中的 至少一种。
93.在示例性实施例中，在所述字线沟槽内可以包括字线结构，所述字 线结构可以包括栅氧化物层、阻挡层、导电层和字线保护盖层。
94.在示例性实施例中，所述刻蚀停止层的材料可以包括氮化硅、碳氮 化硅和碳氮氧化硅等中的至少一种。
95.本领域技术人员在考虑说明书及实践这里公开的发明后，将容易想 到本公开的其它实施方案。本技术旨在涵盖本公开的任何变型、用途或 者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本公开的一般性原 理并包括本公开未公开的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说 明书和实施例仅被视为示例性的，本公开的真正范围和精神由所附的权 利要求指出。