一种自清洁太阳能减反膜结构及电池的制作方法

技术特征：
1.一种自清洁太阳能减反膜结构，其特征在于，包含由下至上依次设置的sinx薄膜层、siox薄膜层和纳米zno薄膜层，所述sinx薄膜层、siox薄膜层和纳米zno薄膜层相连接，所述纳米zno薄膜层设在最外层，所述sinx薄膜层与硅片连接。2.根据权利要求1所述的自清洁太阳能减反膜结构，其特征在于，所述纳米zno薄膜层的厚度≤12nm。3.根据权利要求2所述的自清洁太阳能减反膜结构，其特征在于，所述纳米zno薄膜层的厚度为6～12nm，折射率为1.9～2.1。4.根据权利要求1所述的自清洁太阳能减反膜结构，其特征在于，所述纳米zno薄膜层的孔隙率小于10％。5.根据权利要求1所述的自清洁太阳能减反膜结构，其特征在于，所述纳米zno薄膜层的厚度和所述siox薄膜层的厚度均小于所述sinx薄膜层的厚度，所述sinx薄膜层的折射率大于所述siox薄膜层的折射率。6.根据权利要求1或5所述的自清洁太阳能减反膜结构，其特征在于，所述sinx薄膜层的厚度为55～65nm，折射率为2.0～2.3。7.根据权利要求1或5所述的自清洁太阳能减反膜结构，其特征在于，所述siox薄膜层的厚度为4～10nm，折射率为1.4～1.6。8.根据权利要求1或5所述的自清洁太阳能减反膜结构，其特征在于，所述sinx薄膜层的折射率为2.0、所述siox薄膜层的折射率1.45、所述纳米zno薄膜层的折射率为1.9。9.一种太阳能电池，包含权利要求1-8任一项所述的自清洁太阳能减反膜结构。

技术总结
本实用新型公开了一种自清洁太阳能减反膜结构，包含由下至上依次设置的SiNx薄膜层、SiOx薄膜层和纳米ZnO薄膜层，所述SiNx薄膜层、SiOx薄膜层和纳米ZnO薄膜层相连接，所述纳米ZnO薄膜层设在最外层，所述SiNx薄膜层与硅片连接。本实用新型可使电池片表面具有良好的自清洁功能，减少光损失、提高光电转化效率。提高光电转化效率。提高光电转化效率。


技术研发人员：张笛 周建科 顾生刚 陈刚
受保护的技术使用者：天津爱旭太阳能科技有限公司
技术研发日：2021.05.24
技术公布日：2022/1/25