一种晶圆瑕疵观测设备的制作方法

1.本实用新型涉及观测设备技术领域，具体为一种晶圆瑕疵观测设备。


背景技术：

2.晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。
3.晶圆的主要加工方式为片加工和批加工，即同时加工1片或多片晶圆，随着半导体特征尺寸越来越小，加工及测量设备越来越先进，使得晶圆加工出现了新的数据特点。同时，特征尺寸的减小，使得晶圆加工时，空气中的颗粒数对晶圆加工后质量及可靠性的影响增大，而随着洁净的提高，颗粒数也出现了新的数据特点，而在晶圆投入使用前，需要对晶圆进行瑕疵观测，以保证使用的稳定有效。
4.现有晶圆瑕疵以人工辨别为主，这就导致了在晶圆的叠加或者多次转移拿取的过程中，极易产生划痕，造成晶圆的自身损坏，且配合图像识别进行比对分析后，缺少有效的观测后直接分离效果的快速分离效果。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种晶圆瑕疵观测设备，以解决上述背景技术中提出的现有晶圆瑕疵以人工辨别为主，这就导致了在晶圆的叠加或者多次转移拿取的过程中，极易产生划痕，造成晶圆的自身损坏，且配合图像识别进行比对分析后，缺少有效的观测后直接分离效果的快速分离效果的问题。
6.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆瑕疵观测设备，包括支架、传输架、传输框和图像识别装置，所述支架的顶部通过螺栓固定连接顶部携带所述传输框的所述传输架，所述支架的内腔顶部通过螺栓固定连接所述图像识别装置，所述支架的内腔底部通过螺丝固定有脚踏，所述支架的内腔顶部通过法兰连接有弯管，所述弯管的底部通过法兰连接有抽取泵，所述抽取泵的电性输入端电性连接所述脚踏，所述支架的侧壁通过螺丝固定连接有抽取仓，所述抽取仓的输入端通过法兰连接所述弯管，所述传输架的内侧通过销轴连接有滚轮，所述滚轮的圆周外壁套接有传输带，所述滚轮的输入端通过联轴器连接有驱动器，所述传输带的顶部通过螺丝固定连接所述传输框，所述图像识别装置的电性输入端电性连接有摄像头，所述图像识别装置的内腔通过螺丝固定连接有控制器和plc，所述控制器的内部电性串联有灰度化模块、削弱背景干扰模块、中值滤波模块、区域裁剪模块和图库比对模块，所述脚踏和所述图库比对模块的电性输出端电性连接所述plc。
7.优选的，所述抽取仓的前侧壁通过螺丝固定连接有密封板，所述抽取仓的前侧壁开设有卸料口，所述卸料口的前侧壁通过铰链活动连接有翻盖。
8.优选的，所述传输架的侧壁通过螺丝固定连接有延伸架，所述延伸架的顶部粘接有橡胶板。
9.优选的，所述传输框的顶部通过螺丝固定连接有侧板，所述传输框的顶部粘接有配合盘。
10.优选的，所述配合盘的顶部一体成型预留有圆槽，所述圆槽的形状与晶圆的形状相匹配。
11.优选的，所述脚踏的顶部粘接有防滑板，所述防滑板的顶部一体成型连接有斜纹。
12.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该种晶圆瑕疵观测设备，通过配件的组合运用，设置携带传输框的传输带，可配合携带圆槽的配合盘来对晶圆进行独立摆放传输，避免表面划伤，保证了晶圆的安全性，利用携带控制器和摄像头的图像识别装置对经过的晶圆进行图像获取，经过图库比对模块的比对后，当因为晶圆存在表面瑕疵而导致比对缺少，即可开启携带抽取泵的弯管把晶圆传递到抽取仓中，实现观测和分离的目的。
附图说明
13.图1为本实用新型整体结构示意图；
14.图2为本实用新型控制器系统示意图；
15.图3为本实用新型传输框结构示意图。
16.图中：100支架、110脚踏、120弯管、130抽取泵、140抽取仓、150密封板、160卸料口、200传输架、210滚轮、220传输带、230驱动器、300传输框、310侧板、320配合盘、330圆槽、400图像识别装置、410摄像头、420控制器、421灰度化模块、422削弱背景干扰模块、423中值滤波模块、424区域裁剪模块、425图库比对模块、426plc。
具体实施方式
17.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
18.本实用新型提供一种晶圆瑕疵观测设备，通过配件的组合运用，携带圆槽的配合盘来对晶圆进行独立摆放传输，避免表面划伤，保证了晶圆的安全性，利用携带控制器和摄像头的图像识别装置对经过的晶圆进行图像获取，经过图库比对模块的比对后，当因为晶圆存在表面瑕疵而导致比对缺少，即可开启携带抽取泵的弯管把晶圆传递到抽取仓中，实现观测和分离的目的，请参阅图1、图2和图3，包括支架100、传输架200、传输框300和图像识别装置400；
19.请再次参阅图1，支架100上具有脚踏110，具体的，支架100的内腔底部通过螺丝固定有脚踏110，支架100的内腔顶部通过法兰连接有弯管120，弯管120的底部通过法兰连接有抽取泵130，抽取泵130的电性输入端电性连接脚踏110，支架100的侧壁通过螺丝固定连接有抽取仓140，抽取仓140的输入端通过法兰连接弯管120，弯管120的内径大于和晶圆的直径，抽取泵130的型号可直接选用市面常用型号；
20.请再次参阅图1，传输架200与支架100连接，具体的，支架100的顶部通过螺栓固定连接顶部携带传输框300的传输架200，传输架200的内侧通过销轴连接有滚轮210，滚轮210的圆周外壁套接有传输带220，滚轮210的输入端通过联轴器连接有驱动器230，传输带220
的顶部通过螺丝固定连接传输框300，滚轮210的数量为多个，多个滚轮210水平摆放，以配合传输带220进行使用，其中滚轮210、传输带220和驱动器230的组合关系可直接选用市面常用结构，此处不做赘述；
21.请再次参阅图1和图2，图像识别装置400与支架100连接，具体的，支架100的内腔顶部通过螺栓固定连接图像识别装置400，图像识别装置400的电性输入端电性连接有摄像头410，图像识别装置400的内腔通过螺丝固定连接有控制器420和plc426，控制器420的内部电性串联有灰度化模块421、削弱背景干扰模块422、中值滤波模块423、区域裁剪模块424和图库比对模块425，脚踏110和图库比对模块425的电性输出端电性连接plc426，图像识别装置400可直接采用市面常用型号，且控制器420作为图像识别装置400的配件，内部含有的众多模块可直接参考图像识别装置400的现有模块，也可按照实际需要进行灵活性调整；
22.在具体的使用时，首先在支架100上设置脚踏110，并在支架100顶部设置携带抽取泵130的弯管120，弯管120的末端连接抽取仓140，抽取仓140的前方组合有密封板150和卸料口160，传输架200上通过驱动器230驱动滚轮210，滚轮210带动传输带220，传输带220上安装有传输框300，传输框300的内腔含有携带圆槽330的配合盘320，便于对晶圆进行摆放，当传输框300进入到携带摄像头410的图像识别装置400的底部后，即可把图像数据传递给控制器420，控制器420中具有灰度化模块421、削弱背景干扰模块422、中值滤波模块423、区域裁剪模块424和图库比对模块425，便于进行灰度处理、削弱背景处理等一些操作，使晶圆图片更加清晰，方便配合图库比对模块425进行比对，其中，为了保证图库比对模块425中具有足够多的晶圆比对素材，需要预先内置不低于500张的各角度和光线下的完整晶圆照片，当比对后，出现下次的晶圆会被plc426控制开启，plc426影响抽取泵130抽取，并转移到抽取仓140中。
23.请再次参阅图1，为了便于对抽取仓140的内部环境进行遮挡，也可对存在瑕疵的晶圆进行快速拿取，具体的，抽取仓140的前侧壁通过螺丝固定连接有密封板150，抽取仓140的前侧壁开设有卸料口160，卸料口160的前侧壁通过铰链活动连接有翻盖。
24.请再次参阅图1，为了配合传输架200进行晶圆的暂时存放，具体的，传输架200的侧壁通过螺丝固定连接有延伸架，延伸架的顶部粘接有橡胶板。
25.请再次参阅图3，为了使传输框300自身产生空间，并可使晶圆有效内置在圆槽330中，具体的，传输框300的顶部通过螺丝固定连接有侧板310，传输框300的顶部粘接有配合盘320，配合盘320的顶部一体成型预留有圆槽330，圆槽330的形状与晶圆的形状相匹配。
26.请再次参阅图1，为了便于在脚踏110使用的过程中，降低滑动几率，具体的，脚踏110的顶部粘接有防滑板，防滑板的顶部一体成型连接有斜纹。
27.虽然在上文中已经参考实施例对本实用新型进行了描述，然而在不脱离本实用新型的范围的情况下，可以对其进行各种改进并且可以用等效物替换其中的部件。尤其是，只要不存在结构冲突，本实用新型所披露的实施例中的各项特征均可通过任意方式相互结合起来使用，在本说明书中未对这些组合的情况进行穷举性的描述仅仅是出于省略篇幅和节约资源的考虑。因此，本实用新型并不局限于文中公开的特定实施例，而是包括落入权利要求的范围内的所有技术方案。