磁传感器的制作方法

技术特征：
1.一种磁传感器，其特征在于，是对检测对象的磁场进行检测而生成检测信号的磁传感器，包括：电源端口；接地端口；第1输出端口；第2输出端口；第1电阻部，其设置在所述电源端口与所述第1输出端口之间；第2电阻部，其设置在所述接地端口与所述第1输出端口之间；第3电阻部，其设置在所述接地端口与所述第2输出端口之间；第4电阻部，其设置在所述电源端口与所述第2输出端口之间；和多个磁阻效应元件，其构成所述第1电阻部至所述第4电阻部，所述检测信号是与所述第1输出端口与所述第2输出端口之间的电位差对应的信号，所述多个磁阻效应元件各自属于第1组、第2组、第3组和第4组中的任一个，并且在所述第1组至所述第4组各自中从属有所述多个磁阻效应元件中的1个以上的磁阻效应元件，所述多个磁阻效应元件各自由层叠的多个层构成，并且具有位于所述多个层的层叠方向的端部的上表面，属于所述第1组的所述1个以上的磁阻效应元件的所述上表面的面积的最大值，大于属于所述第2组至所述第4组的全部磁阻效应元件的所述上表面的面积，属于所述第2组的所述1个以上的磁阻效应元件的所述上表面的面积的最小值，小于属于所述第1组、所述第3组和所述第4组的全部磁阻效应元件的所述上表面的面积的值，属于所述第3组的所述1个以上的磁阻效应元件的所述上表面的面积的平均值，小于属于所述第4组的所述1个以上的磁阻效应元件的所述上表面的面积的平均值，所述第1电阻部、所述第2电阻部、所述第3电阻部和所述第4电阻部各自由所述第1组、所述第2组、所述第3组和所述第4组构成，或者由所述第2组、所述第1组、所述第4组和所述第3组构成，或者由所述第1组、所述第4组、所述第3组和所述第2组构成，或者由所述第3组、所述第2组、所述第1组和所述第4组构成。2.如权利要求1所述的磁传感器，其特征在于，还包括支承所述多个磁阻效应元件的支承部件，所述支承部件具有平坦的第1面和在与所述第1面垂直的方向上配置于与所述第1面不同的位置的第2面，所述多个磁阻效应元件配置于所述支承部件的所述第1面之上和所述第2面之上的任一者。3.一种磁传感器，其特征在于，是对检测对象的磁场进行检测而生成检测信号的磁传感器，包括：电源端口；接地端口；
第1输出端口；第2输出端口；第1电阻部，其设置在所述电源端口与所述第1输出端口之间；第2电阻部，其设置在所述接地端口与所述第1输出端口之间；第3电阻部，其设置在所述接地端口与所述第2输出端口之间；第4电阻部，其设置在所述电源端口与所述第2输出端口之间；和多个磁阻效应元件，其构成所述第1电阻部至所述第4电阻部，所述检测信号是与所述第1输出端口与所述第2输出端口之间的电位差对应的信号，所述多个磁阻效应元件各自属于第1组、第2组、第3组和第4组中的任一个，并且在所述第1组至所述第4组各自中从属有所述多个磁阻效应元件中的1个以上的磁阻效应元件，所述多个磁阻效应元件各自由层叠的多个层构成，并且具有位于所述多个层的层叠方向的端部的上表面，属于所述第3组的所述1个以上的磁阻效应元件的所述上表面的面积的平均值，大于属于所述第2组的所述1个以上的磁阻效应元件的所述上表面的面积的平均值，属于所述第1组的所述1个以上的磁阻效应元件的所述上表面的面积的平均值，大于属于所述第3组的所述1个以上的磁阻效应元件的所述上表面的面积的平均值，属于所述第4组的所述1个以上的磁阻效应元件的所述上表面的面积的平均值，大于属于所述第1组的所述1个以上的磁阻效应元件的所述上表面的面积的平均值，所述第1电阻部、所述第2电阻部、所述第3电阻部和所述第4电阻部各自由所述第1组、所述第2组、所述第3组和所述第4组构成，或者由所述第2组、所述第1组、所述第4组和所述第3组构成。4.如权利要求3所述的磁传感器，其特征在于，还包括支承所述多个磁阻效应元件的支承部件，所述支承部件具有平坦的第1面和在与所述第1面垂直的方向上配置于与所述第1面不同的位置的第2面，所述多个磁阻效应元件配置于所述支承部件的所述第1面之上和所述第2面之上的任一者。5.一种磁传感器，其特征在于，是对检测对象的磁场进行检测而生成检测信号的磁传感器，包括：电源端口；接地端口；第1输出端口；第2输出端口；第1电阻部，其设置在所述电源端口与所述第1输出端口之间；第2电阻部，其设置在所述接地端口与所述第1输出端口之间；第3电阻部，其设置在所述接地端口与所述第2输出端口之间；第4电阻部，其设置在所述电源端口与所述第2输出端口之间；多个磁阻效应元件，其构成所述第1电阻部至所述第4电阻部；和
支承部件，其支承所述多个磁阻效应元件，所述检测信号是与所述第1输出端口与所述第2输出端口之间的电位差对应的信号，所述支承部件具有：第1部分，其具有平坦的第1面；和第2部分，其具有在与所述第1面垂直的第1方向上配置于与所述第1面不同的位置的第2面，所述多个磁阻效应元件配置于所述支承部件的所述第1面之上和所述第2面之上的任一者，所述多个磁阻效应元件各自配置在第1区域、第2区域、第3区域和所述第1区域至所述第3区域以外的其他区域中的任一者，在所述第1区域至所述第3区域的各个，配置有作为所述多个磁阻效应元件中的1个以上的磁阻效应元件的集合的元件组，在所述其他区域，配置有所述多个磁阻效应元件中的2个以上的磁阻效应元件，所述第1区域至所述第3区域沿着平行于与所述第1方向正交的假想直线的第2方向排列，所述假想直线与作为所述第2部分的外缘的一部分的基准部分中的至少一部分交叉并且沿着所述基准部分，所述其他区域在与所述第1方向正交且与所述假想直线交叉的第3方向上位于与所述第1区域至所述第3区域不同的位置，所述第1区域的所述元件组和所述第3区域的所述元件组构成1个分离型电阻部，所述第2区域的所述元件组构成1个非分离型电阻部，作为对2个电阻部进行了排序而成的组的、所述第1电阻部和所述第4电阻部的组、所述第2电阻部和所述第3电阻部的组、所述第1电阻部和所述第2电阻部的组、以及所述第2电阻部和所述第1电阻部的组中的任一个与所述分离型电阻部和所述非分离型电阻部的组对应，所述其他区域的所述2个以上的磁阻效应元件构成与所述分离型电阻部和所述非分离型电阻部对应的2个电阻部以外的2个电阻部。6.如权利要求5所述的磁传感器，其特征在于，所述其他区域包含第4区域、第5区域和第6区域，在所述第4区域至所述第6区域的各个配置有所述元件组，所述第4区域至所述第6区域沿着所述第2方向排列，所述第1区域的所述元件组和所述第3区域的所述元件组构成作为所述分离型电阻部的第1分离型电阻部，所述第4区域的所述元件组和所述第6区域的所述元件组构成第2分离型电阻部，所述第5区域的所述元件组构成第1非分离型电阻部，所述第2区域的所述元件组构成作为所述非分离型电阻部的第2非分离型电阻部，作为对4个电阻部进行了排序而成的组的、所述第1电阻部、所述第2电阻部、所述第3电阻部和所述第4电阻部的组、所述第1电阻部、所述第3电阻部、所述第2电阻部和所述第4电阻部的组、所述第1电阻部、所述第3电阻部、所述第4电阻部和所述第2电阻部的组、所述第1电阻部、所述第4电阻部、所述第3电阻部和所述第2电阻部的组、以及所述第2电阻部、所述第3电阻部、所述第4电阻部和所述第1电阻部的组中的任一个，与所述第1分离型电阻部、所
述第2分离型电阻部、所述第1非分离型电阻部和所述第2非分离型电阻部的组对应。7.一种磁传感器，其特征在于，是对检测对象的磁场进行检测而生成检测信号的磁传感器，包括：电源端口；接地端口；第1输出端口；第2输出端口；第1电阻部，其设置在所述电源端口与所述第1输出端口之间；第2电阻部，其设置在所述接地端口与所述第1输出端口之间；第3电阻部，其设置在所述接地端口与所述第2输出端口之间；第4电阻部，其设置在所述电源端口与所述第2输出端口之间；和多个磁阻效应元件，其构成所述第1电阻部至所述第4电阻部；支承部件，其支承所述多个磁阻效应元件，所述检测信号是与所述第1输出端口与所述第2输出端口之间的电位差对应的信号，所述支承部件具有：第1部分，其具有平坦的第1面；和第2部分，其具有在与所述第1面垂直的第1方向上配置于与所述第1面不同的位置的第2面，所述多个磁阻效应元件配置于所述支承部件的所述第1面之上和所述第2面之上的任一者，所述多个磁阻效应元件各自配置于第1区域、第2区域、第3区域和第4区域中的任一者，并且在所述第1区域至所述第4区域的各个配置有作为所述多个磁阻效应元件中的1个以上的磁阻效应元件的集合的元件组，所述第1区域至所述第4区域沿着平行于与所述第1方向正交的假想直线的第2方向排列，所述假想直线与作为所述第2部分的外缘的一部分的基准部分中的至少一部分交叉并且沿着所述基准部分，所述第1电阻部、所述第2电阻部、所述第3电阻部和所述第4电阻部各自由所述第3区域的所述元件组、所述第1区域的所述元件组、所述第2区域的所述元件组和所述第4区域的所述元件组构成，或者由所述第1区域的所述元件组、所述第3区域的所述元件组、所述第4区域的所述元件组和所述第2区域的所述元件组构成。

技术总结
磁传感器包括第1至第4电阻部和多个MR元件。多个MR元件各自属于第1至第4组中的任一个。第1至第4组基于MR元件的上表面的面积来规定。第1电阻部、第2电阻部、第3电阻部和第4电阻部分别由第1组、第2组、第3组和第4组构成，或者由第2组、第1组、第4组和第3组构成，或者由第1组、第4组、第3组和第2组构成，或者由第3组、第2组、第1组和第4组构成。第1组和第4组构成。第1组和第4组构成。


技术研发人员：牧野健三
受保护的技术使用者：TDK株式会社
技术研发日：2021.07.21
技术公布日：2022/1/21