一种声表面波谐振器及包含该声表面波谐振器的滤波器的制作方法

技术特征：
1.一种声表面波谐振器，所述声表面波谐振器包括：压电膜层及形成于所述压电膜层上的电极，其特征在于，所述电极上形成有均热层，所述均热层至少部分覆设于所述电极上。2.如权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述均热层为石墨烯层。3.如权利要求2所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述均热层的厚度为20纳米～100微米。4.如权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述压电膜层设置于衬底之上，所述压电膜层包括压电单晶，和/或，所述衬底材质为碳化硅、金刚石、类金刚石、蓝宝石、石英、硅或氮化铝中的一种或几种的组合。5.如权利要求4所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述压电膜层的厚度为20微米至300微米，和/或，所述衬底的厚度为100微米～300微米。6.如权利要求5所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述压电膜层与所述衬底之间设置有布拉格反射层，所述反射层至少包含一层低声反射层和高声反射层，所述低声反射层和所述高声反射层的厚度均为四分之一的声波长。7.如权利要求6所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述布拉格反射层具有两层以上。8.如权利要求1～7任一权利要求所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述电极为叉指电极、圆环形条状电极、扇形条状电极或多边形板状电极中的一种或多种组合。9.如权利要求8所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述电极为叉指电极，在所述叉指电极中，金属化率η＝d1/d2＝0.2～0.8，其中，d1为电极线宽，d2为叉指电极的半个周期λ。10.一种声表面波滤波器，其特征在于，所述声表面滤波器由所述权利要求1～7、9任一项所述的声表面谐振器串联或并联连接而成。

技术总结
本申请公开的一种声表面波谐振器及包含该声表面波谐振器的滤波器，所述声表面波谐振器包括：压电膜层及形成于所述压电膜层上的电极，其特征在于，所述电极上形成有均热层，所述均热层至少部分覆设于所述电极上，所述均热层为石墨烯层，所述滤波器由所述声表面波谐振器级联而成所述石墨烯层的热导系数高，一定程度上避免电极及声表面波谐振器及滤波器工作时出现局部过热的不良现象。出现局部过热的不良现象。出现局部过热的不良现象。


技术研发人员：牛玉娇
受保护的技术使用者：嘉兴宏蓝电子技术有限公司
技术研发日：2020.12.15
技术公布日：2022/1/18