一种晶圆瑕疵观测设备的制作方法

技术特征：
1.一种晶圆瑕疵观测设备，其特征在于：包括支架（100）、传输架（200）、传输框（300）和图像识别装置（400），所述支架（100）的顶部通过螺栓固定连接顶部携带所述传输框（300）的所述传输架（200），所述支架（100）的内腔顶部通过螺栓固定连接所述图像识别装置（400），所述支架（100）的内腔底部通过螺丝固定有脚踏（110），所述支架（100）的内腔顶部通过法兰连接有弯管（120），所述弯管（120）的底部通过法兰连接有抽取泵（130），所述抽取泵（130）的电性输入端电性连接所述脚踏（110），所述支架（100）的侧壁通过螺丝固定连接有抽取仓（140），所述抽取仓（140）的输入端通过法兰连接所述弯管（120），所述传输架（200）的内侧通过销轴连接有滚轮（210），所述滚轮（210）的圆周外壁套接有传输带（220），所述滚轮（210）的输入端通过联轴器连接有驱动器（230），所述传输带（220）的顶部通过螺丝固定连接所述传输框（300），所述图像识别装置（400）的电性输入端电性连接有摄像头（410），所述图像识别装置（400）的内腔通过螺丝固定连接有控制器（420）和plc（426），所述控制器（420）的内部电性串联有灰度化模块（421）、削弱背景干扰模块（422）、中值滤波模块（423）、区域裁剪模块（424）和图库比对模块（425），所述脚踏（110）和所述图库比对模块（425）的电性输出端电性连接所述plc（426）。2.根据权利要求1所述的一种晶圆瑕疵观测设备，其特征在于：所述抽取仓（140）的前侧壁通过螺丝固定连接有密封板（150），所述抽取仓（140）的前侧壁开设有卸料口（160），所述卸料口（160）的前侧壁通过铰链活动连接有翻盖。3.根据权利要求1所述的一种晶圆瑕疵观测设备，其特征在于：所述传输架（200）的侧壁通过螺丝固定连接有延伸架，所述延伸架的顶部粘接有橡胶板。4.根据权利要求1所述的一种晶圆瑕疵观测设备，其特征在于：所述传输框（300）的顶部通过螺丝固定连接有侧板（310），所述传输框（300）的顶部粘接有配合盘（320）。5.根据权利要求4所述的一种晶圆瑕疵观测设备，其特征在于：所述配合盘（320）的顶部一体成型预留有圆槽（330），所述圆槽（330）的形状与晶圆的形状相匹配。6.根据权利要求1所述的一种晶圆瑕疵观测设备，其特征在于：所述脚踏（110）的顶部粘接有防滑板，所述防滑板的顶部一体成型连接有斜纹。

技术总结
本实用新型公开的属于观测设备技术领域，具体为一种晶圆瑕疵观测设备，包括支架、传输架、传输框和图像识别装置，所述支架的顶部通过螺栓固定连接顶部携带所述传输框的所述传输架，所述支架的内腔顶部通过螺栓固定连接所述图像识别装置，该种晶圆瑕疵观测设备，通过配件的组合运用，设置携带传输框的传输带，可配合携带圆槽的配合盘来对晶圆进行独立摆放传输，避免表面划伤，保证了晶圆的安全性，利用携带控制器和摄像头的图像识别装置对经过的晶圆进行图像获取，经过图库比对模块的比对后，当因为晶圆存在表面瑕疵而导致比对缺少，即可开启携带抽取泵的弯管把晶圆传递到抽取仓中，实现观测和分离的目的。实现观测和分离的目的。实现观测和分离的目的。


技术研发人员：周洪钧
受保护的技术使用者：无锡动视宫原科技有限公司
技术研发日：2021.07.29
技术公布日：2022/1/26