用于半导体制造的臭氧发生器的凝水装置的制作方法

1.本实用新型涉及臭氧发生器技术领域，特别涉及用于半导体制造的臭氧发生器的凝水装置。


背景技术：

2.在现有技术中，臭氧发生器的凝水装置通常设置在臭氧发生器内，如专利cn106458583b公开的一种臭氧发生装置，在所述容器内具有冷却空间，所述冷却空间内填充由冷却介质。但是对于上述设计方案而言，当凝水装置布置在臭氧发生器内容易在臭氧发生器内积水，存在一定的安全隐患；若采用常规的外置凝水装置，由于常规的外置凝水装置体积大、结构复杂，并不适用于场地局限的工作环境中。


技术实现要素：

3.为了克服上述现有技术的缺陷，本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种冷凝效果佳且避免冷凝水回流的用于半导体制造的臭氧发生器的凝水装置。
4.为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种用于半导体制造的臭氧发生器的凝水装置，包括主体以及有序填充或无序填充于所述主体的内腔的钢丝；
5.所述主体具有与所述内腔相连通的进气端、出气端和出水端；
6.所述出水端上设置有用于启闭所述出水端的阀门。
7.其中，所述主体为空心圆柱状，所述进气端和出气端分别设置在所述主体的相对两端上。
8.其中，位于所述内腔中部的钢丝具有第一平均填充密度，位于所述内腔端部的钢丝具有第二平均填充密度，所述第一平均填充密度大于第二平均填充密度。
9.其中，以g/cm3计的第一平均填充密度比以g/cm3计的第二平均填充密度至少大3％。
10.其中，所述进气端与出气端上均设置有卡箍。
11.本实用新型的有益效果在于：将凝水装置的进气端与臭氧发生器的出气口相连，以通过填充在主体内腔中的钢丝与臭氧发生器所产生含有臭氧的空气相接触，吸收所述空气中的热量并对空气进行冷凝；通过在主体上设置出水端，以便于操作人员将凝集在内腔中的冷却水进行排放，避免由于冷却水凝集过多，从进气端倒灌入臭氧发生器中，或从出气端流入其他设备中。本实用新型所提供的凝水装置结构简单，可有效去除所述空气中的水汽，以避免过多的水汽流入其他装置内部影响其他装置的使用效率。
附图说明
12.图1所示为本实用新型在具体实施方式中凝水装置的剖视图；
13.图2所示为图1中的a部放大图；
14.图3所示为本实用新型在具体实施方式中凝水装置的结构示意图。
15.标号说明：1、主体；2、内腔；3、钢丝；4、进气端；5、出气端；6、出水端；7、阀门；8、卡箍；9、出气口。
具体实施方式
16.为详细说明本实用新型的技术内容、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图予以说明。
17.参见图1至图3所示，用于半导体制造的臭氧发生器的凝水装置，包括主体1以及有序填充或无序填充于所述主体1的内腔2的钢丝3；所述主体1具有与所述内腔2相连通的进气端4、出气端5和出水端6；所述出水端6上设置有用于启闭所述出水端6的阀门7。
18.其中，所述进气端4用于与臭氧发生器的出气口9相连接，所述出气端5与其他装置的进气口相连接，所述出水端6可以不与其他设备连接，也可以与水管连接，以通过水管将内腔2中的冷却水收集入收集箱中或与臭氧发生器的进水端相连，以循环使用。
19.所述钢丝3是有序填充或者无序填充的。其中，所述有序填充可以为类似于连续的钢丝3网结构或者连续的钢丝3圈结构；所述无序填充可以为类似于钢丝3球无序的缠绕结构。
20.所述臭氧发生器所形成含有臭氧的空气从其出气口9，通过进气端4流入主体1的内腔2中，由于空气与钢丝3接触而使空气中的水汽凝结，以降低空气的含水量，最后空气通过出气端5从其他装置的进气口流入其他装置内部；被凝结所形成的冷却水通过出水端6流出内腔2。
21.所述阀门7可以为手动，同时为了提高凝水装置的可控性，采用电控阀门7也是可以被允许的。
22.从上述描述可知，本实用新型的有益效果在于：将凝水装置的进气端4与臭氧发生器的出气口9相连，以通过填充在主体1内腔2中的钢丝3与臭氧发生器所产生含有臭氧的空气相接触，吸收所述空气中的热量并对空气进行冷凝；通过在主体1上设置出水端6，以便于操作人员将凝集在内腔2中的冷却水进行排放，避免由于冷却水凝集过多，从进气端4倒灌入臭氧发生器中，或从出气端5流入其他设备中。本实用新型所提供的凝水装置结构简单，可有效去除所述空气中的水汽，以避免过多的水汽流入其他装置内部影响其他装置的使用效率。
23.进一步的，所述主体1为空心圆柱状，所述进气端和出气端5分别设置在所述主体1的相对两端上。
24.进一步的，位于所述内腔2中部的钢丝3具有第一平均填充密度，位于所述内腔2端部的钢丝3具有第二平均填充密度，所述第一平均填充密度大于第二平均填充密度。
25.更进一步的，以g/cm3计的第一平均填充密度比以g/cm3计的第二平均填充密度至少大3％。
26.从上述描述可知，通过使第一平均填充密度在于第二平均填充密度，以使填充的钢丝3在内腔2中形成中间紧密，两侧相对松散的结构，以避免两侧填充密度过高导致通风不畅的情况，同时也通过提高中部的填充密度以提高钢丝3的凝水效率。
27.优选的，所述内腔2的侧壁具有从进气端4和出气端5分别朝向出水端6向下倾斜的斜度，以使凝结的冷却水汇集在出水端6处。
28.进一步的，所述进气端4与出气端5上均设置有卡箍8。
29.参见图2所示，卡箍8用于使进气端4/出气端5与其他设备的进气口或臭氧发生器的出气口9连接，提高凝水装置与其他设备和臭氧发生器的连接便捷性。
30.实施例1
31.参见图1至3所示，用于半导体制造的臭氧发生器的凝水装置，包括主体1以及无序填充于所述主体1的内腔2的钢丝3；
32.所述主体1具有与所述内腔2相连通的进气端4、出气端5和出水端6；
33.所述出水端6上设置有用于启闭所述出水端6的阀门7；
34.所述主体1为空心圆柱状，所述进气端和出气端5分别设置在所述主体1的相对两端上；
35.位于所述内腔2中部的钢丝3具有第一平均填充密度，位于所述内腔2端部的钢丝3具有第二平均填充密度，所述第一平均填充密度大于第二平均填充密度；
36.以g/cm3计的第一平均填充密度比以g/cm3计的第二平均填充密度大5％；
37.所述进气端4与出气端5上均设置有卡箍8。
38.综上所述，本实用新型提供一种用于半导体制造的臭氧发生器的凝水装置，将凝水装置的进气端4与臭氧发生器的出气口9相连，以通过填充在主体1内腔2中的钢丝3与臭氧发生器所产生含有臭氧的空气相接触，吸收所述空气中的热量并对空气进行冷凝；通过在主体1上设置出水端6，以便于操作人员将凝集在内腔2中的冷却水进行排放，避免由于冷却水凝集过多，从进气端4倒灌入臭氧发生器中，或从出气端5流入其他设备中。本实用新型所提供的凝水装置结构简单，可有效去除所述空气中的水汽，以避免过多的水汽流入其他装置内部影响其他装置的使用效率；通过使第一平均填充密度在于第二平均填充密度，以使填充的钢丝3在内腔2中形成中间紧密，两侧相对松散的结构，以避免两侧填充密度过高导致通风不畅的情况，同时也通过提高中部的填充密度以提高钢丝3的凝水效率。
39.以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等同变换，或直接或间接运用在相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。