单晶硅坯料端面粘接定向仪的制作方法

1.本实用新型涉及一种单晶硅坯料端面粘接定向仪。


背景技术：

2.单晶硅坯料一般依靠胶粘的方式固定，现有的定向仪大多结构复杂，且在调整单晶硅坯料的角度时，调整范围有限，有时需要拆掉单晶硅坯料重新粘接固定，使用起来很是不便。


技术实现要素：

3.本实用新型所要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，提供一种单晶硅坯料端面粘接定向仪，它可以很好地定向单晶硅坯料，且结构简单，使用方便。
4.为了解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：一种单晶硅坯料端面粘接定向仪，它包括：
5.升降台；
6.用于粘接固定单晶硅坯料的粘接盘；
7.与所述粘接盘相连、并用于调整所述粘接盘及单晶硅坯料角度的角度调整机构；
8.与所述升降台相连以驱动升降台升降至合适高度的升降驱动机构；
9.固定在升降台上、并用于向单晶硅坯料端面提供入射射线的射线发生器；
10.固定在升降台上、并在单晶硅坯料被调整至合适角度时用于接收单晶硅坯料端面所衍射光线的射线接收器。
11.进一步提供了一种角度调整机构的具体结构，所述角度调整机构包括上圆盘、支撑件、下圆盘和多个沿上圆盘的周向排布的螺栓；其中，
12.所述粘接盘固定在所述上圆盘上；
13.所述支撑件固定在所述下圆盘的中间位置上，所述上圆盘的中间位置与所述支撑件之间形成球面配合；
14.所述螺栓自上而下穿过上圆盘、并旋拧进下圆盘内。
15.进一步，所述支撑件通过螺钉固定在所述下圆盘上。
16.进一步提供了一种升降驱动机构的具体结构，所述升降驱动机构包括架体、丝杆、螺母块、导向机构和驱动电机；其中，
17.所述丝杆旋转支承在架体上；
18.所述螺母块固定在升降台上，并与所述丝杆螺纹连接；
19.所述驱动电机与所述丝杆相连以驱动丝杆旋转；
20.所述导向机构设置在架体和升降台之间以导向所述升降台升降。
21.进一步提供了一种导向机构的具体结构，所述导向机构包括导向杆和导套；其中，
22.所述导向杆固定在架体上，所述导套固定于升降台，并滑动套装在所述导向杆上。
23.进一步，所述入射光线为x射线。
24.进一步为了方便旋转单晶硅坯料，单晶硅坯料端面粘接定向仪还包括底座、支撑盘和旋转驱动机构；其中，
25.所述支撑盘旋转支承在底座上，所述下圆盘固定在所述支撑盘上；
26.所述旋转驱动机构与所述支撑盘相连以驱动支撑盘转动。
27.进一步提供了一种旋转驱动机构的具体结构，所述旋转驱动机构包括相互啮合的蜗轮和蜗杆；其中，
28.所述蜗轮与所述支撑盘同轴相连，所述蜗杆旋转支承在所述底座上。
29.采用了上述技术方案后，将单晶硅坯料粘接在粘接盘上，根据单晶硅坯料的高度，通过升降驱动机构驱动升降台升降到合适高度，再通过角度调整机构调整单晶硅坯料的角度，直至射线接收器接收到衍射光线，则完成单晶硅坯料的定向，本实用新型可以很方便地对单晶硅坯料进行定向，使用起来很是方便，且结构简单，易于实施，升降台的高度可调，进而使得本实用新型适用于不同高度的单晶硅坯料，应用范围广；本实用新型的上圆盘与支撑件之间形成球面配合，进而可以360
°
调整单晶硅坯料的角度，调整范围广，免去了拆除重粘个别单晶硅坯料的麻烦；本实用新型的粘接盘还可以在支撑盘的带动下转动，进一步提高了便利性和通用性。
附图说明
30.图1为本实用新型的单晶硅坯料端面粘接定向仪的结构示意图。
具体实施方式
31.为了使本实用新型的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明。
32.如图1所示，一种单晶硅坯料端面粘接定向仪，它包括：
33.升降台1；
34.用于粘接固定单晶硅坯料的粘接盘；
35.与所述粘接盘相连、并用于调整所述粘接盘及单晶硅坯料角度的角度调整机构；
36.与所述升降台1相连以驱动升降台1升降至合适高度的升降驱动机构；
37.固定在升降台1上、并用于向单晶硅坯料端面提供入射射线的射线发生器2；
38.固定在升降台1上、并在单晶硅坯料被调整至合适角度时用于接收单晶硅坯料端面所衍射光线的射线接收器3。
39.在本实施例中，所述入射光线为x射线。
40.具体地，将单晶硅坯料粘接在粘接盘上，根据单晶硅坯料的高度，通过升降驱动机构驱动升降台1升降到合适高度，再通过角度调整机构调整单晶硅坯料的角度，直至射线接收器3接收到衍射光线，则完成单晶硅坯料的定向，本实用新型可以很方便地对单晶硅坯料进行定向，使用起来很是方便，且结构简单，易于实施，升降台1的高度可调，进而使得本实用新型适用于不同高度的单晶硅坯料，应用范围广。
41.如图1所示，所述角度调整机构包括上圆盘4、支撑件5、下圆盘6和多个沿上圆盘4的周向排布的螺栓7；其中，
42.所述粘接盘固定在所述上圆盘4上；
43.所述支撑件5固定在所述下圆盘6的中间位置上，所述上圆盘4的中间位置与所述支撑件5之间形成球面配合；
44.所述螺栓7自上而下穿过上圆盘4、并旋拧进下圆盘6内。
45.具体地，本实用新型的上圆盘4与支撑件5之间形成球面配合，进而可以360
°
调整单晶硅坯料的角度，调整范围广，免去了拆除重粘个别单晶硅坯料的麻烦。
46.在本实施例中，所述支撑件5通过螺钉固定在所述下圆盘6上。
47.如图1所示，所述升降驱动机构包括架体8、丝杆9、螺母块、导向机构和驱动电机；其中，
48.所述丝杆9旋转支承在架体8上；
49.所述螺母块固定在升降台1上，并与所述丝杆9螺纹连接；
50.所述驱动电机与所述丝杆9相连以驱动丝杆9旋转；
51.所述导向机构设置在架体8和升降台1之间以导向所述升降台1升降。
52.如图1所示，所述导向机构包括导向杆10和导套；其中，
53.所述导向杆10固定在架体8上，所述导套固定于升降台1，并滑动套装在所述导向杆10上。
54.在本实施例中，为了方便旋转单晶硅坯料，单晶硅坯料端面粘接定向仪还包括底座、支撑盘和旋转驱动机构；其中，
55.所述支撑盘旋转支承在底座上，所述下圆盘6固定在所述支撑盘上；
56.所述旋转驱动机构与所述支撑盘相连以驱动支撑盘转动。
57.所述旋转驱动机构包括相互啮合的蜗轮和蜗杆；其中，
58.所述蜗轮与所述支撑盘同轴相连，所述蜗杆旋转支承在所述底座上。
59.具体地，本实用新型的粘接盘还可以在支撑盘的带动下转动，进一步提高了便利性和通用性。
60.以上所述的具体实施例，对本实用新型解决的技术问题、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
61.在本实用新型的描述中，需要理解的是，指示方位或位置关系的术语为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
62.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
63.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简
化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
64.此外，术语“水平”、“竖直”、“悬垂”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。
65.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之上或之下可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征之上、上方和上面包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征之下、下方和下面包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。